热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

    公开(公告)号:CN106829850B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201710034158.4

    申请日:2017-01-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种热温差型风速传感器,其特征在于:包括玻璃衬底、发热元件、至少两组感温元件和两组测温元件;其中,发热元件包括加热电感线圈和发热金属块,通过对加热电感线圈施加交流电使发热金属块发热。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法,以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器,实现正面感风的风速检测,提高风速传感器的灵敏度并降低功耗,同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术,成本低,易于产业化生产。

    一种用于转动结构状态监测的多参数LC传感器

    公开(公告)号:CN109238313A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201811088177.6

    申请日:2018-09-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及传感器领域,公开了一种用于转动结构状态监测的多参数LC传感器,该传感器包括设置于转动结构上的电感单元与多个电容式传感器,电感电源包括多个依次连接的单匝线圈,每一个单匝线圈的两端分别连接有电容式传感器,电感单元的外周设置有输出线圈,输出线圈用于无源无线的输出多个电容式传感器产生的多个谐振频率,每一个谐振频率与转动结构的不同状态参数相对应。上述传感器通过多个电容式传感器与电感单元形成多谐振点LC谐振电路,通过无线无源的读取不同谐振频率值获取转动结构的实时状态,从而实现对转动结构的多个状态参数实时监测;此外采用无线无源的读取方式,可长期免维护使用,适合在高温、油污等恶劣环境中使用。

    一种基于热双层执行梁的LC式无源无线温度传感器

    公开(公告)号:CN105953934B

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201610264628.1

    申请日:2016-04-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于热双层执行梁的LC式无源无线温度传感器,包括平面电感线圈(1)、电容(2)和热双层执行梁(3);平面电感线圈(1)、电容(2)、热双层执行梁(3)串联形成回路,热双层执行梁(3)一端固定,另一端在平面电感线圈(1)上滑动形成电气连接;其中,热双层执行梁(3)包括上层梁(31)和下层梁(32),下层梁(32)的热膨胀系数大于上层梁(31)的热膨胀系数;下层梁(32)采用导体材料;热双层执行梁(3)中有且只有一层梁采用导体材料。通过热双层执行梁来改变回路的电感值,结构简单,易于实现,相比现有的LC式电容温度传感器,不需要电容间的温度敏感介质,可靠性更高,制造成本低。

    一种温湿度集成的无源无线传感器

    公开(公告)号:CN106197537B

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201610498970.8

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供一种温湿度集成的无源无线传感器,包括温敏电感和湿敏电容构成的LC谐振回路;所述温敏电感为三明治结构,包括底层衬底、中部的电感模具和上层盖片;电感模具为螺旋形的凹槽,凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金,液态金属合金的体积小于凹槽的容积;凹槽内液态金属合金的上表面设有一层氧化物保形层,氧化物保形层的高度低于凹槽上表面的高度;所述湿敏电容设置在上层盖片远离电感模具一面上,与温敏电感形成串联结构。本发明结构简单、制作难度低、成品敏感量大、感温结构新颖,能同时实现温湿度无源无线感测。

    电感悬臂梁无线无源加速度传感器

    公开(公告)号:CN107576821A

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201710886293.1

    申请日:2017-09-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种电感悬臂梁无线无源加速度传感器,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接,所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方;所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述质量块(6)设置在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明为片上集成结构,利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率,传感器的结构简单、可靠性高且易于加工;无需引线和电池供电,能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行加速度测量。

    一种实时监控空气滤芯受污染程度的无线传感器

    公开(公告)号:CN107063966A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710191983.5

    申请日:2017-03-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N15/08 G01N2015/084 G01N2015/0853 G08C17/02

    Abstract: 本发明公开了一种实时监控空气滤芯受污染程度的无线传感器,包括LC谐振器、读数线圈(5),其中,所述LC谐振器由电感线圈(2)和平面叉指电容(3)串联组成,且所述LC谐振器设置在空气滤芯的过滤层之间;所述读数线圈(5)与电感线圈(2)之间通过磁场耦合。读数器通过读数线圈(5)发送激励信号至LC谐振器,并根据其反馈的调幅信号解析出LC谐振器谐振频率的变化,最终推算出过滤层(1、4)吸附杂质量的多少。本发明结构简单,能够实现实时监控空气滤芯受污染情况的目的,对于提醒用户及时更换滤芯、保护用户健康具有积极作用。

    一种热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

    公开(公告)号:CN106814212A

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201710046450.8

    申请日:2017-01-18

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01P5/12

    Abstract: 本发明提出一种热温差型风速传感器,包括陶瓷衬底、布置在陶瓷衬底上的发热元件、布置在陶瓷衬底正面且以发热元件为中心呈中心对称分布的至少两组感温元件,布置在陶瓷衬底背面且与感温元件位置正对应的至少两组测温元件。进一步,发热元件为布置在陶瓷衬底背面的加热电阻,通过施加直流电发热;感温元件是金属块,测温元件是电感线圈。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法,以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器,实现正面感风的风速检测,提高风速传感器的灵敏度并降低功耗,同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术,成本低,易于产业化生产。

    一种电感式温度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN106197731A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610498203.7

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01K7/36

    Abstract: 本发明提供一种电感式温度传感器,所述电感式温度传感器为三明治结构,包括:底层衬底、上层盖片和设置于底层衬底和上层盖片之间的检测电感;所述检测电感包括电感模具,电感模具为中通的螺旋形凹槽结构,螺旋形凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金;螺旋形凹槽内、液态金属合金的上表面设有一层氧化物保形层;氧化物保形层的高度低于螺旋形凹槽上表面的高度。当温度发生变化时,电感模具的形状会由于热胀冷缩而发生变化,进而引起液态金属合金的形貌发生变化即引起电感值发生变化,从而实现温度测量功能。本发明提出的电感式温度传感器结构简单、制作成本低、灵敏度高且响应较快。

    一种温湿度集成的无源无线传感器

    公开(公告)号:CN106197537A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610498970.8

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01D21/02

    Abstract: 本发明提供一种温湿度集成的无源无线传感器,包括温敏电感和湿敏电容构成的LC谐振回路;所述温敏电感为三明治结构,包括底层衬底、中部的电感模具和上层盖片;电感模具为螺旋形的凹槽,凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金,液态金属合金的体积小于凹槽的容积;凹槽内液态金属合金的上表面设有一层氧化物保形层,氧化物保形层的高度低于凹槽上表面的高度;所述湿敏电容设置在上层盖片远离电感模具一面上,与温敏电感形成串联结构。本发明结构简单、制作难度低、成品敏感量大、感温结构新颖,能同时实现温湿度无源无线感测。

    一种多层电感无源无线LC温度传感器

    公开(公告)号:CN105938021A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201610510194.9

    申请日:2016-06-30

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01K7/00

    Abstract: 本发明提供一种多层电感无源无线LC温度传感器,包括温敏电感和电容构成的LC谐振回路,所述温敏电感包括N层层叠的检测电感,各检测电感串联连接,相邻两层检测电感之间及最顶层的检测电感顶部均设有盖片,最底层的检测电感底部设有衬底;每层检测电感结构相同,均包括电感模具,电感模具为螺旋形状的凹槽,凹槽内注有液态金属合金形成螺旋电感;凹槽内、液态金属合金上表面形成金属氧化物保形层,金属氧化物保形层在凹槽内的高度低于凹槽上表面的高度;LC谐振回路中的电容由相邻的两层检测电感质之间的寄生电容并联构成。本发明结构简单、灵敏度高、响应较快。

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