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公开(公告)号:CN1665131A
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN200510051298.X
申请日:2005-03-03
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
Abstract: 接合基板、表面声波芯片以及表面声波器件。接合基板包括钽酸锂基板及与钽酸锂基板相接合的蓝宝石基板,钽酸锂基板和蓝宝石基板的接合界面包括厚度为0.3nm到2.5nm、处于非晶态的接合区域。处于非晶态的接合区域是通过利用惰性气体或氧的中性化原子束、离子束或者等离子体在接合界面中激活钽酸锂基板和蓝宝石基板中的至少一方来形成的。可以无需高温热处理而将压电基板与具有不同晶格常数的支撑基板相接合,并且可以实现具有优良接合强度和更小翘曲的接合基板。
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公开(公告)号:CN1534869A
公开(公告)日:2004-10-06
申请号:CN200410034211.3
申请日:2004-03-30
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/1092 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H03H9/0547 , H03H9/0585 , H03H9/059 , Y10T29/42 , H01L2924/00014
Abstract: 一种表面声波器件,包括:具有第一表面的压电基板,在该第一表面上设置多个梳状电极、与其相连的多个第一焊盘、和第一膜。该第一膜被设置为包围该梳状电极。底基板具有第二表面,在该第二表面上设置与该第一焊盘接合的多个第二焊盘和与该第一膜接合的第二膜。通过表面活化处理而接合的该第一和第二膜限定了其中气密地密封有该梳状电极以及该第一和第二焊盘的腔。
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公开(公告)号:CN1534868A
公开(公告)日:2004-10-06
申请号:CN200410032234.0
申请日:2004-03-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/1071 , H01L2224/97 , H03H3/08
Abstract: 一种制造表面声波器件的方法,包括下列步骤:将一支撑基板与背对压电基板第一表面的压电基板第二表面相接合;研磨和抛光压电基板第一表面;研磨和抛光支撑基板第三表面,该支撑基板第三表面背对与压电基板第二表面相接合的该支撑基板的另一表面;以及,在压电基板第一表面上形成一包括多个梳状电极和多个电极焊盘的片上图案。
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公开(公告)号:CN1497846A
公开(公告)日:2004-05-19
申请号:CN200310101828.8
申请日:2003-10-17
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种多模表面声波滤波器器件包括:压电基板;至少一个输入IDT(交指型变换器)和至少一个输出IDT,二者形成在所述压电基板上;多个反射器,其形成在所述压电基板上,并被布置在所述输入IDT和所述输出IDT的外侧;输入端子,其向所述输入IDT提供输入信号;以及,输出端子,其从所述输出IDT接收输出信号。在这种多模表面声波滤波器中,所述输入端子和所述输出端子沿相同的方向延伸。
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公开(公告)号:CN1968012B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200610146539.3
申请日:2006-11-15
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/706 , H03H9/0571 , H03H9/0576 , H03H9/72 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种双工器。该双工器包括:发送滤波器,其为梯型滤波器,连接在公共端子和发送端子之间;和接收滤波器,其为梯型滤波器,连接在所述公共端子和接收端子之间。所述发送滤波器中的一个或更多个并联谐振器通过发送电感接地,并且所述接收滤波器中的多个并联谐振器的一部分通过第一接收电感接地,而所述多个并联谐振器的其余部分通过第二接收电感接地。
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公开(公告)号:CN101064500B
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200710107701.5
申请日:2007-04-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种滤波器和双工器,该滤波器包括:压电薄膜谐振器,所述压电薄膜谐振器具有基板、由所述基板支承的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜、以及设在所述压电膜上的上部电极。所述压电薄膜谐振器中的至少一个压电薄膜谐振器具有其中所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。上述部分的形状与其他压电薄膜谐振器的相应部分的形状不同,从而所述压电薄膜谐振器中的上述至少一个压电薄膜谐振器中的寄生成分在与所述其他压电薄膜谐振器中出现寄生成分的频率不同的频率处出现。
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公开(公告)号:CN100576734C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200610137474.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极,在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔;设置于下电极之上的压电膜,以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域,空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号:CN100559710C
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200710086021.X
申请日:2007-03-07
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02818
Abstract: 本发明公开一种弹性边界波器件。该弹性边界波器件包括:具有压电性的第一介质;电极,其被设置在所述第一介质上并激发弹性波;第二介质,其由与所述第一介质不同的材料制成并且被设置在所述第一介质上以覆盖所述电极;以及吸声部分,其被设置在所述第二介质上。
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公开(公告)号:CN100557969C
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200710107742.4
申请日:2007-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种压电薄膜谐振器和采用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括基板、设在所述基板上的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜以及上部电极,该上部电极设在所述压电膜上,以便具有隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。所述压电膜在谐振部分中的外端比其中所述上部电极和所述下部隔着所述压电膜彼此交叠的相对区域的外端更靠内,并且所述谐振部分是其中所述上部电极和所述下部电极隔着所述压电膜彼此交叠的部分。
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公开(公告)号:CN100481725C
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200510069642.8
申请日:2005-04-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/72
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0576 , H03H9/72
Abstract: 天线双工器和电子设备。一种天线双工器,包括具有不同中心频率的两个表面声波滤波器,以及与这两个表面声波滤波器的相位相匹配的相位匹配电路。在这两个表面声波滤波器与发射及接收端子之间的至少两层上、以及在由多层封装中的片状接地规定的区域内设置匹配线路图案,该多层封装包括包含有焊接层的多个层,在该焊接层上设置有用于连接这两个表面声波滤波器的布线焊盘,并且所述匹配线路图案不具有设置在所述焊接层上的部分。
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