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公开(公告)号：CN101068101A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200710069181.3
申请日：2007-06-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于直接压电冲击转动的马达。包括外环、L型弹性转子和叠装在L型弹性转子一内侧面上的压电堆；L型弹性转子的两个端点的锯齿由于直接压电冲击能和外环整个内圆的齿槽啮合转动。相对于行波马达通过压电振动波由静子膜传导，依靠摩擦力推动转子运动，本发明则采用直接的压电振动转置方式。显然，直接压电冲击的转动运动有利与提高马达的扭矩；另外本发明的L型弹性转子转动时，与外环并不产生摩擦，而L型弹性转子两端与外环的齿槽形匹配消除了固定端与外环之间滑动的可能性，这些设计大大提高了马达的使用寿命。本发明可广泛应用与消费电子、微机电设备、微型医疗器件和微型机器人的领域。
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公开(公告)号：CN119002193B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411430565.3
申请日：2024-10-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型G(s)，最终针对时滞模型G(s)进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。
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公开(公告)号：CN115440626B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202211055191.2
申请日：2022-08-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种高效、高精度红外石英加热器。包括卤钨灯、吹扫组件、石英加热组件、温度传感器和控制器，石英加热组件的两端各安装有吹扫组件，石英加热组件的内部安装有卤钨灯，卤钨灯的两端分别与石英加热组件两端的吹扫组件相连，石英加热组件内设置有加热液，温度传感器固定安装在石英加热组件的加热液出口处，温度传感器和卤钨灯均与控制器相连。与现有技术相比，本发明可以精确测量加热液温度，提高加热效率并且通过吹扫组件延长卤钨灯寿命，节约更换灯管的经济成本和时间成本。化学品液体润湿表面均为半导体级石英玻璃，耐腐蚀能力强，能够满足半导体湿法处理领域所需化学品的高洁净度、快速响应等加热需求。
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公开(公告)号：CN114047673A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111459709.4
申请日：2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种隔离内部波动的温控装置及其解耦控制方法。装置盒体底面接触被控物体，内部开设外层流道、夹层流道和内层微流道，装置盒体顶面上设有微翅片；温控水出口、冷却液出口有温度传感器；向内层微流道通入冷却水，向外层流道通入与外界环境温度相同的温控水；由被控物体表面和装置盒体底面热交换传递到内层微流道和外层流道，内层微流道冷却水先热交换温控，外层流道温控水吸收内层微流道对被控物体调控时过热冷量，实时对夹层温控水入口的电磁开关阀解耦控制隔绝温度波动。本发明实现高效温控的同时避免了冷却液对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性，且设计结构紧凑，有利于在复杂的光刻机内部使用。
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公开(公告)号：CN112304375B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202011162463.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种超声波流量传感器及其流量测量方法。超声波流量传感器包括用于计算超声波顺逆流传播时间的模拟信号处理电路，采用阈值法处理正常工况下的超声波信号；还包括用于计算超声波顺逆流传播时间的数字信号处理电路，采用相关法处理异常工况下的超声波信号。本发明结合使用阈值法和相关法进行超声波流量传感器的信号处理和流量计算过程；使用模拟信号处理电路对超声波信号进行阈值比较处理以计算超声波传播时间，保证了流量计算和测量过程具有精度高、响应速度快、实时性好的优点；使用数字信号采集电路对无法用阈值比较电路处理的异常超声波信号进行数字采集，并使用相关法计算流量，使流量计算和测量过程的抗干扰性能提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113239626A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110570533.3
申请日：2021-05-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F30/27 , G06N7/00 , G06F111/06 , G06F111/08 , G06F119/02
