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公开(公告)号：CN108698193A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780003705.0
申请日：2017-09-13
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/30 , B24B37/34 , B24B41/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B55/06 , H01L21/67
Abstract: 一种化学机械抛光系统，包括：前端模块(101)，所述前端模块用于存储和/或检测晶圆；多个抛光单元(102，103，104，105)，多个所述抛光单元并排设置，且至少一个邻近所述前端模块；抛光机械手(107，109)，所述抛光机械手设在多个所述抛光单元之间用以传递晶圆；后清洗单元(108，110)，所述后清洗单元与所述抛光单元和所述前端模块均相连，且设置为清洗时晶圆纵置；中转机械手(408)，所述中转机械手用于将晶圆在所述抛光单元与所述后清洗单元之间顺次传递。化学机械抛光系统生产效率高，工艺流程更加灵活，清洗效果更好，且后清洗单元的体积小，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN106239371B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610855025.9
申请日：2016-09-26
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B53/017 , B24B53/12 , B24B37/34 , F02M35/10
Abstract: 本发明公开了一种修整器进气系统以及抛光机，修整器进气系统包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。通过合理控制修整器和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器内的加载腔室的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室内供入大气，从而可以避免加载腔室长时间收缩导致的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。
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公开(公告)号：CN108644336A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810528665.8
申请日：2018-05-29
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种柔性传动装置，包括：动力部件，用于生成驱动力；输出部件及使用端，用于输出驱动力；联轴部件，联轴部件分别与动力部件和输出部件及使用端相连，用于柔性连接动力部件和输出部件，以实现驱动力的平稳输出。该装置可以通过柔性连接动力部件和输出部件实现驱动力的平稳输出，有效避免因为刚性大对电机及整个传动系统产生额外的外力而减少使用寿命、甚至系统功能失效，从而有效提高系统使用寿命和可靠性，简单易实现。
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公开(公告)号：CN106272123B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201610912534.0
申请日：2016-10-20
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种抛光头以及具有其的抛光机，抛光头包括：连接件；安装板，所述安装板设置在所述连接件的下侧；调心轴承，所述调心轴承具有内圈和外圈，所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连；周向同步件，所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。该抛光头的安装板相对连接件角度可调，从而安装板可以补偿其工件安装面和工件表面之间的角度误差，以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差，进而可以提高抛光机的抛光效果。
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公开(公告)号：CN105643434B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201610030932.X
申请日：2016-01-18
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
IPC: B24B37/34 , B24B27/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种多工位化学机械抛光系统中晶圆传送的控制方法，包括以下步骤：根据加减分法在线计算每个工位的工位分值；根据每个工位的工位分值确定取片工位；通知机械手从取片工位中取得晶圆，并根据放片的就近原则将晶圆传输至下一个加工工位。本发明实施例的控制方法根据每个工位的工位分值确定取片工位，从而将晶圆及时传输至下一个加工工位，更好地保证了整个工艺的连续进行，提高了化学机械抛光系统的生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107471084A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710774883.5
申请日：2017-08-31
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
IPC: B24B37/005 , B24B37/04
Abstract: 本发明公开了一种抛光设备的抛光平面度控制方法、装置和抛光设备。该方法包括以下步骤：对抛光设备所加工的晶圆的多个施压区域分别施加对应的抛光压力以进行抛光处理；获取多个施压区域中每个施压区域的抛光厚度，并获取抛光时间；根据每个施压区域的抛光厚度和抛光时间计算每个施压区域的实际去除速率；根据每个施压区域的实际去除速率和对应的基准去除速率计算每个施压区域的去除速率漂移量；根据每个施压区域的去除速率漂移量调整抛光液的落点位置。根据本发明的抛光设备的抛光平面度控制方法，可以延长抛光垫的使用周期、提高抛光设备的使用效率、降低生产成本、提高晶圆的良品率，且简单有效、稳定性高。
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公开(公告)号：CN105773397B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610139592.4
申请日：2016-03-09
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/005 , B24B49/16
Abstract: 本发明提出一种化学机械抛光多区压力在线控制算法，包括以下步骤：分别获取抛光头的各压力分区的零点偏移量；根据抛光头的各压力分区的零点偏移量，分别对CMP抛光头系统的各路气压传感器的测量值进行修正，并将修正后的测量值作为各路气压传感器的最终输出值；计算各路气压传感器的最终输出值与对应压力分区的预设压力值之间的偏差量；根据偏差量实时计算CMP抛光头系统的相应电气比例阀的控制量；根据控制量对相应电气比例阀的开度进行控制。本发明的控制算法简便有效，方便调节，同时具有较强的适应能力。
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公开(公告)号：CN106439197A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610859497.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在电磁阀阀座上的多个电磁阀，互锁装置包括：输入接口，输入接口与总线耦合器相连，以接收总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，输出接口与通过电磁阀阀座与多个电磁阀相连；控制器，控制器用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。本发明能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。本发明还提出了一种模块化总线式电磁阀组。
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公开(公告)号：CN106298576A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610874828.9
申请日：2016-09-30
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提出一种CMP全工艺过程金属膜厚数据的离线处理方法，包括：读取电涡流传感器的输出信号，根据输出信号计算采样信号；设定采样信号的幅度阈值；根据幅度阈值，遍历所有采样信号，以得到全部非零点信号段；计算每个非零点信号段的信号宽度，根据信号宽度确定采样信号的宽度阈值；根据幅度阈值和宽度阈值，重新遍历测量过程中的全部非零信号段，提取有效测量信号段，计算每个有效测量信号段的中心区间的全部数据点的平均值；根据平均值得到CMP全工艺过程金属膜厚的变化信息。本发明可有效消除测量过程中的干扰信号和部分异常信号的影响，能够简洁高效地计算出真实的铜层厚度变化，且计算结果精确度高。
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公开(公告)号：CN105598827A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610010189.1
申请日：2016-01-05
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
CPC classification number: B24B37/04 , B23Q41/02 , B24B27/0023 , B24B27/0069 , B24B37/105 , B24B37/27 , B24B37/30 , B24B37/345 , B24B37/34
Abstract: 本发明公开了一种化学机械抛光机，化学机械抛光机包括：多个抛光组件，多个所述抛光组件间隔设置且每个所述抛光组件包括：支架、抛光头和抛光盘，所述抛光头设置在所述支架上且适于在抛光位置和传输位置之间移动，所述抛光头处于所述抛光位置时，所述抛光头位于所述抛光盘上方；传输组件，所述传输组件包括：转盘和多个装卸平台，多个所述装卸平台间隔开设置在所述转盘上且随所述转盘转动，所述抛光头处于所述传输位置时，所述抛光头与多个所述装卸平台中的一个相对应。由此，支架的安装稳定性好，抛光组件的工作可靠性高，抛光机的工艺稳定性好。
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