一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN108955929A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810503085.3

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法,属于传感器技术领域。技术要点:利用原位生长的多孔Al2O3陶瓷作为湿度单元敏感体,同时,湿度单元敏感体兼顾作为温度单元基底;温度敏感电阻采用厚膜丝网印刷工艺制备,温度敏感电阻兼顾作为湿度单元的热净化器;温度单元和湿度单元电极的引出线采用金浆烧工艺制得;多孔Al2O3陶瓷浸渍表面修饰剂;集成芯片采用储能点焊工艺焊接的4脚基座上,管帽采用防水透气膜封装。该传感器芯体具有纳米管阵列结构特征,在大气条件下,可实现对环境中的温度和湿度进行检测。实现传感器温度与湿度检测单元的集成化,提高各功能部件的复用,最大限度降低功能部件的数量。

    一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN108614015A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810503083.4

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法,属于传感器技术领域。技术要点:利用原位生长氧化铝制造出传感器基片,在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元,催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺形成金属铂薄膜加热敏感电阻,通过蒸发和湿法刻蚀工艺形成金属镍铬薄膜桥路电阻,然后封装。工作模式:催化敏感单元的惠斯通电桥,检测被测气体浓度,当其浓度超过催化单元检测上限时,关闭催化单元的惠斯通电桥,启动热导单元的惠斯通电桥,检测被测气体的高浓度;当气体浓度下降到热导单元检测下限时,关闭热导单元的惠斯通电桥,启动催化单元的惠斯通电桥,实现高低浓度的气体检测。

    一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器

    公开(公告)号:CN107677704A

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201710881284.3

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器,属于传感器技术领域。气体传感器的敏感元件和补偿元件均包括Al2O3载体、贵金属修饰γ-Al2O3纳米管阵列;Al2O3载体上设置有敏感电极,敏感电极通过电极焊盘焊接有金属引线,贵金属修饰γ-Al2O3纳米管阵列位于Al2O3载体的底面上。方法:利用原位生长的Al2O3膜状陶瓷材料做为传感器载体材料,通过微加工技术形成传感器微结构载体,在Al2O3膜状材料的孔洞内修饰γ-Al2O3和贵金属催化剂后,形成敏感性纳米管阵列敏感芯体,在芯体表面沉积铂膜,光刻和刻蚀后形成敏感电极。该传感器芯体在高温条件下可实现对不同种类的易燃易爆气体进行浓度检测。

    一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法

    公开(公告)号:CN105021308A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510412704.4

    申请日:2015-07-15

    Abstract: 一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法。它涉及到在光纤光栅表面用铝金属膜修饰制作增强型光纤光栅温度传感器制造方法。本发明解决了传统光纤光栅温度传感器灵敏度较低而导致分辨力较低的问题。在光纤光栅表面沉积铝膜,在高于660℃~700℃条件下真空处理带铝膜的光纤光栅,使铝膜呈熔融状态,并保持一段恒温状态再冷却,得到致密一体化铝膜,进而改善铝膜的温度线胀特性的重复性和稳定性。利用镀膜的毛细玻璃管作为360°光刻掩模版,利用旋转360°光刻方法,实现对光纤光栅表面上的铝膜进行光刻胶掩模保护。用本发明方法能够提高增强型光纤光栅温度传感器的检测灵敏度和分辨力,提高温度检测精度。

    一种铝基敏感材料的温度传感器制造方法

    公开(公告)号:CN105021303A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510413167.5

    申请日:2015-07-15

    Abstract: 本发明公开了种铝基敏感材料的温度传感器制造方法。采用三次阳极氧化工艺,将一定厚度的铝箔加工成四周封闭的阳极氧化形成的氧化铝绝缘隔离层,中间夹有较薄的铝膜温度敏感电阻条;形成的温度传感器结构由敏感铝电阻条和绝缘三氧化二铝构成。用本发明方法制造出的铝敏感材料温度传感器可以实现大面积温场测量,检测灵敏度较高;同时,降低了传感器的性能漂移,有助于检测仪表的应用及精度的保证。

    一种含有自控温磁性纳米线的磁热疗用热籽及其制作方法

    公开(公告)号:CN112587812B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202011474806.6

    申请日:2020-12-14

    Inventor: 张洪泉 张凯

    Abstract: 本发明涉及一种含有自控温磁性纳米线的磁热疗用热籽及其制作方法,属于肿瘤磁感应热疗技术领域。为解决目前金属或合金磁性热籽产热效率低,无法实现自动控温的问题,本发明提供了一种含有自控温磁性纳米线的磁热疗用热籽,包括沙漏型旋转体钛合金壳体、涂覆于壳体外的表面改性层和密封于壳体内的自控温磁性纳米线悬浊液;自控温磁性纳米线为锌钴铬铁氧体磁性纳米线,其居里温度点为42~45℃。本发明以自控温磁性纳米线为基础实现了热籽在42~45℃之间的自动控温,热籽产热率高,热量分布均匀,具有良好的生物相容性,能够精确定位在肿瘤组织内,不易发生移动游走现象,热籽与磁热疗仪配套使用可用于靶向治疗肿瘤。

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