公开(公告)号：CN109217824A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810694946.0

申请日：2018-06-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山口启一 ,  小仓诚一郎 ,  押尾政宏 ,  西泽龙太

IPC: H03B5/36 ,  H03B5/32 ,  H01L23/12

CPC classification number: H01L41/0926 ,  H01L41/042 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/22 ,  H03H3/04 ,  H03H9/0528 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/215 ,  H03H2003/0442 ,  H03B5/36 ,  H01L23/12 ,  H03B5/32

Abstract: 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏，使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。

公开(公告)号：CN104075737B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201410116312.9

申请日：2014-03-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 进藤健彦 ,  押尾政宏

IPC: G01D5/14

Abstract: 本发明提供一种通过使传感器元件的过驱动能够实施从而可缩短老化试验的时间的物理量传感器、以及使用了该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器（1）包括：传感器元件（20），其对预定的物理量进行检测；驱动电路（111），其生成传感器元件（20）的驱动信号；AGC电路（112），其基于传感器元件（20）的输出信号，而将驱动信号控制为与基准电压相对应的恒定电平，该基准电压是可变的。

公开(公告)号：CN1707943A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200510075132.1

申请日：2005-06-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 押尾政宏

IPC: H03H3/10

Abstract: 本发明的课题是提供一种在使用准纵漏表面声波的表面声波器件中能够高精度地进行频率调节的表面声波器件的频率调节方法。作为解决手段，通过蚀刻形成有IDT电极(2)的、由钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板构成的压电基板(1)的在厚度方向上与形成有IDT电极(2)的面相对的面(基板背面)(1b)，进行表面声波器件(10b)的频率调节。

公开(公告)号：CN1612471A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410086901.3

申请日：2004-10-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 船坂司 ,  押尾政宏

IPC: H03H9/145

CPC classification number: H03H9/02236 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/02834

Abstract: 本发明可以提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。本发明的弹性表面波元件(1)具有作为基板(2)的用(0、θ、ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板，具有设在该基板(2)上的IDT3和反射器(4、5)。IDT3以Al作为主成分构成，配置成使弹性表面波的传播方向和水晶旋转Y板的X轴的形成的角度ψ成为90±10°,并以满足下述关系A那样设定IDT3的规格化膜厚H/λ和切割角θ：[关系A] θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°) θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68 θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7。

公开(公告)号：CN1510834A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310121499.3

申请日：2003-12-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 押尾政宏

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08 ,  H03H3/10

CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种表面声波装置，在利用准纵波型漏表面声波的表面声波装置中，可以有效地抑制寄生，改善Q值或CI值。本发明的表面声波装置，至少具有：石英基板1；IDT电极2，其配置于该石英基板1上并激振准纵波型漏表面声波，将石英基板1的厚度t用IDT波长λ进行标准化所得的标准化基板厚度t/λ设定为1＜t/λ＜35。此外，石英基板1是在欧拉角为(0°，100～150°，0°)的范围内切取的。