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公开(公告)号：CN108955929A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810503085.3
申请日：2018-05-23
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 重庆海士测控技术有限公司
Abstract: 一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法，属于传感器技术领域。技术要点：利用原位生长的多孔Al2O3陶瓷作为湿度单元敏感体，同时，湿度单元敏感体兼顾作为温度单元基底；温度敏感电阻采用厚膜丝网印刷工艺制备，温度敏感电阻兼顾作为湿度单元的热净化器；温度单元和湿度单元电极的引出线采用金浆烧工艺制得；多孔Al2O3陶瓷浸渍表面修饰剂；集成芯片采用储能点焊工艺焊接的4脚基座上，管帽采用防水透气膜封装。该传感器芯体具有纳米管阵列结构特征，在大气条件下，可实现对环境中的温度和湿度进行检测。实现传感器温度与湿度检测单元的集成化，提高各功能部件的复用，最大限度降低功能部件的数量。
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公开(公告)号：CN108614015A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810503083.4
申请日：2018-05-23
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 重庆海士测控技术有限公司
Abstract: 一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法，属于传感器技术领域。技术要点：利用原位生长氧化铝制造出传感器基片，在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元，催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺形成金属铂薄膜加热敏感电阻，通过蒸发和湿法刻蚀工艺形成金属镍铬薄膜桥路电阻，然后封装。工作模式：催化敏感单元的惠斯通电桥，检测被测气体浓度，当其浓度超过催化单元检测上限时，关闭催化单元的惠斯通电桥，启动热导单元的惠斯通电桥，检测被测气体的高浓度；当气体浓度下降到热导单元检测下限时，关闭热导单元的惠斯通电桥，启动催化单元的惠斯通电桥，实现高低浓度的气体检测。
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公开(公告)号：CN107677704A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710881284.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 上海航士海洋科技有限公司 , 哈尔滨航士科技发展有限公司
Abstract: 一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器，属于传感器技术领域。气体传感器的敏感元件和补偿元件均包括Al2O3载体、贵金属修饰γ-Al2O3纳米管阵列；Al2O3载体上设置有敏感电极，敏感电极通过电极焊盘焊接有金属引线，贵金属修饰γ-Al2O3纳米管阵列位于Al2O3载体的底面上。方法：利用原位生长的Al2O3膜状陶瓷材料做为传感器载体材料，通过微加工技术形成传感器微结构载体，在Al2O3膜状材料的孔洞内修饰γ-Al2O3和贵金属催化剂后，形成敏感性纳米管阵列敏感芯体，在芯体表面沉积铂膜，光刻和刻蚀后形成敏感电极。该传感器芯体在高温条件下可实现对不同种类的易燃易爆气体进行浓度检测。
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公开(公告)号：CN107655614A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710886925.4
申请日：2017-09-26
Applicant: 哈尔滨航士科技发展有限公司 , 哈尔滨工程大学 , 上海航士海洋科技有限公司
Abstract: 一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片，包括压力陶瓷基片；压力陶瓷基片的一面上印刷有感压电极图形，温度陶瓷基片的一面上印刷有热敏电阻图形，感压电极图形和热敏电阻图形上分别设置有两组引线接点；压力陶瓷基片上的感压电极图形外围设置有圆形玻璃烧结料环，圆形玻璃烧结料环与玻璃环连接，玻璃环还与衬底陶瓷基片连接，衬底陶瓷基片与温度陶瓷基片印有热敏电阻图形的一面连接；本发明传感器芯片结构紧凑，小型便携，灵敏精确，将温度和压力传感器集成在一起，能同时测量两个参数并降低生产成本，在海水中下潜速度快，测量效率高。
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公开(公告)号：CN105021308A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510412704.4
申请日：2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法。它涉及到在光纤光栅表面用铝金属膜修饰制作增强型光纤光栅温度传感器制造方法。本发明解决了传统光纤光栅温度传感器灵敏度较低而导致分辨力较低的问题。在光纤光栅表面沉积铝膜，在高于660℃～700℃条件下真空处理带铝膜的光纤光栅，使铝膜呈熔融状态，并保持一段恒温状态再冷却，得到致密一体化铝膜，进而改善铝膜的温度线胀特性的重复性和稳定性。利用镀膜的毛细玻璃管作为360°光刻掩模版，利用旋转360°光刻方法，实现对光纤光栅表面上的铝膜进行光刻胶掩模保护。用本发明方法能够提高增强型光纤光栅温度传感器的检测灵敏度和分辨力，提高温度检测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105021303A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510413167.5
