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公开(公告)号：CN102207378B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110056028.3
申请日：2011-03-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法。本发明解决了高精度球面干涉检测中被测面的倾斜和离焦调整误差难以有效校正的难题。本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。本发明为光学球面，尤其是大数值孔径球面的高精度面形干涉检测提供了一种高精度的调整误差校正方法，并具有极其重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN102636496A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210121716.8
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/93
Abstract: 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的石英定标板，并用扫描电镜标定刻线的实际宽度；使用一个光学表面疵病暗场检测系统，利用其中的精密导轨移动石英定标板并配合CCD采集每条定标线的暗场灰度图；对这些灰度图进行特征识别和特征提取，并与其实际宽度进行比对建立暗场物像关联函数。获得暗场物像关联函数后即可通过处理在同样成像条件下采集的被测件图像来对其表面划痕的宽度进行标定。实现了对光学表面宽度在微米及亚微米量级的疵病的标定的标准化。
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公开(公告)号：CN102155926A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110056021.1
申请日：2011-03-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种非球面顶点球曲率半径测量系统及方法。本发明解决了非球面顶点球曲率半径在传统装置中无法精确测量的难点。本发明的技术特点在于，利用一个承担大球差的会聚透镜与辅助消球差补偿镜组合后形成起定位作用的齐明镜组，将非球面精确定位在齐明镜猫眼位置，再运用导轨系统移动非球面到指定的位置形成检测光路，再移去辅助消球差补偿镜组，与参考光路形成了一个非球面顶点球曲率半径测量系统。在光学设计类软件中，如ZEMAX等，对该测量系统进行建模，不断改变非球面顶点球曲率半径值，直至建模系统中仿真条纹及其波像差泽尼克系数和实验测量系统条纹及其波像差泽尼克系数相一致。该方法为高精度面形检测提供了精确的顶点球曲率半径。
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公开(公告)号：CN101086482A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710070044.1
申请日：2007-07-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/956 , G01R31/308 , G06F19/00
Abstract: 本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时，需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差—CCD坐标与扫描轨迹坐标间的夹角α，提出根据被测大口径元件尺寸、物方视场大小及所需拼接的N×N的子孔径数，从而确定相应的最大角度容差αmax。本发明设计了特定的角度调整机构，可以实现CCD坐标系与扫描轨迹坐标系一致性的调整。本发明提出了利用具有标准刻线的标准板、XY扫描系统及专门的图像处理软件组合可以实现按照特定的调整方法使两个坐标系的夹角α小于αmax，从而保证全孔径的正确拼接，达到表面疵病等级和位置的正确评定。
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公开(公告)号：CN1313821C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200410017628.9
申请日：2004-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种光滑表面疵病的自动化检测方法及其系统。根据疵病标准及其疵病的光散射特性，建立了新颖的适合于大口径子孔径扫描散射成像的计算机辅助的数字化检测装置；它采用了多光纤多方位角布局的具有柯拉照明的冷光源，实现被检面疵病的散射光的反射式成像；表面疵病的散射光经光学显微变焦系统收集并成像于CCD上；被测面为大口径时，计算机控制X、Y移动工作台进行表面的多个子孔径扫描；建立了对疵病图像基于数学形态学的模式识别的数学模型及疵病尺度定标的软件体系。本发明采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。可以对几个微米以上尺度的表面疵病进行识别分类及定标评价。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110134987B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910249009.9
申请日：2019-03-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F30/20 , G06T17/00 , G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种基于光线追迹的光学球面元件缺陷检测照明设计方法。本发明解决了光学球面缺陷检测中，照明光源对最终成像难以预计的难题。本方法包括：照明光源光线建模、光学球面特性建模、光学相机模型建模以及将三者串联的蒙特卡洛光线追迹方法。通过从相机朝向光源的路径追迹，计算光学球面最终在相机上的成像灰度图。本发明综合考虑了光学球面缺陷检测中相机、光源以及被测物三者构成的照明场景，适用于各种实际光学元件的建模和组合，能广泛针对各种面型的被测光学球面，预测其像面灰度图像，从而指导光学检测系统的照明设计和器材选型。
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公开(公告)号：CN110428463A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910481302.8
申请日：2019-06-04
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件离焦模糊定中图像自动提取中心的方法。本发明使用灰度方差清晰度评价函数作为衡量标准，先获取粗对焦图像中清晰度最高的感兴趣区域，即十字分划板中心所在区域；再从奇数张等步距采集的图像中选出ROI的SMD2数值最高者，若其数值小于先验阈值，则使用训练好的IRCNN深度学习模型或者基于改良暗通道先验算法，对最佳对焦的图像进行去模糊处理，然后使用自适应阈值二值化和形态学操作，获取十字分划板的连通域，求其最大内接圆，内接圆圆心即近似为十字分划板中心。本发明解决了非球面光学元件的定中十字分划板图像因非球面法线像差大于系统景深而产生离焦模糊以至于难以提取中心的问题。
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公开(公告)号：CN105486664B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201511029455.7
申请日：2015-12-31
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种探测海洋浮游植物生物量和颗粒有机碳的装置及方法。本发明基于高光谱分辨率激光雷达，结合海洋浮游植物生物量和POC反演算法，利用激光雷达方程中散射角为π时的粒子体积散射方程和有效衰减系数同步反演浮游植物生物量和POC。本发明采用工作在倍频波段的高光谱分辨率激光雷达系统，配合海洋浮游植物生物量和POC反演算法，无需采样就可以对海洋中的海洋浮游植物生物量和POC进行大范围高深度分辨率的高精度测量。
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公开(公告)号：CN104833679B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510217110.8
申请日：2015-04-29
Applicant: 浙江大学 , 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种微观缺陷三维尺度逆向标定及检测方法。本发明具体步骤如下：1、通过FDTD仿真软件建立仿真缺陷模型和仿真缺陷暗场散射模型；对缺陷进行电磁场仿真；外推获得仿真缺陷模型在光学成像系统像面上的理想光强分布；提取理想光强分布特征；在理想光强分布中加高斯型光学系统像差模型；构建多维特征参数向量并创建仿真模型样本库。2、元件缺陷暗场散射成像，显微成像系统采集缺陷图像；提取缺陷图像中垂直于待测缺陷长度方向的灰度分布；提取灰度分布中的灰度分布特征。3、建立相似度评价函数；搜寻仿真模型样本库中特征参数向量；判断相似度是否达到要求。本发明易于操作且具有较高的检测效率，能够达到纳米量级的纵向分辨率。
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公开(公告)号：CN104777472B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510111239.0
申请日：2015-03-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种FWMI光谱滤光器调整和性能测试装置及方法。本发明采用HSRL激光光源作为调整和测试光源，并采用楔形镜组构建了一套简易高效的分光系统来解决光功率过大的问题，采用针孔滤波器和第一消球差透镜达到对激光光斑平滑、扩束和准直的效果；采用第二消球差透镜产生球面汇聚波前，避免了调整和测试过程中需要转动FWMI的必要；引入相移波前解调方法直接获取FWMI和各个角度入射光的OPD关系；调整和测试迭代进行，不断让FWMI的性能逼近最优化。本发明通过调整FWMI反射镜位置以实现其最佳视场展宽性能，同时能在不需要移动FWMI的情况下测量得到FWMI的光程差同入射光发散角的关系。
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