公开(公告)号：CN103116250B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201310048743.1

申请日：2013-02-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  杨开明 ,  成荣 ,  刘召 ,  刘昊 ,  徐登峰 ,  张利 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  胡金春 ,  穆海华 ,  尹文生

IPC: G03F7/20 ,  G01B9/02

Abstract: 带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；该掩膜台系统还包含用于测量精动台台体和测量架之间位置反馈激光干涉仪测量组件，所述的激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪和测量架组成，可对该掩膜台系统的运动部分进行实时的六自由度的测量。该掩膜台系统具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻从而减小了负载，提高了速度，加速度和控制带宽，配合激光干涉仪测量系统，大大提高了掩膜台系统的运动的精度。

公开(公告)号：CN102880009B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201210324261.X

申请日：2012-09-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  田丽 ,  张利 ,  秦慧超 ,  王平安 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  胡金春 ,  尹文生

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种六自由度微动工作台，含有实现微动工作台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第二种电磁力驱动模块与四组第一种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架以及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成微动工作台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架以及微动台基座共同组成微动工作台的定子部分。本发明与现有技术相比，具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

公开(公告)号：CN104009586A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201410253931.2

申请日：2014-06-09

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  成荣 ,  杨开明 ,  张利 ,  王平安 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  张金 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: H02K9/19

Abstract: 一种电机冷却散热结构，涉及直线电机和平面电机，主要应用于电机功率较大、发热量大且对电机温度控制要求较高的各种高精度、高速度、高加速运动系统。该冷却散热结构含有盖板、骨架和毛细管阵列；盖板上设有进水口出水口，并加工有水道；在骨架上设有四周水道、线圈安装槽和毛细管安装孔，在毛细管的外层镀有一层绝缘层；毛细管安装孔可以为单排孔结构，也可以为双排孔结构，双排孔结构相对散热面积更大，散热更充分。本发明与现有技术相比，其优点体现在可形成对线圈六个面的全方位冷却，且不会产生明显电涡流效应。

公开(公告)号：CN103929097A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410183531.9

申请日：2014-04-30

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  叶伟楠 ,  成荣 ,  刘召 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: H02N15/00

Abstract: 一种六自由度磁悬浮运动台，包括运动部分和永磁体阵列定子，其中运动部分包括承载台、多个X向电机动子、多个YZ向电机动子和四个重力补偿机构动子；X向电机动子和YZ向电机动子分别与永磁体阵列定子组成X向动圈式直线电机和YZ向动圈式直线电机；X向动圈式直线电机动子、YZ向动圈式直线电机动子和重力补偿机构动子共用永磁体阵列定子。该磁悬浮运动台利用重力补偿机构动子与永磁体阵列定子间的吸力之差补偿重力，利用X向动圈式直线电机和YZ向动圈式直线电机驱动并调整其悬浮姿态，可实现Y向的大行程运动及X向和Z向的小行程运动，并可实现θX、θY、θZ三个自由度的小角度转动，且能在Y向实现大行程、高速高加速运动，结构简单、功耗低。

公开(公告)号：CN103926805A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410175360.5

申请日：2014-04-28

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  支凡 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/70775

Abstract: 一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机，该平面电动机动子为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，平面电动机定子为安装在平衡质量上的线圈阵列。本发明可降低掩模台动台驱动电动机的设计复杂性；与直线电动机相比，平面电动机能够提供更多方向的推力，减少电动机的数量，使粗微动一体掩模台动台结构更加紧凑，提高粗微动一体掩模台动台的固有频率及控制带宽，进而提高控制精度。

公开(公告)号：CN103560643A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310508532.1

申请日：2013-10-24

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  支凡 ,  刘峰 ,  刘召 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: H02K41/02 ,  H02K3/26 ,  H02K3/28 ,  H02K1/17 ,  H02K1/27

Abstract: 一种印刷电路板绕组直线电动机，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势该直线电动机使用印刷电路板制作线圈绕组阵列，准确地布置线圈绕组中的每个线圈的位置，通过多层印刷电路板相邻两层中的线圈沿电动机直线运动方向错位排布及特定的供电规律，提高线圈绕组阵列中电流形成的电场的正弦性，进而降低直线电动机的推力波动，提高直线电动机的控制精度。

公开(公告)号：CN103454863A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310390448.4

申请日：2013-08-30

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  成荣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，该线缆台所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、一个柔性关节、一个Y方向直线气浮导轨滑块机构、一个X方向直线导轨滑块机构和一个X方向直线电机。所述的线缆台与平面电机动子没有硬连接，在X方向由大行程直线电机负责扫描方向驱动，另外在y方向则为一种直线电机加气浮轴承结构进行导向驱动。线缆台的沿X方向和沿Y方向的大行程测量采用线性光栅，精密测量采用两个光电位置探测器进行测量。该线缆台在沿X轴、沿Y轴和沿Z轴转动的三个自由度设置成自由的连接结构，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，在满足了高运动精度和定位精度的要求同时，又简化了线缆台结构。

公开(公告)号：CN103441708A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310406596.0

申请日：2013-09-09

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: H02N15/00 ,  G03F7/20

Abstract: 一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该运动平台包括基座、至少一个磁浮平面电机模块和一个体感控制器；每个磁浮平面电机模块由一个磁浮平面电机动子和一个磁浮平面电机定子组成，可实现微动工作台在水平面内沿X方向、沿Y方向和绕Z轴旋转。本发明与现有技术相比，由于线圈经过优化，不同规格的线圈能够适应一定的推力区间，因此可根据不同的承载力要求进行组合，具有结构简单，高效集成，节约生产成本等特点。

公开(公告)号：CN103383526A

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201310153408.8

申请日：2013-04-27

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  成荣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  田丽 ,  张利 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  赵彦坡 ,  秦慧超 ,  胡清平

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种粗精动叠层工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有精动台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和精动台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成精动台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架及微动台基座共同组成精动台的定子部分。本发明具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

公开(公告)号：CN102506110B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201110326616.4

申请日：2011-10-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  徐登峰 ,  李强 ,  张鸣 ,  尹文生 ,  杨开明 ,  李玉洁 ,  许岩 ,  田丽 ,  雷忠心 ,  张利

IPC: F16F6/00

CPC classification number: F16F6/005 ,  F16F2228/063

Abstract: 一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构，包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向磁化，外环形永磁体径向磁化，内外环形永磁体构成一个正刚度系统，上、下橡胶片构成负刚度系统，正负刚度系统并联使用可构成低频隔振机构。三个或四个单自由度隔振机构并联使用可实现三自由度的低频隔振；该隔振机构磁场力最大时，其刚度接近于零。本发明不需要外界气源，具有在真空中使用的前景；结构简单，成本低廉，且易于加工的特点；可用于光学、声学、生物学、半导体制造和精密测量等领域。