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公开(公告)号：CN103062584B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210571982.0
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102734379B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210201284.1
申请日：2012-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/03 , F16F15/023
CPC classification number: F16F15/023 , F16F15/022 , F16F15/0232 , F16F15/03
Abstract: 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。
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公开(公告)号：CN102393608B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377824.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术领域，该装置包含一个回转换台装置，其机械结构包括设置于基台之下的旋转电机定子、贯穿基台的旋转电机动子、嵌入基台内的轴套以及硅片台转接装置，该回转换台装置实现光刻机硅片台位置交换，具有结构简单、换台节拍少、转动惯量小、双台切换时间短等优点；该装置在硅片台内部设置有硅片台自旋机构，其结构包括硅片台旋转轴以及硅片台自旋电机，在基台的测量位设置有可升降的轴接装置，硅片台自旋机构和轴接装置可以实现硅片台自旋，解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
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公开(公告)号：CN103048891A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574185.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括激光干涉测量系统、电容位移传感器、微动台本体及六自由度驱动电机，该电机水平和垂向驱动均采用呈三角形布置的三个驱动器解耦控制，单个水平驱动器采用在水平驱动线圈上下对称布置动子磁钢的方式，水平运动磁场均匀易于扩展水平行程，单个垂向驱动器运动磁钢仍采用上下对称布置方式，垂向运动定子采用永磁体和线圈复合形式，在提高垂向驱动力的同时具有永磁体磁浮重力补偿功能，有利于微动台保持恒温环境，该装置结构紧凑，水平驱动力大，水平行程易于扩展适用于光刻机工件台水平高速高加速运动的工作需求。
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公开(公告)号：CN101963763B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201010244148.1
申请日：2010-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置属于半导体制造装备技术，该装置增加了一个具有双驱双桥结构的换台工位，两组双驱桥式结构分别由两根U型槽式直线电机定子和静压气浮导轨对称配置构成；双驱双桥换台工位结构，使X方向和Y方向气浮导轨均变成短导轨形式，可明显减小被驱动体的体积和惯量，有利于提高起、停驱动速度，缩短响应时间和定位稳定时间；硅片台的长行程直线运动单元在X方向和Y方向上都采用了严格平行对称布置的双直线电机同步驱动形式，驱动力过硅片台质心，有效减小了硅片台的惯性转矩扰动，提高了系统稳定性和可靠性，为实现系统的动态和静态定位精度提供了可靠的保障。
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公开(公告)号：CN102393613A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110378087.2
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、回转换台齿轮以及旋转连接件构成的回转换台装置，工件台腰部设置有工件台旋转环套和工件台齿轮，在侧面设置工件台转接装置，回转换台装置与工件台转接装置对接后，带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本发明三节拍回转换台过程中，工件台不自旋，解决了现有回转换台方式工件台相位反转，线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，同时本发明采用工件台绕基台中心旋转的换台方式，避免整个基台旋转，转动惯量小，在相同转矩条件下，换台时间更短，提高了工件台的运行效率和光刻机产率。
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