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公开(公告)号:CN114672777A
公开(公告)日:2022-06-28
申请号:CN202210328957.3
申请日:2022-03-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种抗氧化Cr/CrAl纳米多层涂层及其制备方法,包括交替层叠设置为Cr层和CrAl层,底层为Cr层,表层为CrAl层,Cr层和CrAl层均为纳米晶;其多层结构的设计使得涂层具有优异的抗氧化性能和力学性能。通过磁控溅射法在洁净的硅基体和锆合金基体上沉积Cr/CrAl纳米多层涂层,不仅成功制备了不同调制周期的Cr/CrAl纳米多层涂层,且所得涂层致密均匀,具有优异的抗氧化性能和力学性能。
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公开(公告)号:CN113913751A
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202111155888.2
申请日:2021-09-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开一种Cu‑高熵合金薄膜及其制备方法,Cu‑高熵合金薄膜的化学成分为Cu‑TaNbHfZr,其原子百分比为:不低于94.4的铜,其余元素为钽铌铪锆高熵合金,其中,钽铌铪锆高熵合金中原子百分比为钽:铌:铪:锆=1:1:1:1;微观结构为完全纳米晶,晶粒尺寸为35.4±2nm;包含纳米孪晶的晶粒百分数不低于90%,孪晶片层厚度为2.4~3.5nm,利用磁控溅射技术的优势,沉积过程中温度较低,有利于形成纳米晶及纳米孪晶结构,且不同靶材共溅射使得合金元素宏观分布均匀,从而获得多组元合金化Cu薄膜,薄膜致密,与基体结合良好;晶粒尺寸稳定在纳米晶范畴,晶粒中镶嵌有大量的纳米孪晶;合金组成、成分可调控;强度高、高热稳定性好。
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公开(公告)号:CN113739715A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202110991408.X
申请日:2021-08-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于褶皱结构色的柔性应变传感器及其制备方法,传感器包括从PDMS基体上分离的PDMS柔性应变传感材料,PDMS基体基于拉伸自发形成的有序褶皱结构;将矩形PDMS片单轴拉伸20%,对其进行氧等离子体处理,缓慢释放预拉伸应变,再将释放应变后的PDMS薄片作为模板,在其表面覆掺杂黑色素的PDMS液体固化后剥离得到倒模的PDMS薄片,获得PDMS薄片的应变大小并进行标定得到柔性结构色应变传感器;相比基于传统微纳制造方法制备的应变传感材料,本发明所述方法极为简易,成本低廉;基于颜色‑应变的定量关系,可构建基于褶皱结构色的柔性应变传感器,测量输出信号形式简单、直接,甚至通过肉眼观察颜色变化来定性、直观反映其应变的大小。
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公开(公告)号:CN113701926A
公开(公告)日:2021-11-26
申请号:CN202110991414.5
申请日:2021-08-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种基于褶皱与裂纹结构的柔性压力传感器及其制备方法,包括基体和附着于基体上的导电层,基体上有裂纹结构和两级褶皱结构,所述两级褶皱结构的尺度为纳米级和微米级,裂纹结构垂直于褶皱结构,基体为聚二甲基硅氧烷固化体薄片,导电层采用纯金属,导电层面对面贴合或导电层上贴合一层基体;同一传感器可以实现三种不同工作模式,使用者可以根据应用场景需求选择不同使用模式:褶皱结构主导模式,裂纹结构和褶皱结构共同主导模式,裂纹结构主导模式,可探测声波、震动等微弱信号;裂纹结构和褶皱结构共同主导模式具有适中灵敏度和压力探测范围,可实现人体全尺度生理信号的检测;裂纹结构主导模式则具有极大的压力探测范围。
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公开(公告)号:CN110144484B
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201910458458.4
申请日:2019-05-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种Cu‑NbMoTaW合金及其制备方法,Cu‑NbMoTaW合金由以下成分组成,Nb、Mo、Ta和W四种元素的含量相等,NbMoTaW(高熵合金,HEA)总原子百分比为1.9~22.1,其余为Cu。具体步骤如下:步骤1:首先对硅基体表面进行超声清洗并烘干;步骤2:将基盘送入磁控溅射镀膜室抽真空;步骤3:采用直流+射频电源共溅射制备Cu‑NbMoTaW合金;步骤4:待样品在真空室充分冷却后退出。本发明能够避免材料中合金元素分布不均匀的出现,所得合金为纳米孪晶材料,且孪晶片层尺寸细小,有效改善了合金材料的综合力学性能。
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公开(公告)号:CN110144483B
