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公开(公告)号:CN115826352A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202211092298.4
申请日:2022-09-07
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够形成耐酸性优异的抗蚀图案的感光性组合物。一种感光性组合物,其包含碱溶性树脂、具有烯属不饱和基团的聚合性化合物及光聚合引发剂,上述聚合性化合物包含满足下述要件(X1)的聚合性化合物A。要件(X1):涂布包含上述聚合性化合物A100质量份、1‑[9‑乙基‑6‑(2‑甲基苯甲酰基)‑9H‑咔唑‑3‑基]乙酮‑1‑(O‑乙酰肟)1.0质量份及甲基乙基酮9质量份的组合物而形成2.0μm的膜之后,在氮气气氛下以曝光量500mJ/cm2照射i射线,并在150℃下加热30分钟而得到的膜的水接触角为74度以上。
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公开(公告)号:CN115668061A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180036339.5
申请日:2021-05-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/095 , G03F7/11 , G03F7/40 , H01L21/027 , H05K3/00 , H05K3/06 , H05K3/28 , G06F3/041
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法、层叠体及这些的应用,上述图案形成方法包括:准备依次具备第一感光层、具有相对于曝光波长透明的区域的基板以及第二感光层的层叠体的工序;对上述第一感光层进行曝光的工序;对上述第二感光层进行曝光的工序;对经曝光的上述第一感光层进行显影而形成第一树脂图案的工序;及对经曝光的上述第二感光层进行显影而形成第二树脂图案的工序,对上述第一感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ1及对上述第二感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ2满足λ1≠λ2的关系。
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公开(公告)号:CN107015437B
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN201610919906.2
申请日:2016-10-21
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明涉及一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置。提供能够制造图案直线性高的电路布线的干膜抗蚀剂。一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置,所述干膜抗蚀剂为在临时支承体上具有抗蚀剂层的正型干膜抗蚀剂,临时支承体的总光线雾度为0.3%以下。
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公开(公告)号:CN113166323A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980076795.5
申请日:2019-11-05
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F212/04 , G03F7/40 , G06F3/041 , G06F3/044 , C08F220/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种转印材料及其应用,所述转印材料具有厚度为7μm~18μm的临时支承体及化学放大正型感光性树脂层,上述临时支承体至少在与设置有上述化学放大正型感光性树脂层的一侧相反的一侧的表面具有凹凸。
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公开(公告)号:CN110337610A
公开(公告)日:2019-10-15
申请号:CN201880012881.5
申请日:2018-02-07
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料、使用该感光性转印材料的电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法,该感光性转印材料具有:临时支撑体;及感光性树脂层,其含有聚合物成分及光产酸剂,该聚合物成分中,包含含有具有酸基以缩醛的形式被保护的基团的构成单元的聚合物,具有上述酸基以缩醛的形式被保护的基团的构成单元的含量相对于聚合物成分的总质量为10质量%以上且30质量%以下,聚合物成分的基于有机概念图的无机性值I除以有机性值O的I/O值的平均值为0.5以上且0.7以下,玻璃化转变温度的平均值为90℃以下。
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公开(公告)号:CN107132731A
公开(公告)日:2017-09-05
申请号:CN201611242741.6
申请日:2016-12-28
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0035 , G03F7/09 , H05K3/061 , H05K2203/0531
Abstract: 提供一种感光性转印材料和电路布线的制造方法,所述感光性转印材料在低温且高速下对基板进行贴合也具有良好的密合性,可以以高分辨率形成电路布线。感光性转印材料(100)、和使用其的电路布线的制造方法,所述感光性转印材料(100)包含临时支撑体(12)和配置在临时支撑体上的正型感光性树脂层(14),所述正型感光性树脂层(14)包含含有下述通式A所示的结构单元和具有酸基的结构单元且玻璃化转变温度为90℃以下的聚合物以及光产酸剂。通式A中,R31及R32各自独立地表示氢原子、烷基或芳基,至少R31和R32中的任一者为烷基或芳基,R33表示烷基或芳基,R31或R32与R33可以连结而形成环状醚。R34表示氢原子或甲基,X0表示单键或亚芳基。
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公开(公告)号:CN107015437A
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201610919906.2
申请日:2016-10-21
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/0392 , G06F3/0412
Abstract: 本发明涉及一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置。提供能够制造图案直线性高的电路布线的干膜抗蚀剂。一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置,所述干膜抗蚀剂为在临时支承体上具有抗蚀剂层的正型干膜抗蚀剂,临时支承体的总光线雾度为0.3%以下。
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公开(公告)号:CN103998532A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201280062389.1
申请日:2012-12-14
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: C09B29/0037 , C09B23/04 , C09B29/334 , C09B29/363 , C09B29/3669 , C09B63/005 , C09B67/0022 , C09B67/0023 , C09B67/0033 , C09B67/009 , G02B5/22 , G02F1/133514
Abstract: 着色感光性组合物包含(A)绿色颜料、(B)具有与上述绿色颜料不同的母骨架的染料、以及(C)聚合性化合物,上述(B)染料的15质量%以上吸附于上述(A)绿色颜料的表面。
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公开(公告)号:CN101570647B
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN200910135385.1
申请日:2009-04-28
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有分散性和分散稳定性的有机纳米颜料粒子非水性分散物,其是通过这样的制造方法而获得的,在该制造方法中,不需要繁杂的工序,将水性介质中的有机纳米颜料微粒转化为可以容易过滤的非水性凝集体,分离该凝集体,从而可以高效率地获得有机纳米颜料粒子疏水性凝集体,然后将该疏水性凝集体在非水性介质中进行分散,从而制得有机纳米颜料粒子非水性分散物。本发明提供一种有机颜料组合物,其含有有机颜料微粒以及具有下述通式(1)所表示的重复单元和/或通式(2)所表示的重复单元的高分子化合物,式中,A1表示氢原子或甲基;X1表示通过碳原子与重复单元相连接的杂环基。
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