公开(公告)号：CN111722157B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202010092234.9

申请日：2020-02-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 牧野健三 ,  清野浩

IPC: G01R33/00 ,  G01R33/09

Abstract: 本发明的磁场检测装置具备：磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；调制部，可以对磁检测元件施加自旋转矩，自旋转矩具有在包括第一方向和与第一方向正交的第二方向的面内作用的旋转力且以第一频率振动；以及解调部，对来自磁检测元件的第一频率的输出信号进行解调，并且根据输出信号的振幅检测磁检测元件受到的被测定磁场的强度。

公开(公告)号：CN115840170A

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202211143475.7

申请日：2022-09-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 梅原弘道 ,  牧野健三 ,  桥野将亲

IPC: G01R33/09

Abstract: 磁传感器具备具有凸面的绝缘层、第一MR元件、以及第二MR元件。凸面包含第一曲面部分。第一曲面部分包括包含凸面的上端部的第一部分、和在远离凸面的上端部的位置与第一部分连续的第二部分。在将凸面的形状视为函数Z时，与第一部分对应的函数Z的二阶导函数Z”的值的绝对值的平均值小于与第二部分对应的函数Z的二阶导函数Z”的值的绝对值的平均值。

公开(公告)号：CN115840168A

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202211143001.2

申请日：2022-09-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 高杉圭祐 ,  牧野健三 ,  平林启 ,  酒井正则

IPC: G01R33/09

Abstract: 磁传感器包含第一绝缘层、第二绝缘层及第三绝缘层、配置于第一绝缘层的与第二绝缘层相反的一侧的下部线圈要素、以及第二MR元件。第二MR元件包含磁化固定层及自由层。磁化固定层及自由层配置于第三绝缘层的与第二绝缘层相反的一侧。第一绝缘层及第三绝缘层各自包含第一绝缘材料。第二绝缘层包含第二绝缘材料。

公开(公告)号：CN114814672A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210048800.5

申请日：2022-01-17

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 高桥宏和 ,  牧野健三

IPC: G01R33/06

Abstract: 本发明的磁传感器具备MR元件。MR元件包含自由层。自由层具有在一个方向上较长的形状的第一面、和配置在与第一面为相反侧的第二面，并且具有作为与第一面垂直的方向的尺寸的膜厚。第一面具有位于第一面的短边方向的两端的第一端部以及第二端部。在任意的截面中，第一端部处的膜厚比第一端部与第二端部之间的第一面上的规定的点处的膜厚小。

公开(公告)号：CN113447866A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110324244.5

申请日：2021-03-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 牧野健三 ,  小林尚史

IPC: G01R33/09 ,  H01L43/02 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

Abstract: 本发明提供一种磁传感器及其制造方法。该磁传感器包括MR元件和支承部件。支承部件的上表面包含倾斜部。MR元件包含MR元件主体、下部电极和上部电极。下部电极具有离倾斜部的下端部最近的第一端部和离倾斜部的上端部最近的第二端部。MR元件主体配置在与第一端部相比离第二端部更近的位置。

公开(公告)号：CN108627782B

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201810166434.7

申请日：2018-02-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 内田圭祐 ,  牧野健三 ,  平林启

IPC: G01R33/09 ,  G01R33/10 ,  G01R33/07 ,  G01R33/06

Abstract: 本发明提供一种磁传感器，具备磁场转换部和磁场检测部。磁场转换部接受包含与Z方向平行的方向的输入磁场成分的输入磁场，产生包含与X方向平行的方向的输出磁场成分的输出磁场。磁场检测部接受输出磁场，生成与输入磁场成分对应的输出信号。磁场检测部包含第一磁检测元件和第二磁检测元件。当产生磁场转换部与磁场检测部的错位时，第一磁检测元件接受的输出磁场成分的部分的强度和第二磁检测元件接受的输出磁场成分的部分的强度的一方增加且另一方减少。

公开(公告)号：CN111722157A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010092234.9

申请日：2020-02-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 牧野健三 ,  清野浩

IPC: G01R33/00 ,  G01R33/09

Abstract: 本发明的磁场检测装置具备：磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；调制部，可以对磁检测元件施加自旋转矩，自旋转矩具有在包括第一方向和与第一方向正交的第二方向的面内作用的旋转力且以第一频率振动；以及解调部，对来自磁检测元件的第一频率的输出信号进行解调，并且根据输出信号的振幅检测磁检测元件受到的被测定磁场的强度。

公开(公告)号：CN108695432A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810223951.3

申请日：2018-03-19

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 牧野健三 ,  渡边克 ,  西冈康 ,  高桥宏和

IPC: H01L43/08

CPC classification number: G01R33/093 ,  G01R33/072 ,  H01L43/04 ,  H01L43/065 ,  H01L43/08

Abstract: 本发明的磁阻效应元件具备：磁化自由层，沿着第一面延伸；介入层，沿着第一面延伸，并且层叠在磁化自由层上；以及磁化固定层，沿着第一面延伸，并且隔着介入层设置在磁化自由层的相反侧。磁化自由层包括对第一面的最大倾斜角度小于等于42°的端面。