二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器

    公开(公告)号:CN103062288B

    公开(公告)日:2014-10-29

    申请号:CN201210574234.8

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑,通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性,可具有极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能,可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

    滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器

    公开(公告)号:CN103047359B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201210575246.2

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑,通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性,可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能,从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

    共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器

    公开(公告)号:CN103047349B

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201210574783.5

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载,活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑,上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦,二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦,电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维近似零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性,可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

    气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器

    公开(公告)号:CN103047341B

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201210574587.8

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载,活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦,电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性,可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能,从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

    一种航空发动机转子装配方法与装置

    公开(公告)号:CN103808251A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410052279.8

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 一种航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准;依据感应同步器确定转台的角度定位;基于四测头测量装置,提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差,得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值;分别测量装配所需的全部转子,得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值;将各转子的权值进行矢量优化,得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题,具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。

    基于感应同步器的液压抓卡式航空发动机转子装配方法与装置

    公开(公告)号:CN103806958A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410052278.3

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 基于感应同步器的液压抓卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准;依据感应同步器确定转台的角度定位;基于四测头测量装置,提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差,得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值;分别测量装配所需的全部转子,得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值;将各转子的权值进行矢量优化,得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题,具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。

    基于四路电感传感器测量的航空发动机转子装配方法与装置

    公开(公告)号:CN103791831A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410052257.1

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 基于四路电感传感器测量的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准;依据光栅尺确定转台的角度定位;基于四测头测量装置,提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差,得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值;分别测量装配所需的全部转子,得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值;将各转子的权值进行矢量优化,得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题,具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。

    基于感应同步器测角的双立柱式航空发动机转子装配方法与装置

    公开(公告)号:CN103791817A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410052173.8

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 基于感应同步器测角的双立柱式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准;依据感应同步器确定转台的角度定位;基于四测头测量装置,提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差,得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值;分别测量装配所需的全部转子,得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值;将各转子的权值进行矢量优化,得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题,具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。

    基于电感测量的航空发动机转子气浮装配方法与装置

    公开(公告)号:CN103791815A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410052106.6

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 基于电感测量的航空发动机转子气浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准;依据圆光栅确定转台的角度定位;基于四测头测量装置,提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差,得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值;分别测量装配所需的全部转子,得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值;将各转子的权值进行矢量优化,得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题,具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。

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