公开(公告)号：CN104344921A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410381854.9

申请日：2014-08-05

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  三岛猛 ,  岩井滋人 ,  吉田勇作

IPC: G01L9/00

CPC classification number: H01L41/083 ,  H01L41/331 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/1057 ,  Y10T29/42

Abstract: 一种谐振换能器及其制作方法以及谐振换能器的多层结构，所述谐振换能器包括单晶硅衬底；被布置在单晶硅衬底上方的单晶硅谐振器；围绕谐振器并与谐振器具有一定间隙的由硅制成的壳体，该壳体与单晶硅衬底一起形成腔室；被配置为激发该谐振器的激发模块；被配置为检测传感器振动的振动检测模块；被布置在腔室上方的第一层，该第一层具有位于谐振器上方的通孔；被布置在第一层上方的第二层，该第二层覆盖了位于通孔上方并且与通孔连通的间隙；和覆盖了第一层和第二层的第三层，并且该第三层密封了间隙。