公开(公告)号：CN200976707Y

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200620022787.2

申请日：2006-02-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 李和平 ,  包成玉 ,  孙文廷 ,  王华博

IPC: H05H1/40 ,  H05H1/50 ,  H05H1/54 ,  H01J37/32 ,  H01L21/00

Abstract: 本实用新型属于大气压放电冷等子体发生器技术领域，其特征在于：在所述发生器内的进气口、或放电区、或出气口设有平板型的或回转型的缩放通道结构，从而构成平板型的或同轴型的大气压放电冷等离子体发生器，并相应提出了发生器阵列。所述的缩放通道结构由连接到进气口的压缩部、喉部、扩展部依次贯通形成，使在冷等离子体工作气体质量流量增加不多的情况下，发生器出口的冷等离子体射流速度有显著提高，从而大大提高冷等离子体射流中活性粒子的有效空间作用范围。

公开(公告)号：CN200953682Y

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200620023045.1

申请日：2006-06-07

Applicant: 清华大学

Inventor： 李和平 ,  高星 ,  包成玉 ,  张小章 ,  王华博 ,  孙文廷

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/30

Abstract: 本实用新型属于大气压放电冷等离子体发生器技术领域，其特征在于：所述发生器的供气系统采用双气体源供气系统和裸露电极结构，从而构成平板型的或圆型或椭圆型的大气压放电冷等离子体发生器。所述的双气体源供气系统可以实现诱导空气或其它大气压下不能稳定放电的气体放电，裸露电极结构可以避免已有的介质阻挡放电中电极表面电介质损坏的问题，使冷等离子体工作气体最终为空气或其它大气压下不能稳定放电的气体，从而可以大大降低该项技术的使用成本。