公开(公告)号：CN1344037A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01137289.3

申请日：2001-05-22

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柴田智彦 ,  浅井圭一郎 ,  长井晃余 ,  田中光浩

IPC: H01L33/00 ,  H01L21/20 ,  H01S5/00

CPC classification number: H01L33/0075 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/105 ,  H01L33/007

Abstract: 在衬底上依次形成组成为AlaGabIncN(a+b+c=1,a、b、c≥0)的缓冲层和组成为AlxGayInzN(x+y+z=1,x、y、z≥0)的多层薄膜。缓冲层中铝含量最少部分的铝含量设定为至少大于多层薄膜最厚层处的铝含量。缓冲层的铝含量从衬底的一侧到多层薄膜的另一侧是连续地或逐步地降低的。