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公开(公告)号：CN116295897A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310224959.2
申请日：2023-03-09
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了航空发动机涡轮叶片用AlN薄膜温度传感器及测温方法。该温度传感器的材料为AlN压电涂层，能够通过其表面断面形貌、晶粒尺寸、晶粒结构、衍射峰峰强和半高宽、元素成分中至少一者表征待测温度。本发明提供了宽温域范围内稳定工作的的监测设备和薄膜温度传感器，以获取航空航天发动机叶片温度场分布情况，实现实时温度监测。
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公开(公告)号：CN116256078A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310149550.9
申请日：2023-02-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了铌酸锂薄膜温度传感器、测温方法及温度测量设备。该温度传感器的超声压电材料为铌酸锂压电涂层，通过涂层的表面断面形貌、晶粒形状尺寸、晶体结构、超声波形态中至少一者表征待测温度。为实现铌酸锂薄膜温度传感器的实时测温，本申请还提供了温度测量设备，包括依次电连接的加热区域、薄膜超声波温度传感器、脉冲发射‑接收器、控制器、计算机终端设备。本技术方案提供了宽温域范围内稳定工作的的监测设备和薄膜温度传感器，实时监测温度，实现温度变化的提前预警，避免重要设备的结构性损坏。
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公开(公告)号：CN115323341A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210802800.X
申请日：2022-07-07
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种涂层柱状晶‑楔形结构的高可控制备方法及装置。通过磁场控制装置调控磁场强弱分布，最终精确控制涂层微观结构分布。由环形磁铁、圆柱形磁铁共同作用，形成了中心弱磁区、中间强磁区、边缘弱磁区三个区域。弱磁区靶材溅射率低，只引出纯气相粒子，而强磁区增强靶材溅射率与固态块状颗粒的引出，从而形成了纯气相粒子区、气相+纳米级至亚微米级块状颗粒、气相+微米级块状颗粒、均匀气相+固态颗粒等多个区域，促进形成了纯柱状晶、纯楔形结构、柱状晶‑楔形混合结构。微观结构新颖，易于调控，精确度高，辅助调控电源功率、制样温度、气体氛围与气压等参数，就可以获得不同的微观结构，并可以精确控制涂层结构的尺寸、厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115094393A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210707500.3
申请日：2022-06-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种同时激发纵‑横波的ZnO压电涂层材料的制备方法，包括在基体上依次形成结合层、ZnO压电涂层、保护层和电极层；其中，ZnO压电涂层的制备方法包括：真空条件下，采用Zn靶材或ZnO靶材，通过磁控溅射在所述结合层表面形成ZnO压电涂层；所述磁控溅射中，通入氩气与氧气的混合气体；所述混合气体中，氩气与氧气的流量比为2:1～1:3。本发明还提供一种基于上述制备方法制得的ZnO压电涂层材料，ZnO压电涂层在基体表面呈现不同的取向，具有能够同时被超声波的横波和纵波激发的特性。本发明还提供一种智能螺栓，其表面设有上述ZnO压电涂层材料，能够同时被超声波横波和纵波激发，进而能够简化预紧力计算步骤，易于实现螺栓预紧力的高精度无损测量。
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公开(公告)号：CN114752903A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210369739.4
申请日：2022-04-08
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种表面形貌可调的压电涂层的制备方法及该压电涂层，包括：制备溅射靶材；初步清洁衬底；准备磁控溅射设备与衬底摆放；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar被电离成Ar+，Ar+离子束轰击衬底，清洁衬底表面形成氧化物并活化表面；沉积压电涂层：离子束深度清洁衬底后，关闭弧电源，旋转转盘使得衬底与溅射靶材平行，向腔室内通入高纯Ar气和高纯氧气，设置射频电源参数，在Ar/O2混合气流及射频源作用下，溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底，形成均匀包裹在衬底表面的压电涂层；到达设定的沉积时间后，膜层沉积停止，关闭磁控溅射设备，冷却后取出样品，完成压电涂层的制备。本发明制备的压电涂层形貌可控制调节，且耐高温性优异。
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公开(公告)号：CN114635105A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210392635.5
申请日：2022-04-14
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层，包括：准备磁控溅射设备，摆放好溅射靶材、弧电源、转盘、衬底，抽真空并加热；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar在弧电源的作用下在衬底表面刻蚀出所需的织构表面；沉积多层吸收涂层：关闭弧电源，并旋转转盘使得转盘上的衬底与溅射靶材平行，打开射频电源并设置参数，同时向腔室内通入高纯Ar气、氧气，依次设置不同的O2/Ar比，溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底上形成梯度多层吸收涂层；沉积合金氧化物或纯金属氧化物抗反射涂层；再次通过Ar+离子束在抗反射层表面刻蚀出二次织构化形貌；完成涂层的制备。本发明制备的涂层的吸收性能和高温稳定性得到极大提升。
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公开(公告)号：CN222332024U
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202421190591.9
申请日：2024-05-28
Applicant: 武汉大学
Inventor： 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 曾晓梅 , 杨兵 , 张翔宇
Abstract: 本实用新型公开了一种智能传感器掩模版，包括由支架连接的内环和外环，还包括固定件；所述内环内侧镂空区域用于沉积信号电极；所述内环与所述外环之间的区域用于沉积接地电极；所述固定件设置于所述外环或所述内环上；所述外环上还设置有若干开孔，所述开孔用于在沉积后在衬底上形成接地电极和衬底连接的通道。本实用新型的智能传感器掩模版设计了支架连接内环与外环，并在外环上还设置有若干开孔，这样的结构一方面使得整体机构支撑性好、不易变形，同时巧妙地利用半影效应，使得在电极沉积过程中沉积出了导通通道，将接地电极环与衬底相连，形成较大的接地电极，方便信号测量。
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公开(公告)号：CN222450012U
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202421190574.5
申请日：2024-05-28
Applicant: 武汉大学
Inventor： 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 曾晓梅 , 杨兵 , 张翔宇 , 许畅
Abstract: 本实用新型公开了一种可批量制备智能紧固件传感器的固定装置，用于固定紧固件，所述紧固件包括紧固端和镀膜端，所述固定装置包括磁铁、载板、固定件；所述磁铁能够耐受镀膜温度，被阵列排布在所述载板背面；所述固定件安装于载板的正面，用于固定紧固件；若紧固件具有铁磁性，所述固定件为磁性材料或非磁性材料；若紧固件不具有铁磁性，所述固定件为磁性材料。本实用新型的智能紧固件传感器的固定装置适用于任何尺寸、型号、形状、材质的紧固件，还适用于非紧固件、不带螺纹、且无磁性的衬底。
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