一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的测量方法

    公开(公告)号:CN105509636B

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201510848301.4

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时在测量过程中,采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。

    一种采用波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法

    公开(公告)号:CN105371755B

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201510847922.0

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置,固定反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数);每束激光经分光镜后变为两束,其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射,到达光电探测器,同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯型反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。

    一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN105509636A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201510848301.4

    申请日:2015-11-27

    CPC classification number: G01B9/02018 G01B9/02075 G01B11/02

    Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时在测量过程中,采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。

    一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法

    公开(公告)号:CN105352435A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510852430.0

    申请日:2015-11-27

    CPC classification number: G01B9/02062 G01B11/02

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时在距离测量过程中,精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

    一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN104964642A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510372838.8

    申请日:2015-06-29

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台,所述微动阶梯角反射镜设置在所述磁性微位移平台上,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,实现抗干扰的目的。

    一种新型软磁磁环密度测试装置

    公开(公告)号:CN205228989U

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201520996266.6

    申请日:2015-12-04

    Abstract: 本实用新型公开一种新型软磁磁环密度测试装置,包括设置于地面上的电子天平、高脚水槽和可调电磁铁,所述电子天平上表面设有烧杯,所述高脚水槽顶端设有样品架,所述样品架包括横梁、可滑动伸缩连杆和由垂直的拉杆和水平的横臂组成的L形升降臂,所述横梁设置于高脚水槽内侧壁靠近顶部的位置,所述高脚水槽其中一侧的水槽壁上开有竖直向下的滑槽,所述滑槽下端与高脚水槽内部连通,所述L形升降臂的拉杆与滑槽滑动连接,所述L形升降臂的横臂设置于高脚水槽内侧,所述高脚水槽外侧壁与滑槽对应的位置设有锁定L形升降臂的紧固螺栓。本实用新型以弥补传统密度测量装置在提升单一样品湿密度测试精度及批量样品密度测试时存在的不足。

    一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪

    公开(公告)号:CN205120038U

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201520963567.9

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜,所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时在测量过程中对激光波长进行修正,减小环境变化对激光干涉测距的影响,进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。

    一种检测棒
    38.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205084596U

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201520860326.1

    申请日:2015-10-30

    Abstract: 本实用新型涉及空气检测技术领域,具体涉及一种检测棒,包括管体,所述管体一端设置有进气孔,所述管体另一端设置有显示模块,所述进气孔与所述显示模块的气体通路之间还设置有催化模块,所述进气孔和所述催化模块的气体通路之间还设置干燥模块,所述显示模块设置有溴麝香草酚蓝溶液,所述干燥模块具有碱石灰,所述催化模块具有铜锰复合氧化物催化剂,如此,能够方便快捷的检测空气中是否具有一氧化碳或甲醛。

    一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪

    公开(公告)号:CN205879110U

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201520966000.7

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜,所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。

    一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪

    公开(公告)号:CN205619874U

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201520966057.7

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时在距离测量过程中,精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。

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