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公开(公告)号:CN207502060U
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201721331045.2
申请日:2017-10-16
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种快速响应深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为矩形齿状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为栅状金属层,本实用新型所公开的深海温度传感器响应速度快,结构稳定,不受外界海水压力影响。
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公开(公告)号:CN207502059U
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201721324913.4
申请日:2017-10-16
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器,包括管状的金属外壳,所述金属外壳顶端设有金刚石基底,所述金属外壳内部位于金刚石基底上设有硼掺杂金刚石薄膜材料制成的温度响应元件,所述温度响应元件的两端设有电极引线,所述温度响应元件和电极引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层;所述金属外壳和金刚石基底的连接处设有密封圈,同时还公开了该温度传感器的制备方法,本实用新型所公开的温度传感器体积小、响应速度快、分辨率高、结构稳定、测量不受外界海水压力影响。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN216947203U
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202220058946.3
申请日:2022-01-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种使用寿命长的BDD水处理电极制备装置,涉及BDD水处理电极制备领域,包括框架,框架的内部下方分别设置有渗碳器、电子束蒸发镀膜机和化学气相沉积设备,渗碳器的内部下方安装有电加热板,渗碳器的顶部设置有取出组件,取出组件包括有安装于框架内部上方的两个电机。本实用新型可增加薄膜层数,有效遏制裂纹产生和延伸,提高电极的整体稳定性;同时有效的降低现有铌基BDD电极的成本,使其能够更广泛的应用;且合理的利用热膨胀系数材料设计,降低使得薄膜更加与基底匹配,降低了热应力,并巧妙的形成Ti与TiC,TiC与NbC,NbC与Nb,Nb与NbC,NbC与BDD界面关系,形成多层结构有效防止失效区域蔓延。
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公开(公告)号:CN212293737U
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN202021333436.X
申请日:2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本实用新型的设备,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208537079U
公开(公告)日:2019-02-22
申请号:CN201821229095.4
申请日:2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位于应力腔的正上方;压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;所述防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN218688198U
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202222360738.1
申请日:2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型涉及水处理技术领域,具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜;所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔;所述多孔金属基底的厚度为1‑2mm。本实用新型将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域,采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜,并提供一种电催化膜组件,打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈,处理效率大幅度提高,能耗显著降低。
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公开(公告)号:CN210620336U
公开(公告)日:2020-05-26
申请号:CN201921286895.4
申请日:2019-08-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于薄膜电极技术领域,涉及一种硼掺杂金刚石薄膜电极。一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极,包括基底层和硼掺杂金刚石薄膜;所述硼掺杂金刚石薄膜沉积在所述基底层的表面,所述的基底层上设有若干呈阵列分布的下沉栅格。本实用新型的薄膜电极,与现有产品相比,具有的有益效果是:(1)栅格倒角的存在,能够释放薄膜的内应力,提高薄膜与基底层的结合力,增强电极的稳定性;(2)特殊的栅格结构,能够增加水流阻力,有利于抵抗水流的冲蚀;(3)栅格的存在,使电极表面凸凹不平,与相同规格的平面电极相比,能够增加约4%的有效工作面积,提高污水处理速率。
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公开(公告)号:CN207496030U
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201721331398.2
申请日:2017-10-13
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: B29C65/44
Abstract: 本实用新型公开了一种海水盐度传感器电导池的制备装置,包括基座,所述基座一端设有气动卡盘,另一端水平设有直线气缸,所述直线气缸的伸出杆正对气动卡盘的中心,且伸出杆连接有连接模块,所述连接模块底部通过滑块安装于导轨上,所述导轨固定于基座上;所述连接模块前端设有卡爪模块,所述卡爪模块上设有两个相对的半圆形工作卡爪;所述基座上位于气动卡盘前方设有管夹持支撑件,本实用新型还公开了该制备方法,通过该装置及该方法可以大大提高电导池制作效率,成本低廉,性能可靠,操作简单。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN216998568U
公开(公告)日:2022-07-19
申请号:CN202220377044.6
申请日:2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域,具体地说,涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体,设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室,进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀,设备箱体内底面等距设有若干滑轨,滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀,提高镀膜质量;拉丝更长可以达到更大面积的镀膜;一次拉丝可连续进行多次镀膜,大大减少浪费,延长热丝的使用寿命;并实现批量化生产;其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组,达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果,提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号:CN216979180U
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202220316738.9
申请日:2022-02-16
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01R27/22
Abstract: 本实用新型提出了一种电极型电导率传感器。本实用新型包括壳体、壳盖、温度探头和电导率探头;壳体的内部设有电路板;壳盖用于密封盖合壳体;温度探头设置于壳盖上;电导率探头也设置于壳盖上并位于温度探头的一侧,电导率探头包括导流管和电导率电极,电导率电极同轴套接于导流管的内部,电导率电极包括基体,基体的外表面上设有上下平行排列的七个环形电极,环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层,环形电极的内部还设有引线,引线穿过基体并由基体的内部穿过壳盖与壳体内的电路板连接。本实用新型的电导率电极结构稳定,组装方便,易清洗,工作效率高,使用寿命长,所得的电极型电导率传感器响应快,测量效果好,测量精度高,性能稳定。
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