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公开(公告)号：CN112216784B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201910627340.X
申请日：2019-07-12
Applicant: 茂丞(郑州)超声科技有限公司 , 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种晶圆级超声波感测装置及其制造方法，所述晶圆级超声波感测装置包括基板组件、超声波元件、第一保护层、第一导电线路、第二导电线路、第二保护层、传导材料、电性连接层及焊接部。基板组件包含第一晶圆及第二晶圆，第二晶圆覆盖第一晶圆上的凹槽而界定出中空腔体。超声波元件与中空腔体的投影叠合。第一保护层围绕超声波元件。第一晶圆、第二晶圆、第一保护层在第一侧表面与第一导电线路共平面，在第二侧表面与第二导电线路共平面。第二保护层具有开口，传导材料在开口内且接触超声波元件。电性连接层设置于第一侧表面及第二侧表面，焊接部连接电性连接层。
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公开(公告)号：CN110702088B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201810742776.9
申请日：2018-07-09
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种轮式双轴微机械陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，驱动折叠梁，中心连接梁，内环框架，外环框架，多组扭转梁，检测质量块，驱动梳齿和驱动反馈梳齿。固定在衬底上的中心连接梁与内环框架连接，内环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，外环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，驱动折叠梁一端与外环框架连接，另一端固定连接在衬底上。检测质量块可以分别以X轴和Y轴为扭转轴进行面外扭摆运动，实现差分检测。本发明可同时检测两个轴的角速度输入，对线加速度不敏感、机械耦合小、工艺过程简单，可以大批量生产，并且有利于和其他元器件集成惯性测量单元，应用于汽车、航空航天、军事等领域。
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公开(公告)号：CN108312398B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201810356276.1
申请日：2018-04-19
Applicant: 北京大学 , 丰泽智能装备股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种电磁硫化系统，通过对其中的硫化模具进行改进，在硫化模具内部设置由导磁陶瓷材料制备的导磁槽来容纳通电线圈，通电线圈与外部中高频电源电连接，从而获得中高频电流以产生第一磁场对钢板进行加热，由于通电线圈直接设置在硫化模具的内部且通过导磁陶瓷材料将通电线圈的产生的磁场束缚在硫化模具内部，能够避免通电线圈产生的交变磁场作用于模具本身，由此可使交变磁场全部用于对钢板进行加热。而硫化机的上加热板和下加热板通过导热油能够快速被加热，继而将热量快速地传导给硫化模具的上模和下模。因此硫化模具的上模、中模和下模都能够快速、均匀地升温，使其内部的钢板温度被快速、均匀地加热，从而提升橡胶支座的硫化效率和硫化质量。
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公开(公告)号：CN115714595A
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202211402449.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 北京大学
IPC: H03L7/08
Abstract: 本发明提供了一种微机电谐振器启动方法及装置，所述方法包括：在所述微机电谐振器的驱动模态方向上增加阻性元件；向所述微机电谐振器施加驱动电压时，导通所述微机电谐振器中的谐振结构与所述阻性元件之间的通路，通过所述阻性元件产生热耗散以使所述谐振器在低Q值下快速启动；检测所述微机电谐振器的振动电压；在所述振动电压到达阈值电压时，断开所述微机电谐振器中的谐振结构与阻性元件之间的通路，以使所述微机电谐振器在高Q值下工作。本发明涉及微机电传感器技术领域，通过本发明提供的方法可以使微机电谐振器能够快速启动，并在高Q值下运行，可以使传感器能够快速进入正常工作状态。
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公开(公告)号：CN113138292B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202010050723.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 北京大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种电容式微机械加速度计，它包括衬底、固支框架结构、敏感质量块框架结构、在衬底上固定固支框架结构的锚点、在衬底上固定加速度计敏感质量块框架结构的锚点、连接固支框架结构与敏感质量块框架结构的单自由度弹性梁、连接敏感质量块框架结构与锚点的单自由度弹性梁、检测电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于加速度计敏感质量块框架结构的可动电极组成。本发明由于采用轴对称结构并将可动结构锚点置于同一条对称轴上，可以使加速度计性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应用于各种领域中物体线加速度的检测中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111812355B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201910283449.6
申请日：2019-04-10
Applicant: 北京大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种低应力敏感度硅微谐振式加速度计结构，主要包括质量块、杠杆放大结构、双端固支音叉谐振器(DETF)、低应力框架、支撑梁和外框架，且各结构对称分布。加速度计结构分为两层，其中上层制作了加速度计的机械结构，下层的硅衬底在键合后可为上层结构提供支撑，中间连接有金属电极，用于导出电信号。本发明通过布置对称分布于谐振器上下两侧的固定锚点，降低工作温度变化对谐振器所产生的热应力，从而减少了温度漂移对器件性能的影响问题，由此提高了谐振式加速度计的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN113137959B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202011005131.0
申请日：2020-09-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种微机械音叉陀螺，它包括衬底、在衬底上固定陀螺可动结构的锚点、驱动框架结构、惯性质量块、敏感框架结构、连接驱动框架结构和惯性质量块的弹性梁、连接惯性质量块与敏感框架结构的弹性梁、连接敏感框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构的弹性梁、检测电极单元和驱动电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成；所述驱动电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极。本发明由于采用轴对称结构并将可动结构锚点至于一条对称轴上，可以抑制陀螺工作模态间的机械耦合，并使陀螺性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应用于各种领域中物体转动角速度的检测中。
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公开(公告)号：CN114159212A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111250699.3
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京大学(天津滨海)新一代信息技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种热疗线圈手柄及设备，属于热疗的技术领域，包括手柄本体、线圈和连接线，所述线圈设置在所述手柄本体的一端的端部；所述连接线的一端与所述线圈连接，所述连接线的另一端与设备主机连接。本发明具有解决在面向多脏器不同肿瘤热疗时，医生在热疗过程中不便于对线圈进行手持和操作问题的效果。
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公开(公告)号：CN113724869A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110942658.4
申请日：2021-08-17
Applicant: 北京大学
IPC: G16H50/30
Abstract: 本发明提供一种身心健康评估与反馈方法、装置及系统，该身心健康评估与反馈方法包括：接收用户的第一输入；响应于所述第一输入，确定用户的问诊信息；采集用户的生理数据；基于所述问诊信息、所述生理数据以及用户历史健康信息，确定用户当前健康信息和目标调理建议信息；将所述用户当前健康信息和所述目标调理建议信息发送给目标终端。本发明提供的身心健康评估与反馈方法、装置及系统，能够将用户主观感知指标、对自己生活方式的评估以及对所处环境的评价、客观生理指标以及用户的过往健康状况结合起来，得到用户当前健康信息以及目标调理建议信息，能够提高人体健康状态判断的准确性和便捷性，使用户有针对性地调理，便于用户保持身心健康。
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公开(公告)号：CN113343520A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110578205.8
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京大学
IPC: G06F30/23 , G06F119/08
Abstract: 本申请实施例提供一种硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质，涉及微机电传感器技术领域，采用本申请提供的硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法，按照晶向角优化步长增加谐振式传感器的晶向角进行搜索，对于每一次搜索，在多个测试温度下对所述谐振式传感器进行模态仿真，获取在该晶向角下的谐振频率温度变化量，搜索完成后汇总谐振频率温度变化量找到最优晶向角。本申请可以高效、便捷地确定使硅谐振式传感器频率温度漂移最小的加工晶向，提升传感器的温度稳定性。
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