蒸发淀积容器和蒸发淀积装置

    公开(公告)号:CN1582070A

    公开(公告)日:2005-02-16

    申请号:CN200410055681.8

    申请日:2004-08-02

    CPC classification number: C23C14/12 C23C14/243 C23C14/568 H01L51/001 H01L51/56

    Abstract: 本发明的目的是提供一种蒸发淀积装置。该装置使用由价格低廉且加工容易的材料制成的用于蒸发淀积的容器,来蒸发淀积蒸发材料而不产生堵塞,因此能够稳定地执行蒸发淀积。在用于蒸发淀积的容器的侧面提供折叠式的结构。另外,使用于蒸发淀积的容器的盖子比蒸发源的开口部分还要大,并和加热部分直接连接。根据该结构,盖子的开口部分附近不容易被冷却,且不容易产生容器的胴体部分和盖子之间的温度差。所以,蒸发了的材料不会在开口部分堵塞,从而可以在长时间执行稳定的蒸发淀积,进一步实现蒸发淀积率的稳定化并提高生产性。

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