用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法

    公开(公告)号:CN103196361A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310063729.9

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中,参考光经单模光纤传递给光纤准直器,准直后形成入射参考光束;测量光束经多次反射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束,入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束,依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束,四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。

    正交型立体视觉结构的外参数标定方法

    公开(公告)号:CN115641382B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202211295029.8

    申请日:2022-10-21

    Abstract: 正交型立体视觉结构的外参数标定方法,解决如何提高现有正交型立体视觉结构的外参数标定精度的问题,属于惯性约束聚变技术领域。本发明的正交型立体视觉结构包括四路监测单元,本发明还设计了专用标定靶,将专用标定靶放在正交型立体视觉结构中,调整四路监测单元的光轴方向,使其分别与靶体的四个标定点阵的中心点的法线重合;四路监测单元分别进行调焦,获得对应面上标定点阵的图像,解算各监测单元中相机坐标系相对于对应标定点阵的平面坐标系之间的变换关系,再结合已知的各监测单元中相机坐标系相对于对应标定点阵的平面坐标系之间的变换关系,解算出各监测单元的相机坐标系之间的关系,实现外参数标定。

    基于相似三角插值采样的扫频非线性矫正测距方法

    公开(公告)号:CN112946611B

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202110154331.0

    申请日:2021-02-04

    Abstract: 基于相似三角插值采样的扫频非线性矫正测距方法,涉及扫频干涉测量(FSI)测量、FMCW激光雷达等技术领域,针对现有方法不能提供准确的重采样序列,扫频非线性消除不彻底、导致扫频干涉测量精度下降的问题,本申请用于消除由于扫频激光器的扫频非线性产生的频谱展宽效应,可有效提高测量频谱半高全宽的优良性质。尤其是对于测量极限距离时,相比于取近零点作为采样点,误差更小。同时,相似插值算法因使用矩阵乘法在信号处理速度上有所加快。该发明确保了绝对距离测量系统在进行远距离测量时测量结果的高精度、高实时性处理。

    FMCW距离测量的扫频信号拼接方法及装置

    公开(公告)号:CN112114326B

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202010997655.6

    申请日:2020-09-21

    Abstract: 本发明的FMCW距离测量的扫频信号拼接方法及装置涉及一种信号处理方法及装置,目的是为了克服现有FMCW距离测量中信号拼接具有的相位跳变问题时,导致激光雷达探测识别精度低问题,其中方法具体包括:引入辅助干涉仪,得到第一辅助干涉信号的相位和第二辅助干涉信号的相位;根据第一辅助干涉信号的相位和第二辅助干涉信号的相位,以及拼接后的辅助干涉信号,得到拼接后的辅助干涉信号的相位信息;通过拼接后的辅助干涉信号的相位信息,得到用于相位跳变消除的正交基;利用正交基消除拼接后的测量干涉信号中由拼接产生的相位跳变。

    非均匀照明条件下的自适应非线性超动态图像合成方法

    公开(公告)号:CN113962915A

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN202111221433.6

    申请日:2021-10-20

    Abstract: 非均匀照明条件下的自适应非线性超动态图像合成方法,解决了现有非均匀暗场照明条件下成像时被检测目标图像饱和的问题,属于光学元件检测技术领域。本发明在照明条件不变的条件下,损伤点所在的区域的照度场不均匀,采集n幅随着相机的曝光时间变化的图像。随着曝光时间增加,损伤点的图像灰度值会相应增加,判断图像中是否出现饱和点,如果出现饱和点,利用该饱和点之前曝光时间的图像中对应位置处的灰度值和曝光时间,对神经网络训练,实现非线性回归,利用神经网络获取对应饱和点在之后的曝光时间的灰度值,替换饱和的灰度值,生成超动态图像。

    基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法

    公开(公告)号:CN113432551A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110714591.9

    申请日:2021-06-25

    Abstract: 一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,属于微小零件非接触形貌测量技术领域。本发明为解决现有微小零件的三维形貌很难获得精确测量的问题。包括:将被测目标固定在三维电动平移台的z轴升降台上,视觉测头固定在二维转台上,并使被测目标的中心位于二维转台的两轴线交点处,将两轴线交点处作为坐标原点,使视觉测头的光轴通过坐标原点;控制二维转台旋转带动视觉测头绕坐标原点二维旋转扫描,实现对被测目标的三维形貌观测。本发明可实现微小零部件表面三维形貌精确测量。

    微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN104390603B

    公开(公告)日:2017-06-06

    申请号:CN201410663749.4

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法,属于微球面型检测技术领域。本发明是为了解决现有短相干移相点衍射干涉测量方法的干涉场对比度差,影响测量精度的问题。装置包括短相干激光器、第一λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第一平面镜、第二角锥棱镜、PZT移相器、延迟平台、第二λ/2波片、光纤耦合镜、单模保偏光纤、会聚透镜、针孔镜、第一准直透镜、λ/4波片、显微物镜、第二平面镜、第二准直透镜、偏振片、面阵CCD和计算机;方法采用λ/4波片结合偏振片的光路结构,对干涉场内的光束进行选择,降低其中的直流分量,提高干涉条纹的对比度,实现对比度的优化可调。本发明用于微球面型检测。

    微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN104390603A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201410663749.4

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法,属于微球面型检测技术领域。本发明是为了解决现有短相干移相点衍射干涉测量方法的干涉场对比度差,影响测量精度的问题。装置包括短相干激光器、第一λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第一平面镜、第二角锥棱镜、PZT移相器、延迟平台、第二λ/2波片、光纤耦合镜、单模保偏光纤、会聚透镜、针孔镜、第一准直透镜、λ/4波片、显微物镜、第二平面镜、第二准直透镜、偏振片、面阵CCD和计算机;方法采用λ/4波片结合偏振片的光路结构,对干涉场内的光束进行选择,降低其中的直流分量,提高干涉条纹的对比度,实现对比度的优化可调。本发明用于微球面型检测。

    一种基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法

    公开(公告)号:CN104330027A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410658169.6

    申请日:2014-11-18

    Abstract: 一种基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法,本发明涉及基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法。本发明的目的是为了解决(1)现有线性移相误差普遍存在于各类干涉系统中,影响位相信息提取精度;(2)现有线性误差超过5%时,位相提取误差急剧增大;(3)以及现有公式繁琐,运算量大,包含乘方开方运算,易出现虚数位相解和超大误差点的奇异位相解情况的问题。具体是按照以下步骤进行的:步骤一、传统五帧算法表达形式;步骤二、采用与传统五帧算法相同帧序的光强,代入构造的新五帧算法,得到新五帧算法的位相信息,构造的五帧算法形式;步骤三、构造了误差互补五帧算法。本发明应用于光学检测空间物体三维形貌的技术领域。

    一种基于辐射标定的亚像素光学元件损伤在线检测方法

    公开(公告)号:CN103389310A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201310328928.8

    申请日:2013-07-31

    Abstract: 一种基于辐射标定的亚像素光学元件损伤在线检测方法,本发明涉及光学元件在线检测领域,尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决现有在线检测方法不能得到在线检测图像中损伤的高精度尺寸的问题。一、建立样本集;二、估算样品集非离群点概率ε;三、从样本集D中随机抽取M组小样本;四、通过交叉验证法建立一系列LSSVM回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};五、通过样本集D,选取合适的误差评价函数Z(x)逐一验证回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};六、得到全部损伤区域的高精度亚像素尺寸。本发明应用于光学元件在线检测领域。

Patent Agency Ranking