流体驱动阀
    31.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110475999B

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN201880023021.1

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 本发明提供一种流体驱动阀,其容易进行连续监测,且即使在致动器正在进行工作的情况下也能够检测从致动器的操作流体泄漏。在作用有操作流体的压力的致动器(3)内部的受压面、以及不作用所述操作流体的压力的致动器(3)内部的非受压面分别设有压力传感器(21、22)。还设有检测阀杆(9)的位置的位置传感器(23)。

    隔膜阀
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105452741B

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201480034016.2

    申请日:2014-07-04

    CPC classification number: F16K7/17

    Abstract: 提供一种隔膜阀,通过进行适当的铆固,从而使耐老化性提高。在阀体(2)的凹部(2c)的底面(2d)设置有环状且直径相对小的内侧突出部(22)和环状且直径相对大的外侧突出部(23)。阀座(5)设为合成树脂制,且插入内侧突出部(22)与外侧突出部(23)之间。两个突出部(22、23)被铆固,从而防止阀座(5)的脱落。内侧突出部(22)的高度比外侧突出部(23)的高度低,并且内侧突出部(22)的外侧的角(22a)为曲面。

    流体控制器
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106471300A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201580033388.8

    申请日:2015-12-14

    Abstract: 本发明提供一种流体控制器,其能够防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。阀杆上下移动量调整单元(11)具备:在内周设置有内螺纹(41b)并以可旋转的方式支承于壳体(4)的手柄(41)、在外周设置有外螺纹(46b)并与手柄(41)的内周螺合的移动体以向上下方向移动的导向单元(43)。(42)、防止移动体(42)相对于壳体(4)旋转且可

    阀体及高温用阀
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105874251A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201580002894.0

    申请日:2015-02-18

    CPC classification number: F16K1/36 F16K25/005 F16K31/1221 F16K31/1226

    Abstract: 本发明提供一种使用铆接结构使合成树脂制抵接部件的防止旋转性能大幅提高的阀体及具备这种阀体的高温用阀。阀体(3)由与通路开口缘部抵接并封堵通路开口的合成树脂制抵接部件(13)和具有使抵接部件(13)嵌入的凹处(15a)的保持部件(14)构成,通过铆接保持部件(14)使抵接部件(13)保持在保持部件(14)上。保持部件(13)的铆接部分上设置有多个切口(22)。

    流体控制装置
    40.
    外观设计

    公开(公告)号:CN303359609S

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201530075807.7

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:流体控制装置。2.本外观设计产品的用途:用于控制流体流动,例如在半导体制造设备和系统中控制过程气体的流动。3.本外观设计的设计要点:形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片:立体图。5.主视图与后视图相同,左视图与右视图相同,省略了后视图和左视图。

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