公开(公告)号：CN100413033C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200410095653.9

申请日：2004-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 平林英明 ,  樱井直明 ,  斋藤晶子 ,  佐藤浩史 ,  山田富穗

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C08F220/06 ,  C08F220/26 ,  C08L33/00 ,  B24D3/20

Abstract: 本发明涉及用于化学机械研磨的研磨布，该研磨布具有由酸值为10～100mgKOH/g、羟值为50～150mgKOH/g的(甲基)丙烯酸共聚物构成的成形体。

公开(公告)号：CN101028762A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200610172149.3

申请日：2006-12-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 高林弘德 ,  樱井直明 ,  木名濑淳

IPC: B41J2/17 ,  B41J2/175 ,  B41J2/18 ,  B41J2/19 ,  B41J2/195

CPC classification number: B41J2/18 ,  B41J2/19 ,  H01L51/0005

Abstract: 本发明提供一种液滴喷射装置，能防止因液体成分的沉淀及液体内的气泡引起的喷出不良。本发明的液滴喷射装置备有液滴喷出头(2)、液体供给流路(21)、液体供给部(17)、液体返回流路(22)和液体返回部(19)。液滴喷出头(2)具有从液体收容部(16)供给来的液体通过的内部流路(2a)，把通过了该内部流路(2a)的液体作为液滴喷出。液体供给流路(21)将液体收容部(16)与液滴喷出头(2)的内部流路(2a)连通。液体供给部(17)设在液体供给流路(21)中，把液体从液体收容部(16)通过液体供给流路(21)供给到液滴喷出头(2)。液体返回流路(22)将液滴喷出头(2)的内部流路(2a)与液体收容部(16)连通。液体返回部(19)设在液体返回流路(22)中，把通过了液滴喷出头(2)的内部流路(2a)的液体，从液滴喷出头(2)通过液体返回流路(22)返回到液体收容部(16)。