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公开(公告)号：CN110323665A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910567777.9
申请日：2019-06-27
Applicant: 上海交通大学 , 中兴光电子技术有限公司
IPC: H01S5/00
Abstract: 一种波长可调直接调制硅基外腔激光器，该直调外腔激光器的反射型半导体光放大器通过硅基光斑尺寸转换器连接到移相器，之后与窄通带滤波器的输入端相连，窄通带滤波器的输出端连接微环调制器的输入端，微环调制器的下载端与第一个反射镜的输入端相连，微环调制器的直通端连接第二个反射镜。本发明通过窄通带滤波器和微环调制器的游标效应构成滤波结构，得到宽调谐范围、窄线宽激光，同时对输出光进行调制。微环调制器兼有滤波和调制的双重功能，具有结构集成度高、制造成本低、能耗低的优点。
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公开(公告)号：CN106324865B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201610694617.7
申请日：2016-08-19
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料三维集成光开关，包括：一下波导层；一上波导层，该上层波导与下层波导呈垂直交叉分布；一中间混合波导层，该波导层由介质波导和相变材料构成，中间混合波导层由三部分组成：输入锥形波导、90度弯曲波导和输出锥形波导，其中90度弯曲波导内侧制作由掺杂硅构成的电极，通过外加电脉冲使中间波导层形成局部热点，从而诱导相变材料进行相变。相对于传统的1×2或者2×2光开关单元，本发明将相变材料与传统波导结合来构成一种复合波导以此实现超紧凑的光开关，具有数字式调节、功耗低、集成度高等特点。此外，制备工艺与现有的CMOS工艺兼容，因此该技术具有大规模低成本生产潜力。
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公开(公告)号：CN108896977A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810619456.4
申请日：2018-06-12
IPC: G01S7/481
Abstract: 本发明公开一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端，发射端由介质光波导阵列和金属等离子缝隙波导阵列组成，介质光波导的间距从左至右逐渐减小，整体呈现一个“扇形”结构，金属等离子缝隙波导的间距先减小，而后不变，整体类似一个横置的“漏斗”形状。介质光波导阵列的右端与金属等离子缝隙波导阵列左端以穿插形式组成整体结构，保证光能从介质波导低损耗过渡到金属等离子波导。本发明的基本原理是利用光在金属中穿透能力弱、光波模场约束强的特点来减少等离子波导间距，增大输出衍射角度范围，从而使激光扫描角度覆盖范围变大。这种设计结构简单、波导间串扰小、输出波束偏转角大，在激光雷达领域中具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN105388638A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510982481.5
申请日：2015-12-24
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: G02F1/015 , G02F1/0147 , G02F1/025 , G02F2001/0151
Abstract: 本发明涉及一种硅波导热光调节结构，从下至上依次包括衬底、下包层、波导层、上包层和电极层，所述的下包层的材料为二氧化硅，波导层的材料为高折射率材料硅，上包层的材料为低折射率材料，所述的电极层由分立于两侧的金属电极和中间的金属栅极构成，所述的波导层为脊型波导，由中间的凸形内脊的轻掺杂区和两侧平板形外脊的重掺杂区构成波导热电阻结构，所述的重掺杂区通过所述的上包层的金属通孔与所述的金属电极相通。当控制电极上加载电压，波导内形成电场，使载流子浓度发生改变，调节硅波导层的电阻率。在恒定驱动电压下，电阻上的热功率发生变化，基于热光效应可以调节硅波导的有效折射率。
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公开(公告)号：CN104991399A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510407930.3
申请日：2015-07-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F3/02
CPC classification number: G02F3/024
Abstract: 一种利用光敏电阻反馈降低微腔热光双稳态光功率阈值的结构，包括微型谐振腔和光敏电阻，光敏电阻是p-i-p或者n-i-n结构，适用于多种谐振腔结构，所述光敏电阻集成于腔内，在外部电源通电注入电流后，利用光敏电阻固有的电流热效应，将电能转换为部分热能，热量集中产生在波导芯区，直接作用于光场，与固有微腔结构相比，本发明增强了微腔谐振热光非线性效应，使微腔折射率调节幅度与光功率强度呈正相关，从而降低热双稳态的阈值，也大大降低了对器件工艺加工的要求，在光通信、光存储和集成光学中都具有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103064199A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210529198.3