申请日：2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明公开了种铝基敏感材料的温度传感器制造方法。采用三次阳极氧化工艺，将一定厚度的铝箔加工成四周封闭的阳极氧化形成的氧化铝绝缘隔离层，中间夹有较薄的铝膜温度敏感电阻条；形成的温度传感器结构由敏感铝电阻条和绝缘三氧化二铝构成。用本发明方法制造出的铝敏感材料温度传感器可以实现大面积温场测量，检测灵敏度较高；同时，降低了传感器的性能漂移，有助于检测仪表的应用及精度的保证。
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公开(公告)号：CN119702095A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411751638.9
申请日：2024-12-02
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所 , 黑龙江大学
Inventor： 张洪泉 , 霍文雅 , 姜晓龙 , 金鹏飞 , 张凯 , 赵晓锋 , 艾春鹏 , 于志鹏 , 许德新 , 罗嘉琪 , 程鹏 , 穆胡罗夫·尼古拉·伊万诺维奇 , 加森科娃·伊琳娜·弗拉基米罗夫娜
Abstract: 一种集成氢气传感微系统及制造方法、数据处理方法。属于集成氢气传感微系统技术领域。本发明解决目前氢气检测靠单一原理难以解决宽量程这一精准检测问题。本发明的氧化铝陶瓷基片上覆有第一半导体原理电极、第二半导体原理电极和催化原理加热敏感电极，第一半导体原理电极上连接第一铂焊盘，催化原理加热敏感电极上连接第二铂焊盘和第三铂焊盘，第一半导体原理电极和第二半导体原理电极上通过半导体原理敏感材料形成敏感半导体黑体碳化硅防红外辐射封装层，催化原理加热敏感电极上通过催化原理敏感材料形成敏感催化体黑体碳化硅防红外辐射封装层。本发明的一种集成氢气传感微系统及制造方法、数据处理方法实现氢气浓度宽量程检测。
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公开(公告)号：CN119688793A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411848888.4
申请日：2024-12-16
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 一种气体传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。为解决传统气体传感器体积大、耗能高、灵敏度低、制造工艺复杂等问题，本发明包括将芯片基底基本外形进行电解氧化增材得到初步芯片基底；然后在底部隔热槽、顶部隔热槽对应位置涂抹光刻胶，进行光敏固化；再次进行电解氧化增材，然后去除光刻胶，得到具有底部隔热槽、顶部隔热槽的芯片基底；利用磁控溅射成膜技术，生成由铂膜组成的信号电极、参比电极和电极焊盘；将硝酸铝掺杂贵金属催化剂制成浆料搅拌混合均匀，完全覆盖在信号电极区域和参比电极区域，然后进行烘干高温煅烧，得到初步传感器芯体喷涂去敏剂，然后进行高温煅烧，得到传感器芯体；用封装外壳进行封装，得到气体传感器。
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公开(公告)号：CN119236333A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411582919.6
申请日：2024-11-07
Applicant: 青岛山大齐鲁医院(山东大学齐鲁医院(青岛)) , 哈尔滨工程大学 , 哈尔滨市源盛达电子技术有限公司
Abstract: 一种用于放射性粒子植入枪的光纤推针，属于近距离放疗领域。本发明解决了粒子源的空间剂量分布不精确和缺少术中体内近距离剂量测量工具的问题。技术要点：包括可调节套筒和光纤辐射传感器内芯(3)，所述可调节套筒包括套装设置的外壳体(1)和内筒(2)，内筒(2)中固封有光纤辐射传感器内芯(3)，所述光纤辐射传感器内芯(3)的前端设置有辐射敏感探头(8)。本发明用于近距离放疗粒子的植入以及术中体内实时剂量的监测，为近距离放疗术中体内剂量监测提供了有效途径，保证了放射性粒子植入位置和剂量分布的精确性。
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公开(公告)号：CN112587812B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202011474806.6
申请日：2020-12-14
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 重庆海士智能科技研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种含有自控温磁性纳米线的磁热疗用热籽及其制作方法，属于肿瘤磁感应热疗技术领域。为解决目前金属或合金磁性热籽产热效率低，无法实现自动控温的问题，本发明提供了一种含有自控温磁性纳米线的磁热疗用热籽，包括沙漏型旋转体钛合金壳体、涂覆于壳体外的表面改性层和密封于壳体内的自控温磁性纳米线悬浊液；自控温磁性纳米线为锌钴铬铁氧体磁性纳米线，其居里温度点为42～45℃。本发明以自控温磁性纳米线为基础实现了热籽在42～45℃之间的自动控温，热籽产热率高，热量分布均匀，具有良好的生物相容性，能够精确定位在肿瘤组织内，不易发生移动游走现象，热籽与磁热疗仪配套使用可用于靶向治疗肿瘤。
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