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201910457583.3
申请日:2019-05-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种铜镁合金及其制备方法,Cu‑Mg合金由以下成分组成,Mg原子百分比2.6~16.8,其余为Cu。制备时首先对硅基体表面进行超声清洗并烘干;然后将基盘送入磁控溅射镀膜室抽真空;再采用直流+射频电源共溅射制备Cu‑Mg合金;最后对得到的硅基体进行真空冷却后,得到铜镁合金材料,解决材料中合金元素分布不均匀的出现,所得合金为纳米孪晶材料,且孪晶片层尺寸细小,有效改善了合金材料的综合力学性能。
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公开(公告)号:CN110144483A
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201910457583.3
申请日:2019-05-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种铜镁合金及其制备方法,Cu-Mg合金由以下成分组成,Mg原子百分比2.6~16.8,其余为Cu。制备时首先对硅基体表面进行超声清洗并烘干;然后将基盘送入磁控溅射镀膜室抽真空;再采用直流+射频电源共溅射制备Cu-Mg合金;最后对得到的硅基体进行真空冷却后,得到铜镁合金材料,解决材料中合金元素分布不均匀的出现,所得合金为纳米孪晶材料,且孪晶片层尺寸细小,有效改善了合金材料的综合力学性能。
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公开(公告)号:CN116145076B
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202310179780.X
申请日:2023-02-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种MoNbZr/Zr纳米层状材料及其制备方法,通过磁控溅射沉积法在洁净的硅基体上沉积制备MoNbZr/Zr纳米层状材料,通过Ar+离子轰击靶材与MoNbZr/Zr原子发生弹性碰撞,进一步产生碰撞级联,样品原子由此被激发并反向沉积到基体。MoNbZr原子和Zr原子依次沉积,交替形成不同调制周期不同界面结构不同相组成的多层纳米层状材料,而溅射所产生的二次电子等高密度等离子体在相互垂直的电磁场的联合作用下以旋轮线的形式循环运动,不与基体接触。因此电离效率高、沉积速率快。本发明不仅成功制备出不同相组成的纳米层状材料,而且所得纳米层状材料均匀致密,界面结构清晰,综合性能优良。
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公开(公告)号:CN118186341A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410300671.3
申请日:2024-03-15
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种事故容错型Cr/CrTa纳米多层涂层及其制备方法,属于材料表面改性领域,该Cr/CrTa纳米多层涂层包括交替层叠设置的Cr层和CrTa层,所述Cr层和CrTa层的厚度比为0.1‑9;所述Cr层为晶态,晶体为柱状晶,CrTa层为非晶态,晶体为纳米晶颗粒;采用金属Cr靶和Ta靶进行直流共溅射,在基体交替沉积Cr层和CrTa层制备Cr/CrTa纳米多层涂层,通过控制调制参数改变会金属Cr/CrTa纳米多层涂层沉积生长过程中的优先生长方向,进而改变Cr/CrTa纳米多层涂层的微观组织结构,使Cr/CrTa纳米多层涂层必须具备均匀致密的微观组织以及优异的性能。
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公开(公告)号:CN118150279A
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202410300685.5
申请日:2024-03-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N1/28 , G01N23/2202 , G01N23/2251 , G01N3/02 , G01N3/08
Abstract: 本发明公开了一种微纳尺度力学实验的加工测试装置和方法,包括样品定位台以及和固定部;在样品定位台上设置两个夹角为45°的定位面以及样品定位面,通过两个定位面控制样品定位面的角度,进而实现对样品的多角度加工,可大大提高对于复杂形状样品的加工效率;同时无论在加工和测试过程中,样品始终固定在样品定位台上,并结合定位面能够快速实现样品的转移和精确定位,保证加工和测试时的角度一致性,避免在拉伸、压缩或其它力学测试条件下的样品位置出现偏差的问题,因此该装置能够大大提高了涂层力学性能测试的准确性和测试效率;最后,该测试加工装置结构简单,易于制造,且对样品测试过程中的系统刚度影响较小,同时该装置可以完成在同一个样品承载台上对多个样品进行广角度加工与力学性能测试。
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