申请日：2012-12-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 一种反射型可调光延迟线，包括光延迟结构和光反射结构串联构成，输入的光信号由所述的光延迟结构的输入端输入经光延迟后输入所述的光反射结构经反射后，再返回所述的光延迟结构，再一次经所述的光延迟结构光延迟后从所述的光延迟结构的输入端输出延时后的光信号。本发明通过调节光学延迟结构的相位或者耦合变化，实现光信号延迟量的连续可调，具有结构简单、体积小、带宽高的优点，在利用热光效应或者等离子色散效应进行延迟调节时，由于每个光学延迟结构有复用的效果，因此也较大幅度的减小了延迟调节功耗。
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公开(公告)号：CN103018929A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210517470.6
申请日：2012-12-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种硅波导折射率热光调节结构，从下至上依次包括衬底、下包层、波导层、上包层和电极层；所述的波导层呈脊型，脊型中央区为轻掺杂的本征i区，两侧平板区分别为重掺杂区；所述的上包层两侧设有金属通孔，通过该通孔使波导层的重掺杂区与电极层相连。在外部电源通电注入电流后，波导层产生热量，波导芯区温度升高，折射率升高，从而实现热光调节效果，本发明利用波导层作为热电阻产生热量，热源与光场直接作用，相对于传统采用金属电阻的热光调节结构，具有功耗更低、响应时间更短的特点。
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公开(公告)号：CN102645761A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210126659.2
申请日：2012-04-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F1/035
Abstract: 一种高速光电实时示波系统，将飞秒激光器发出的超稳定、超短光脉冲通过时间波长映射技术进行频率倍增后，依次经色散介质，偏振控制器和光发大器，然后使用单臂双端输出电光调制器对微波RF信号进行调制；接下来经时域复接模块，再通过色散介质使RF信号在时间上得到拉伸，紧接着通过波分复用器件，每路通道接入光电探测器，最后输入多通道模数转换器。同时还采用自适应反馈系统，实时修正外界环境干扰对色散介质的影响，保证系统精度。本发明大大提高了信号模拟带宽，弥补了因色散带来的周期性衰落，动态修正外界环境引起的色散抖动、信号畸变和多通道复合误差，提高了时间测量精度，可望在光通信等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN119805667A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411939375.4
申请日：2024-12-26
Applicant: 上海交通大学 , 中国电子科技集团公司第五十四研究所
Abstract: 一种高速切换N比特路径选择型硅基集成微波光子延迟线，包括一个波长可调谐外腔激光器、一个电光调制器、一个N比特波长选择延迟线以及一个光电探测器，其中波长选择延迟线由N+1个2×2波长交织器以及N组延迟和参考波导对组成。外腔激光器输出光经微波信号调制后，输入到N比特波长选择延迟线，最后通过光电探测器转换为微波信号输出。通过切换激光器波长，可实现延时光路的高速切换，进而实现对微波信号的高速移相。这种方案中波长选择型延迟线采用无源器件设计，与传统光开关型延迟线相比，易于实现低损耗，且无需电压调控，整体系统功耗低。
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公开(公告)号：CN119153573A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411160432.9
申请日：2024-08-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/113 , H01L31/028
Abstract: 一种基于Ge‑BTO异质集成的光电探测器件，包括：二氧化硅衬底层：这是整个器件的基础结构，为其他层提供了一个稳定的支撑。BTO无源器件层：位于二氧化硅衬底之上，包含了三个主要部分：输入波导、过渡锥形波导和平板结构波导。其中，输入波导：负责接收和传输光信号到器件中。过渡锥形波导：连接输入波导和平板结构波导。其形状设计是为了减小光信号的传输损耗，使光信号能够更高效地从较窄的输入波导过渡到较宽的平板结构波导。平板结构波导：用于在器件内部传输光信号。平板波导的结构使其能够容纳和传输更大范围的光信号，适合后续的光电转换或探测。锗吸收层：负责光电信号转换，并通过部分掺杂构成晶体管的源极和漏极。氧化层：构成晶体管中的绝缘层。多晶锗层：构成晶体管的栅极，以调控光电流大小。
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