Abstract: 本发明公开了一种基于系统可靠性的传感器布局优化方法。该方法以传感器的数量及位置为设计变量，传感器首先基于传感器之间的动态特性建立系统故障识别的动态故障树模型；其次，将动态故障树中的各个叶节点和根节点对应到贝叶斯网络中的底事件和顶事件，建立动态贝叶斯网络；之后为了表征各个传感器对于系统识别故障的贡献度，建立诊断重要度(DIF)、Birnbaum重要度(BIM)、风险增加当量(RAW)三个系数指标；并通过排序决策法(TOPSIS)确定传感器的潜在位置；最后，根据给定的传感器数目确定所有布局方案，再从各个方案中选出系统可靠性最高的作为最优布局方案。本发明提出的算法具备较低的计算复杂度和较高的精确度，能应用于大部分传感器优化布局场合。
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公开(公告)号：CN110292368A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910554877.8
申请日：2019-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及具备测量点位置容错性能的血压柔性传感器，公开了一种用于连续对腕部桡动脉血压进行监测的柔性压力传感器。柔性凸起结构薄膜层紧贴接触在刚性基座的底部，柔性凸起结构薄膜层设置有两个独立的不相互连通的薄膜腔，薄膜腔作为压力传递介质容腔；两个压力敏感单元安装于刚性基座中，刚性基座内部开设有两个导压孔，两个压力敏感单元分别安装在两个导压孔的一端并密封连接，两个导压孔的另一端连通到柔性凸起结构薄膜层的两个薄膜腔，压力传递硅油填充薄膜腔和导压孔中；刚性基座上还开设有两个注液孔和两个透气孔。本发明保证了血压搏动信号传入传感器高效性，能获得稳定可靠的血压信号，提高了测量精度，极大改善穿戴体验，适用于连续长时间的血压监控。
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公开(公告)号：CN105300572A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510810324.6
申请日：2015-11-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种压电式柔性三维触觉传感阵列及其制备方法，触觉传感阵列从上至下依次由PDMS表面凸起层、上电极层、PVDF压电薄膜层、下电极层、PDMS柔性基底层构成。上下电极层呈图案化分布，将PVDF压电薄膜层夹于中间，形成多个压电电容，在力的作用下，压电电容上下电极产生电荷。整个阵列由六个三维触觉传感单元组成，按两行三列布置，空间分辨率达8mm。每个三维触觉传感单元含一个四棱台凸起和四个压电电容，四棱台凸起将外界三维接触力传递至四个压电电容，通过四个压电电容产生电荷的组合，测量外界三维接触力。本发明具有多维力同时测量、柔性适于曲面装载、动态响应好的优点。
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公开(公告)号：CN103701359B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310651257.9
申请日：2013-12-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电堆的压电振动冲击的旋转电机，它包括圆环形转子、Y型弹性定子、叠层压电堆和电机固定基座，其中，所述叠层压电堆固定在电机固定基座上，Y型弹性定子固定在叠层压电堆上，Y型弹性定子套装在圆环形转子内；本发明采用了将压电堆的振动冲击直接转换为电机转子的转动运动的驱动方式。相对于传统压电电机，本发明采用压电堆直接振动冲击定子产生振动，进而依靠摩擦力推动转子圆环运动。这种运动原理使得电机定子和转子的结构相对简单，有利于大批量和小批量的加工，成本低。同时这种电机的自锁性能和低噪音特性，小型化优势使得它能够应用于消费电子，微机电装备，微型医疗器件和微型机器人领域。
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公开(公告)号：CN104215668A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410422521.6
申请日：2014-08-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/04
CPC classification number: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器及其制备方法，通过静电纺丝装置喷射聚合物溶液，结合直线高速移动台进给实现密度可控有向的THEED聚合物微纳纤维阵列纺丝；之后，通过磁控溅射手段在微纳纤维阵列上修饰镍铬合金薄膜电阻层，实现基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器制备。本发明制备过程耗时短，耗能少，效率高；在材料方面仅用到少量的聚合物溶液与靶材，材料成本低；通过调节直线高速移动台进给速度，可以自由控制有向微纳纤维阵列密度；通过对溶剂参数和操作参数的调整，可以更为精确的控制有向微纳纤维阵列的直径；通过调节溅射参数，可以实现薄膜电阻层厚度的调节。
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