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公开(公告)号：CN101436562B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810209690.6
申请日：2008-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J3/00 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。
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