公开(公告)号：CN101154695A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710061325.0

申请日：2007-09-30

Applicant: 南开大学

Inventor： 赵颖 ,  张晓丹 ,  魏长春 ,  熊绍珍 ,  耿新华 ,  孙建 ,  张德坤 ,  薛俊明 ,  侯国付 ,  任慧志 ,  张建军 ,  蔡宁

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种利用绒面临时衬底制备柔性转移衬底太阳电池的方法，该方法将金属衬底浸入电解液中进行表面处理，使金属衬底具有绒面结构，然后在绒面金属铝箔上制备前电极、然后激光切割、制备P－I－N层、激光切割、制备背电极、激光切割和层压聚合物衬底，最后再去除金属衬底制成柔性转移衬底太阳电池。所述本发明中作为柔性转移衬底的金属衬底表面平整且具有绒面结构，使在其表面沉积的前电极也随之具有一定的绒度，从而使所制备的太阳电池具有很好的陷光结构，提高太阳电池效率。

公开(公告)号：CN2775071Y

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200520025309.2

申请日：2005-02-25

Applicant: 南开大学

Inventor： 耿新华 ,  赵颖 ,  薛俊明 ,  仁慧志 ,  魏长春 ,  张德坤

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40

Abstract: 本实用新型涉及一种氧化锌透明导电膜的制备设备，特别是用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）制备氧化锌透明导电膜的反应器，以便实现制备氧化锌透明导电膜的大面积均匀性。 MOCVD法制各氧化锌透明导电膜，具有无轰击，衬底温度低（～ 150℃）等优点，特别适合于低温薄膜太阳电池应用，对提高电池效率有重要作用。本实用新型的技术方案：这种金属制备氧化锌透明导电膜的反应器，是在一个圆柱形反应室中设置加热丝、匀热板、二乙基锌和硼烷布气管、水布气管等，其特点在于：二乙基锌和硼烷布气管为梳状，梳状分管上布有微孔，水布气管呈十字交叉状。本新型的有益效果：反应器结构简单、造价低，在不加旋转的情况下，20cm×20cm基片范围内实现了薄膜不均匀性小于5％。