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公开(公告)号：CN113165868B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201980076768.8
申请日：2019-11-21
Applicant: 株式会社村田制作所 , 原子能与替代能源委员会
Abstract: 提出了用于在其中沉积堆叠体例如电极‑绝缘体‑电极结构的增强的纳米线结构。所述结构包括：导电层(1308)；具有与导电层接触的第一端和从导电层突出的第二端的导电线(1316)；以及横向地连接一定数量的导电线以在导电线之间提供基本均匀的间距的横向桥层(1318)。此后，将绝缘体‑电极堆叠体(1802、1804)沉积到所述结构上(参见图18)。
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公开(公告)号：CN113661581A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202080027445.2
申请日：2020-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所 , 原子能与替代能源委员会
Abstract: 三维电容性结构(150)可以通过在多孔阳极氧化物的区域(152a)中的孔(151)上方共形地形成电容性堆叠(153至155)来产生。多孔阳极氧化物区域设置在包括抗阳极氧化层和互连层(159)的导电层(158、159)的堆叠上。在孔中，非常接近于孔底部存在具有受限直径(D)的位置(P)。在阳极氧化物的区域(152a)中的第一百分比的孔中，形成电容性堆叠(153至155)的功能部分(F)，以便延伸到孔中，不超过直径受限的位置(P)。可能存在于抗阳极氧化层(159)中的裂纹对电容性结构的特性具有降低的影响。可以容忍抗阳极氧化层(159)的厚度增加，使得整个电容性结构的等效串联电阻能够降低。
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公开(公告)号：CN113272952A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202080008200.5
申请日：2020-01-08
Applicant: 株式会社村田制作所 , 原子能与替代能源委员会
IPC: H01L23/522 , C25D11/04 , H01G4/10 , H01L49/02 , C25D11/02
Abstract: 一种用于形成具有多孔区域和横向包封的产品结构的方法、一种用于制造结构的方法，该结构包括：绝缘层(201)；第一金属层(203)，该第一金属层在绝缘层的第一部分上方；阳极氧化物的第一多孔区域，该第一多孔区域在第一金属层上方并与第一金属层接触；以及阳极氧化物的第二多孔区域，其包围第一多孔区域，该第二多孔区域与同绝缘层的第一部分相邻的绝缘层的第二部分接触并且与第一金属层接触，第二多孔区域形成绝缘区域。
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公开(公告)号：CN112119512A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980031729.6
申请日：2019-05-09
Applicant: 株式会社村田制作所 , 原子能与替代能源委员会
Abstract: 公开了多孔区域结构及其制造方法。多孔区域结构的特征在于使具有不均匀的孔的硬掩模边界区域密封，由此从该结构排除功能。硬掩模边界区域的密封通过使用在用于限定结构的多孔区域的阳极氧化硬掩模的顶部上沉积的硬掩模来完成。通过排除硬掩模边界区域，可以以更高的精确度控制或量化多孔区域结构的孔隙比和等效比表面。通过密封硬掩模边界区域，还可以显著地减少由于结构的下面的金属层露出而引起的腐蚀。
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公开(公告)号：CN110959197A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201880049558.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 弗雷德里克·瓦龙 , 穆罕默德·迈赫迪·贾特劳伊
Abstract: 公开了分布式LC滤波器结构。分布式LC滤波器结构在同一结构中同时提供分布式电感和分布式电容。因此，消除了分立无源元件，并且实现了高度的同构集成。调整分布式电感与分布式电容之间的互连，以利用分布式电容的寄生电感来增加分布式LC滤波器结构的整体电感。类似地，调整互连，以利用由分布式电感产生的寄生电容来与分布式电容相加，从而增加该结构的整体电容。
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