一种振镜校正系统及振镜校正方法

    公开(公告)号:CN110497075B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN201910880464.9

    申请日:2019-09-18

    Abstract: 本发明公开了一种振镜校正系统及振镜校正方法,属于激光振镜扫描技术领域,能够解决现有振镜校正系统校正精度较低的问题。所述系统包括控制模块,激光模块、振镜模块、图像采集模块和标靶;激光模块用于向振镜模块提供激光束;控制模块用于控制振镜模块利用激光束在标靶上扫描出标记点;图像采集模块用于采集标记点的图像;控制模块还用于根据标记点的图像获取标记点的实际坐标和坐标偏差值,并根据标记点的实际坐标和坐标偏差值获取第一校正参数,并利用第一校正参数校正振镜模块。本发明用于振镜系统的校正。

    一种紫外中继分幅光学系统以及紫外分幅相机

    公开(公告)号:CN109656092B

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN201910012410.0

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本申请公开了一种紫外中继分幅光学系统和紫外分幅相机。紫外中继分幅光学系统,包括第一镜片组、滤光片、第二镜片组、角锥反射棱镜、反射镜、成像面;第一镜片组、滤光片、第二镜片组、角锥反射棱镜沿第一方向依次设置;反射镜沿第二方向分别位于角锥反射棱镜的两侧;成像面与反射镜相对;第一镜片组沿第一方向依次包括第一负透镜、第一正透镜、第二正透镜;第二镜片组沿第一方向依次包括第三正透镜、第二负透镜、第四正透镜、第五正透镜、第三负透镜、第四负透镜、第六正透镜。该系统保证了190~350nm紫外波段的成像质量和灵敏度。

    一种防散射栅格及其制备方法

    公开(公告)号:CN113823434B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202010568028.0

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 本发明公开了一种防散射栅格及其制备方法,方法包括:根据每片栅格膜片与发射源的距离,计算每片栅格膜片上多个孔洞的孔间距及每个孔洞的孔径;根据每片栅格膜片上多个孔洞的孔间距及每个孔洞的孔径,确定每片栅格膜片上掩膜层的结构;根据确定的掩膜层的结构,在每片栅格膜片上镀设掩膜层;利用刻蚀方法刻蚀每片镀设掩膜层的栅格膜片;将每片刻蚀后的栅格膜片按照其与发射源的距离依次进行定位粘合,得到防散射栅格。本发明利用等离子刻蚀方法加工栅格膜片,通过增材制造方法在栅格膜片上制备具有特殊结构的掩膜层,克服了大幅面等离子刻蚀过程中刻蚀不均匀的问题,同时还避免了激光加工或机械加工带来的系统复杂度和加工误差叠加等问题。

    一种紫外脉冲激光装置及输出光路自准直方法和应用

    公开(公告)号:CN116482911A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310272150.7

    申请日:2023-03-20

    Abstract: 本申请公开了一种紫外脉冲激光装置及输出光路自准直方法和应用,包括:控制单元和沿光路方向设置的基频光源、波段产生单元、光束指向稳定单元;所述波段产生单元分为波段I产生模块、波段II产生模块、波段III产生模块,分别用于产生波段I、波段II、波段III;所述光束指向稳定单元包括电动控制镜片I、电动控制镜片II、分束片I、分束片II、位置探测器I、位置探测器II、光闸。通过自动调整基频光波长、相应的晶体匹配角度和插入相应的延迟线,从而产生相应波长的脉冲激光,并通过三段式光路切换产生宽波段紫外脉冲激光;最后通过自准直系统实时调整输出激光指向稳定性。

    一种偏振分离复合腔钬激光器

    公开(公告)号:CN114552355B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202210103728.1

    申请日:2022-01-27

    Abstract: 本发明公开了一种偏振分离复合腔钬激光器,属于固体激光技术领域,能够解决现有的Tm/Ho键合激光器输出脉宽较大,无法实现窄脉宽输出的问题。所述钬激光器包括:泵浦源、耦合透镜组、第一腔镜、键合晶体、偏振片、电光调Q晶体和输出耦合镜;耦合透镜组用于将泵浦激光耦合进键合晶体;键合晶体为Tm和Ho掺杂YLF晶体,键合晶体用于在泵浦激光的激发下,产生Tm激光和Ho激光;偏振片用于反射σ偏振Tm激光,并透射π偏振Ho激光;钬激光器还包括第二腔镜,第二腔镜设置在偏振片的反射光路上;第一腔镜用于透射泵浦激光,并反射Tm激光;第二腔镜用于反射Tm激光;输出耦合镜用于透射预设比例的Ho激光,并反射其余的Ho激光。本发明用于钬激光器。

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