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公开(公告)号:CN103250229A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201180058115.0
申请日:2011-10-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J49/063 , H01J49/005 , H01J49/068 , H01J49/4255
Abstract: 本发明的质量分析装置的特征在于,具备:具有多极杆电极(1)的离子透过部(37);对多极杆电极施加电压的电源部(5);控制电源部的控制部,多极杆电极具有在轴向彼此不同的位置被分割成多个节杆(2A-1、2A-2、2B-1、2B-2、2C-1、2C-2、2D-1、2D-2)的杆电极。根据本发明,能够以低成本进行高吞吐量的分析。
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公开(公告)号:CN102725818A
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN201180006963.7
申请日:2011-01-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J49/105 , H01J27/16 , H05H1/2406 , H05H2001/2443
Abstract: 本发明提供质量分析装置,其特征在于,具有:第一电极(11);第二电极(12);设于第一电极与第二电极之间且具有试样的导入部以及排出部的电介质部(10);电源,其对第一电极与第二电极中的任意一方施加交流电压,并利用产生于第一电极与第二电极之间的放电来对试样进行离子化;以及对从排出部排出的离子进行分析的质量分析部,利用在减压条件下的电介质阻挡放电来对试样进行离子化。根据本发明,能够进行高灵敏度且碎裂少的离子化。
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公开(公告)号:CN102468111A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110353331.X
申请日:2011-11-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/04
CPC classification number: H01J49/0013 , H01J49/0031 , H01J49/0422 , H01J49/0495 , H01J49/10 , H01J49/105 , H01J49/24 , H01J49/26
Abstract: 本发明涉及质量分析装置。本发明提供小型轻量且可进行高精度的质量分析的质量分析装置(100)。该质量分析装置具有:为了使测定试样(4)离子化而对从外部流入的气体(23)进行离子化的离子源(101)和分离已离子化的测定试样(4)的质量分析部(102);离子源(101)通过来自质量分析部(102)的差动排气来使内部减压,在吸入气体(23)而使气压上升时使气体(23)离子化,质量分析部(102)在吸入气体(23)后内压下降时将已离子化的测定试样(4)分离。具有:抑制离子源(101)取入的气体(23)的流量的抑制构件(9)和对离子源(101)取入的气体(23)的气流进行开闭的开闭机构(8)。
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