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公开(公告)号：CN2428490Y
公开(公告)日：2001-05-02
申请号：CN00218165.7
申请日：2000-06-27
Applicant: 复旦大学
Inventor： 侯晓远 , 何钧 , 吕明 , 邓振波 , 廖良生 , 周翔 , 熊祖洪 , 张松涛 , 何劲 , 钟高余
IPC: C23C14/50
Abstract: 一种适用于真空蒸镀的样品支架的设计。以往的真空沉积设备的设计中,掩模和样品托之间都有一点距离,使得真正得到的薄膜的形状并不是所设计的形状。本实用新型设计了一套样品支架,包括样品托、样品架和样品叉,其独特简捷的结构配合使用使得掩模和样品托之间的距离减少到零。
