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公开(公告)号：CN100406799C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200380100688.0
申请日：2003-10-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种流体接头及其设计方法，其中，垫圈(4)的突起(7)的截面形状呈梯形，该梯形由成为外周面的缩径锥形面(7a)、成为内周面的扩径锥形面(7b)及成为前端面的平坦面(7c)划分而成。垫圈(4)的硬度、突起(7)的锥形面(7a、7b)之间的夹角角度、突起高度及突起前端的平坦面(7c)的面积设定为使紧固接头时的推力值处于规定的最小值与最大值之间。
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公开(公告)号：CN100385162C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200580002923.X
申请日：2005-01-13
IPC: F16K51/00
CPC classification number: F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
Abstract: 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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公开(公告)号：CN113728187A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080028985.2
申请日：2020-02-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。
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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN111051754A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201880056944.7
申请日：2018-09-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/44 , F16K31/163 , F16H21/44
Abstract: 本发明提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。具备致动器(3)的阀(1)中，倍力机构(30)具有在放大驱动力时不会变形的多个第一杠杆(31)，各个第一杠杆(31)具有接受来自弹簧承受部件(22)的弹簧承受部(22A)的力的施力点部(内端部(31E))、抵接于中间壳体(17)的下表面(17F)并成为第一杠杆(31)的转动中心的支点部(外端部(31D))、以及向移动部件(15)传递力的作用点部(外侧部(31B)的对第二突起部(33C)抵接的部分)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107923558B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201680050463.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种管接头，其包括：第一部件(2)；第二部件(10)；焊接部(8)，其使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)遍及全周地抵接，在产生横向收缩的同时使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)接合；环状密封部分(42)，其借由横向收缩使第一按压部(22)和第二按压部(28)向彼此靠近方向移动而形成；热传递抑制部件(16)，其配置在第一部件(2)和第二部件(10)中的焊接部与密封部分(42)之间的空间(26)中，用以抑制焊接热从焊接部(8)向密封部分(42)的传递；以及第一卡环(36)，其安装于热传递抑制部件(16)的外周面(16a)，用以将热传递抑制部件(16)卡止于第一或第二部件(2)、(10)的内表面。
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公开(公告)号：CN104685333B
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201380033899.0
申请日：2013-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01M3/24
Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有：传感器保持体(21)，其安装在流体控制器主体(2)上；超声波传感器(22)，其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上；超声波通路(23)，其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间；处理电路(24)，其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。
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公开(公告)号：CN105431661B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201480034189.4
申请日：2014-11-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K7/14 , F15B13/0817 , F16K27/003
Abstract: 主体(2)通过配置有多个通路块(3)而形成。作为形成主气体通路(9)的通路，各通路块(3)具有：第1倒V字状通路(15)；以及第1出口通路(16)，其将第1倒V字状通路(15)的顶部与第1开关阀(4)的出口(4b)连通。作为形成排放气体通路(10)的通路，各通路块(3)具有：第2倒V字状通路(17)；以及第2出口通路(18)，其将第2倒V字状通路(17)的顶部与第2开关阀(5)的出口(5b)连通。作为形成第1副气体流入通路(11)的通路，各通路块(3)具有：第1入口通路(19)，其通向第1开关阀(4)的入口(4a)；以及公共入口通路(20)。作为形成第2副气体流入通路(12)的通路，各通路块(3)具有：第2入口通路(21)，其通向第2开关阀(5)的入口(5a)；以及连通路(22)，其与公共入口通路(20)连结。
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公开(公告)号：CN103775759B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201310489576.4
申请日：2013-10-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L19/025 , F16L19/03 , F16L23/18
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/025 , F16L23/20
Abstract: 本发明提供一种管接头，即使反复进行拆装也不会产生微粒。管接头（1）包括：具有相互连通的流体通路（2a、3a）的第1接头部件及第2接头部件（2、3）；夹设在两个接头部件（2、3）的对接端面之间的圆环状垫圈（4）；和使接头部件（2、3）彼此结合的螺母（6）。在螺母（6）上设有内表面处理层（30）。内表面处理层（30）由设在螺母（6）内表面上的Co（钴）‑P（磷）合金保护膜和设在合金保护膜表面上的氟涂层构成。
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公开(公告)号：CN105431661A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201480034189.4
申请日：2014-11-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K7/14 , F15B13/0817 , F16K27/003
Abstract: 主体(2)通过配置有多个通路块(3)而形成。作为形成主气体通路(9)的通路，各通路块(3)具有：第1倒V字状通路(15)；以及第1出口通路(16)，其将第1倒V字状通路(15)的顶部与第1开关阀(4)的出口(4b)连通。作为形成排放气体通路(10)的通路，各通路块(3)具有：第2倒V字状通路(17)；以及第2出口通路(18)，其将第2倒V字状通路(17)的顶部与第2开关阀(5)的出口(5b)连通。作为形成第1副气体流入通路(11)的通路，各通路块(3)具有：第1入口通路(19)，其通向第1开关阀(4)的入口(4a)；以及公共入口通路(20)。作为形成第2副气体流入通路(12)的通路，各通路块(3)具有：第2入口通路(21)，其通向第2开关阀(5)的入口(5a)；以及连通路(22)，其与公共入口通路(20)连结。
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