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公开(公告)号:CN111261479B
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN201811450206.9
申请日:2018-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明公开了一种具有静电导出作用的多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括压件组件,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,纳米驱动器设有装载样品的套管,套管上装有锁紧样品的预紧螺钉,其特征在于:纳米驱动器的尾端设有静电导出件,预紧螺钉和静电导出件能够导电,纳米驱动器上设置有连通预紧螺钉和静电导出件的电通路,静电导出件与导线连接。本发明样品的待观测区域上的静电通过样品传递到预紧螺钉,预紧螺钉经纳米驱动器上的电通路到达静电导出件,静电导出件上的电流经导线向外引出,避免电子束照射到样品时样品的待观测区域上产生静电场而影响电子束成像。
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公开(公告)号:CN109459456B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201811034047.4
申请日:2018-09-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/2204
Abstract: 多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件,关节球与驱动件固定,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,弹性连接组件连接相邻的压件,压件组件抱住关节球,压件与关节球之间具有预紧力。本发明具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度,且在重复使用中性能稳定的优点。
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公开(公告)号:CN111610209A
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN201910135959.9
申请日:2019-02-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/2202
Abstract: 本发明公开了一种制备具有确定孪晶取向的纳米孪晶金属试样的方法,包括以下步骤:选取层错能较低的材料,制成圆棒;剪切上述圆棒,得到纳米金属尖端,将此圆棒装入样品杆固定端,使断口端朝外;取另一圆棒,制备出金属针尖,剪切圆棒,后装入样品杆活动端,使金属针尖朝外;将样品杆插入透射电镜中,选择与所需形成的孪晶取向的纳米孪晶材料具有相同晶体取向的纳米金属尖端,使该纳米金属尖端处于正焦状态;使活动端针尖与该纳米金属尖端正对;在固定端和活动端间施加电压,活动端针尖与固定端纳米金属尖端相接触,发生熔化,形成纳米孪晶金属试样。本发明方法可以快捷地制备出一定孪晶取向的纳米孪晶材料。
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公开(公告)号:CN111261480A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN202010077755.7
申请日:2020-01-31
Applicant: 浙江大学
Abstract: 具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,包括杆身,设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器;纳米驱动器头端安装倾转台,倾转台具有与纳米驱动器固定的基座,基座上设有弹簧片和动子,动子预紧于弹簧片与基座之间,动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触,动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件,基座和动子之间设有第二压电驱动件;基座上设有圆弧导轨,动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件,动子上设有样品安装部位。本发明具有兼具原位测试功能和双轴倾转功能的优点。
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公开(公告)号:CN111257354A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201811450173.8
申请日:2018-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/02
Abstract: 本发明公开了多自由度样品杆,包括骨架和转轴,转轴末端设有磁铁,骨架设有引出电路板,骨架开有缺口,引出电路板包括弯折部,弯折部位于缺口内,磁场传感器固定于弯折部。本发明能够检测转轴位置信息,转轴旋转及前后运动时磁场随之变化,磁场传感器测得磁场,经求解能得出转轴的位置信息,磁场传感器与引出电路板焊锡连接不仅能固定磁场传感器,而且能对引出电路板上的其中一对引脚作短接,减少需要连接的导线个数;引出电路板包括平面部和弯折部,平面部和弯折部垂直铺设于骨架表面,磁场传感器固定于弯折部,使用弯折电路板,占用面积小,容易拆卸。
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公开(公告)号:CN109459456A
公开(公告)日:2019-03-12
申请号:CN201811034047.4
申请日:2018-09-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/2204
CPC classification number: G01N23/2204 , G01N2223/07
Abstract: 多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件,关节球与驱动件固定,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,弹性连接组件连接相邻的压件,压件组件抱住关节球,压件与关节球之间具有预紧力。本发明具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度,且在重复使用中性能稳定的优点。
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公开(公告)号:CN109425627A
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201811034050.6
申请日:2018-09-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/2204 , H01J37/20
Abstract: 多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件,驱动件为压电陶瓷管,压电陶瓷管的呈中空的管体,压电陶瓷管一端与关节球固定,另一端安装于样品杆;压电陶瓷管具有内表面和外表面,压电陶瓷管的一个表面上设置多个导电区域组,每个导电区域组包括两个对称的导电区域,所有导电区域相互独立,每个导电区域有导电线;压电陶瓷管的另一个表面为整区域导电部。本发明具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度,且在重复使用中性能稳定的优点。
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公开(公告)号:CN107576823A
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201710791800.3
申请日:2017-09-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 用于透射电镜样品杆的纳米定位器,包括用于装载样品的定位器头部和驱动样品位移的定位器身部,定位器身部为压电陶瓷管,压电陶瓷管的外周壁和内周壁分别设置导电区域,外周壁的导电区域有多对,每对导电区域以压电陶瓷管的轴线对称,外周壁的每个导电区域之间相互独立并均匀设置,压电陶瓷管的头端固定关节球;定位器头部主要由上压件,下压件和弹性连接组件组成,关节球位于上压件和下压件之间,上压件和下压件分别具有与关节球匹配的凹窝。本发明具有在重复使用中性能表现稳定的优点。
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公开(公告)号:CN211284575U
公开(公告)日:2020-08-18
申请号:CN201922041294.3
申请日:2019-11-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本申请公开了一种内置过渡舱的离子液体电镀装置,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,过渡舱位于密封箱体内部,过渡舱与密封箱体密封连接,过渡舱设置有过渡舱门,过渡舱门包括第一舱门和第二舱门,第一舱门位于过渡舱的顶面,第二舱门位于过渡舱的侧面,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,过渡舱的第一舱门位于密封箱体内部,过渡舱的第二舱门位于过渡舱和密封箱体的连接处。本实用新型减小了工件转移过程中的抽气量和补气量,进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本;采用内置过渡舱在安装时减少了焊缝数量和长度,提高了可靠性,便于进行舱与舱之间的拆卸运输。
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