一种形面自适应超声化学机械抛光轮毂模具的装备与工艺方法

    公开(公告)号:CN115464472B

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202211262670.1

    申请日:2022-10-14

    Abstract: 本发明提供一种形面自适应超声化学机械抛光轮毂模具的装备与工艺方法,包括床身和安装在床身内超声发生器、上支架、电缆、风扇、法兰盘、活动支架、换能器、变幅杆、Z轴升降台、平移工作台、定位销、工作池、压缩空气泵、数控系统和气囊。本发明具有形面自适应功能,能随着工件形面凹凸起伏自适应变换贴合,整个过程无需建立模型、无需扫描、无需人工过多干预,能显著降低劳动力。并通过密集部署的超声增强化学机械抛光,整个待加工面同时处理,加工效率高,均匀性好,抛光后表面一致性好,精度高,抛光后轮毂模具表面粗糙度可达Ra 0.446~1.442μm。同时,其也可以应用于轮毂模具以外的零件,通用性极强。

    一种小口径沟槽热管强空化复合抛光装置及方法

    公开(公告)号:CN115890356A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211468472.0

    申请日:2022-11-22

    Abstract: 本发明提供一种小口径沟槽热管强空化复合抛光装置及方法,装置包括吸液管、真空结构、密封腔体、储液箱、驱动机构、喷嘴、抛光夹具和夹具底座,沟槽热管固定在抛光夹具上,抛光夹具置于夹具底座上,夹具底座固定在密封腔体底部;储液箱内部盛有抛光液,吸液管的一端伸入至储液箱中,另一端插入至密封腔体内与喷嘴连接,将储液箱内的抛光液输送至喷嘴中,用于对沟槽热管内部进行抛光,吸液管与密封腔体间通过密封圈进行密封连接;驱动机构与喷嘴连接,用于实现喷嘴的旋转;真空结构与密封腔体间密封连接,用于将密封腔体内部的空气抽出。本发明复合抛光装置气密性好,可操作性强,稳定性高。

    一种石英半球谐振子纳米制造方法

    公开(公告)号:CN112461265B

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202011316710.7

    申请日:2020-11-20

    Abstract: 本发明属于超精密加工领域,公开了一种石英半球谐振子纳米制造方法,实现了石英半球陀螺谐振子从宏观制造到纳米制造一体化的方法,首先采用轨迹法对工件进行磨削和超精密磨削。其次利用激光干涉成像,采用自主研发的化学机械抛光液对不符合表面精度和形位精度的区域进行限域化学机械抛光,最后使用离子束对工件和不满足加工要求的区域进行修型。最终达到表面粗糙度,圆度,圆柱度均小于100nm。本发明为半球陀螺的加工提供的新的方法和新思路,达到了加工要求,满足了军工国防,航空航天和一些民用设备的需求。

    一种齿轮无载荷整体浸入式化学机械耦合表面抛光方法

    公开(公告)号:CN114247939B

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202111599372.7

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明提供了一种齿轮无载荷整体浸入式化学机械耦合表面抛光方法,抛光时将齿轮整体浸入,不施加任何外部载荷,施以超声辅助,化学与机械、流体与固体相互耦合,高效稳定的对齿轮表面进行抛光。所用自主研制绿色环保抛光液成分主要包括去离子水、碳化硅磨粒、双氧水、磷酸及苹果酸。与其他齿轮零件的表面处理方法相比,本方法可对齿轮进行全面抛光,且在抛光过程中不单独施加外载荷,有效减少了抛光过程中产生的划痕、亚表面损伤等缺陷,抛光后包括曲形齿廓在内的齿轮表面都能达到光滑的要求。此外所研制的抛光液中,不含强酸或强碱等危害人体或环境的化学试剂,绿色环保。

    一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备

    公开(公告)号:CN115365995A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210908550.8

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明提供一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备,包括:坩埚固定吸盘夹具、磨抛盘、浮动主轴、法兰盘、主轴旋转系统、主轴组件、主轴上下移动系统、机架、操作系统、抛光液滴加系统。本发明设计的装备通过坩埚固定吸盘夹具保证坩埚的定位精度,通过主轴旋转和上下移动实现磨抛盘进行上下和旋转运动,实现了对坩埚内壁同时进行的高精度打磨和抛光,同时通过液压伸缩模块调整磨抛轮和坩埚内壁之间的挤压作用力,配合超声辅助,实现了坩埚内壁尤其是大尺寸坩埚非圆曲面内壁的高质高效化学机械磨抛。

    一种受控磁场复杂曲面化学机械抛光装备

    公开(公告)号:CN114055257B

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202111396877.3

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明提供一种受控磁场复杂曲面化学机械抛光装备,包括主轴系统,磁场系统,抛光槽和数控系统。抛光时,抛光槽内填充化学抛光液和磁性磨料,抛光过程中可以通过精确控制电磁线圈的供电形式来控制抛光槽内部的电磁场,进而控制抛光槽内磁性磨料的运动轨迹与运动形态,结合主轴的转速和偏转角度的变化以及主轴的轴向超声振动作用,使得磁性磨料能到达曲面零件的任何表面,能以较强的均匀的机械磨削作用力去除复杂曲面零件表面由化学抛光液形成的软化膜,该装备能适用于抛光不同类型不同材质的复杂曲面零件,通用性强,抛光后复杂曲面零件表面一致性好,表面质量高。

    一种环境气氛电镜原位加热和原位通电样品的制备方法

    公开(公告)号:CN113504393B

    公开(公告)日:2022-10-28

    申请号:CN202110768286.8

    申请日:2021-07-07

    Abstract: 本发明提供了一种环境气氛电镜原位加热和原位通电样品的制备方法。先利用聚焦离子束沉积一层1‑2μm的保护层,然后用较大束流减去目标样品周围多余的材料,得到一个微米片,在不转移目标样品的前提下继续用低束流进行样品减薄直至样品厚度为100‑200nm;将样品转移到机械手上,用较低的束流和电压在机械手上进行精减薄使其厚度达到50‑70nm,最终转移到芯片上的一种样品制备的方法。本方法可以在不损伤芯片,保证芯片的气密性的前提下,制备具有高分辨率,低损伤,薄度良好的环境透射样品。本发明是一种不损坏芯片的原位环境芯片的制备方法。

    一种大锥度粉筒自动化焊接装备及方法

    公开(公告)号:CN113814568B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202111192952.4

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 本发明提供一种大锥度粉筒自动化焊接装备及方法。本发明包括环形夹具安装装置、筒节自动对接装置以及筒节自动焊接装置,所述环形夹具安装装置用于将大锥度粉筒的各筒节安装至对应的环形夹具中,所述筒节自动对接装置用于将四节大锥度筒节在轴向和圆周向自动调整至焊接位置,所述筒节自动焊接装置用于对接后的粉筒焊缝的焊接。本发明各装置均配置信息采集反馈系统,仅需人工辅助运输,降低了工人劳动强度,减少了对焊接工人经验的依赖,自动化作业提高了焊接效率和焊接质量。用环形夹具固定大锥度粉筒,将非回转体转化为回转体,解决了大锥度粉筒组对对接时在辊轮架上的轴向窜动问题。

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