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公开(公告)号：CN104900487A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510203149.4
申请日：2015-04-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
CPC classification number: H01L21/0203 , B23K26/3584
Abstract: 本发明涉及一种点阵扫描制备黑硅的方法和装置，属于半导体光电材料制备领域。该方法包括1：将硅片置于含掺杂物质的样品室中；2：将脉冲激光器的单束激光依次通过光阑、反射镜、半波片、偏振片、快门、扩束镜、聚焦透镜和达曼光栅等元件得到点阵激光；3：将点阵激光辐照硅片表面，通过计算机控制快门的开闭和三维平移台的运动实现点阵扫描，得到表面为微尖锥结构的黑硅材料。本发明通过引入达曼光栅，将单束激光变成二维的等光强阵列光束。达曼光栅对激光进行分束时，避免了普通半透半反镜分光过程中色散的影响，同时保证了分束后的光束质量。本发明将制备黑硅的方式由逐点扫描改为点阵扫描，大幅提高了黑硅的制备效率。
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公开(公告)号：CN103292891B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201310257681.5
申请日：2013-06-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种光纤式同步可调谐面振动测量系统，属于面振动参数精密测量技术领域。系统由可控式光纤式激光源阵列及控制模块，光频调制单元，光学干涉单元，集束光同步调谐控制单元，干涉信号解调模块，控制及信息输出单元组成；测量系统采用集束光纤作为测量光源，利用外差干涉的原理，采用了集束光同步调谐控制单元，通过分束、集束实现面振动的同步可调谐测量。本发明采用了集束光纤、面振动分束测量结构，使测量系统紧凑方便，易于操作与控制，实现面振动的同步快速精准测量与评价，具有较好的应用推广价值。
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公开(公告)号：CN103674358A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310606168.2
申请日：2013-11-25
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种膜片式F-P腔压力传感器温度补偿方法，属于光纤传感和压力测量及健康监测领域。首先选取玻璃7740材料制作腔底，同时采用硅制作F-P腔膜片，厚度为40μm；其次根据材料的热膨胀系数，玻璃的为3.3×10-6，硅片的为2.4×10-6，同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性，选用钛进行真空溅射镀膜，其热膨胀系数为10.8×10-6，膜厚为100nm；然后采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理，并采用高温键合方法将两者固定一起，腔体为真空环境；最后采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。本发明流程简单，易于实现可以代替复杂的软件算法进行的温度补偿。
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公开(公告)号：CN103344315A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310251729.1
申请日：2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种光纤平衡干涉高速测振系统，属于高速冲击与振动固体波精密测量技术领域。测振系统由平衡光纤耦合单元，干涉测量单元，光纤光波面精密对准模块，控制及信息输出单元，干涉信号解调模块，物理光栅；测量光源通过平衡式光学分离组件形成两束信号通过光纤空间位置调制部件将两束光投射到测量分离式光栅，测量光携带速度测量信号返回光学干涉组件形成速度干涉测量信号，利用电子解调系统完成速度解调与输出。本发明采用了简单结果，测量系统操作方便，成本较低，测量及控制精度高，通过采用平衡干涉的方法，利用光纤平衡干涉高速测振系统实现高速的测量与评价。
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公开(公告)号：CN103308150A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310253021.X
申请日：2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种全场激光测振装置，属于全场振动参数精密测量技术领域。包括测量光源，准直扩束器，第一偏振分光棱镜，声光调制器，第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜，1/2波片，第二偏振分光棱镜，1/4波片，第一分域光组镜，测量对象，分光镜，第二分域光组镜，调谐光切镜，光电接收器，分域光组位移调制器，视觉测量单元；本发明采用了光学分域和全场振动调谐测量结构，使测量系统紧凑方便，易于操作与控制，实现全场振动精准测量与评价，具有较好的应用推广价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103185658A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110445686.1
申请日：2011-12-28
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种周期力加载装置，属于计量测试与产品性能试验技术领域。包括质量块、弹性连接件、被检产品、振动台和支架；其中，质量块带有一个凸块，该凸块带有外螺纹，弹性连接件包括质量块固定端、工作段、加载固定端。本发明能够缩减质量块尺寸，降低加速度分布不均匀性带来的不确定性，可以在不改变振动台总体输出的情况下，使装置获得更大的有效动态力载荷，扩大周期力加载装置的力值范围，而且相对稳定；同时又避免由于增加质量块尺寸给整体加载装置的使用频率带来的负面影响。
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公开(公告)号：CN115901081B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202210927754.6
申请日：2022-08-03
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种正弦扭矩校准装置及方法，所述正弦扭矩校准装置包括电磁动态激励源、激励源安装座、激励源安装地基、第一联轴器、被校扭矩传感器、第二联轴器、第二光栅、气浮轴系外套、标准转动惯量块、第一光栅、气浮轴系安装座、气浮轴系安装地基，第二光栅用于测量第二联轴器和被校扭矩传感器的角加速度，第一光栅用于测量标准转动惯量块的顶部角加速度，标准转动惯量块为不锈钢圆柱体，气浮轴系外套为圆筒形结构，标准转动惯量块从气浮轴系外套内穿过，在气浮轴系外套内悬浮，标准转动惯量块与气浮轴系外套构成气浮轴系。本发明能够提高系统的固有频率，可以产生宽频正弦扭矩，并且使正弦扭矩的溯源途径更加简单，量值更加准确。
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公开(公告)号：CN115391744A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211322152.4
申请日：2022-10-27
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种负荷传感器动力学模型参数辨识方法和装置、计算机设备和计算机可读存储介质，所述负荷传感器动力学模型参数辨识方法包括幅频响应曲线获取步骤、固有频率与阻尼比系数获取步骤、固有频率序列与阻尼比系数序列获取步骤、等效惯量与刚度获取步骤、结构阻尼获取步骤，基于所获取的多个校准状态下的固有频率与阻尼比系数，通过线性拟合得到负荷传感器自身的等效惯性质量或转动惯量以及传感器自身的等效刚度或扭矩刚度，基于多个校准状态下通过换算得到的阻尼，通过二次拟合得到传感器自身的结构阻尼。本发明能够获取负荷传感器的本征的动力学模型参数。
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公开(公告)号：CN108592977B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201810255792.5
申请日：2018-03-27
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明涉及动态校准模拟信号和数字信号同步采集分析方法及系统，属于计量领域。主要采用多通道模数转换系统同步采集模拟信号和数字信号，并对其进行分析，获得被校系统的动态特性。采用模数转换系统采集标准系统的模拟电压信号、数字信号测量系统采集被校传感器输出的数字信号时，两个信号在时域存在时间无法准确同步的问题，导致信号处理得到的相频特性误差较大。本发明采用多通道模数转换系统同步采集模拟信号和数字信号，以解决上述问题。
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公开(公告)号：CN106482894B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201611098262.1
申请日：2016-12-03
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明涉及一种动态扭矩校准装置，属于计量测试领域。本发明的装置采用电机驱动转轴带动标准转动惯量块的方式产生动态扭矩。标准转动惯量块的转动惯量为已知量，连接标准转动惯量块和扭矩传感器之间轴系的空载转动惯量可以在原位进行精确测量。转动惯量块上的角加速度分布通过两台激光干涉仪配合柱状光栅进行测量。通过转动惯量和角加速度量可以将动态扭矩量溯源到国际单位制(SI)。通过对电机进行控制，可以产生正弦、半正弦或其它所需要的扭矩波形。
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