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公开(公告)号:CN103080622B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201180042679.5
申请日:2011-05-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17
CPC classification number: F16K31/1221 , F16K31/1225 , F16K31/1226
Abstract: 壳体(4)由相互螺合的上部壳体(22)及下部壳体(21)构成。活塞驱动机构(12)具有安装在上部壳体(22)的顶部的直插式管接头(15)。能够对没有内置直插式管接头的气动阀的上部壳体和安装有直插式管接头的上部壳体进行更换,由此,能够得到带有直插式管接头和不带有直插式管接头的互换性。
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公开(公告)号:CN103998842A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201280046095.X
申请日:2012-09-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L23/036
CPC classification number: F16L23/036 , F16L23/0283 , F16L23/18
Abstract: 提供一种减少了零部件种类数量的接头。螺栓(5)具有在前端部分形成有外螺纹(14a)且在其余部分(14b)没有形成外螺纹的轴部(14)。第1及第2接头部件(2、3)为相同形状,在各接头部件(2、3)上,形成有对接端面侧的轴穿插孔(15)及与轴穿插孔(15)相连且延伸至对接端面的反面的螺纹孔(16)。
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公开(公告)号:CN102037423B
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN200980118159.0
申请日:2009-03-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
Abstract: 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法,该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道,并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中,在第1流量域的流体的流量控制中,使所述第1流量域的流体流过一个孔口,并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口,选定所述各孔口的流量特性,使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10%,在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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公开(公告)号:CN103080622A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180042679.5
申请日:2011-05-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17
CPC classification number: F16K31/1221 , F16K31/1225 , F16K31/1226
Abstract: 壳体(4)由相互螺合的上部壳体(22)及下部壳体(21)构成。活塞驱动机构(12)具有安装在上部壳体(22)的顶部的直插式管接头(15)。能够对没有内置直插式管接头的气动阀的上部壳体和安装有直插式管接头的上部壳体进行更换,由此,能够得到带有直插式管接头和不带有直插式管接头的互换性。
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公开(公告)号:CN101208641B
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN200680023200.2
申请日:2006-06-22
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
Inventor: 大见忠弘 , 斋藤雅仁 , 日野昭一 , 岛津强 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永濑正明 , 杉田胜幸 , 平田薰 , 土肥亮介 , 广濑隆 , 筱原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
CPC classification number: G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置,通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制,从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言,在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc=KP1(K为比例常数)或者Qc=KP2m(P1-P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中,将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路,并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔,在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通,此外,在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。
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公开(公告)号:CN101680561A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200880017711.2
申请日:2008-05-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: F16K27/00 , H01L21/02 , F17D1/04 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , Y10T137/598 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置,能够实现零件数量的削减和组装作业效率的提高。相对的拆卸频率较高的压力显示器(4)通过来自上方的螺钉部件(17)与位于下方的基座块(5)结合。相对的拆卸频率较低的开闭阀(6)在下方具有一体设置的块状主体(6a)。开闭阀(6)的主体(6a)被前后方向上的螺钉部件(18)结合在基座块(5)上。
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公开(公告)号:CN100467927C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200580031067.0
申请日:2005-08-26
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/003 , Y10T137/85938 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件,该连接部件能够抑制零件数量的增加,并且,可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有:形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41),和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
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公开(公告)号:CN101018970A
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200580031067.0
申请日:2005-08-26
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/003 , Y10T137/85938 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件,该连接部件能够抑制零件数量的增加,并且,可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有:形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41),和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
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公开(公告)号:CN1910393A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200580002923.X
申请日:2005-01-13
IPC: F16K51/00
CPC classification number: F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
Abstract: 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中,所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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公开(公告)号:CN113167406A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980077177.2
申请日:2019-11-19
IPC: F16K31/06
Abstract: 提供一种电磁阀、阀、流体控制装置、及电磁阀更换方法,即使在将阀集成设置的装置中使用也能够抑制该装置的大型化。电磁阀(30)具备:壳体(31)、容纳于壳体(31)且具备卷绕有线圈(34)的绕线管(33A)的螺线管、设置在绕线管(33A)的轴上且配置为能够沿着轴向移动的可动体(36A)、设置在绕线管(33A)的轴上且固定在壳体(31)内的固定部(35)、以及设置为能够与可动体(36A)一起移动并对驱动流体通路进行开闭的上阀芯(36D)。流入端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的上表面(31K)侧开口,流出端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的下表面(31E)侧开口。
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