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公开(公告)号：CN103048889B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210551511.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，包括CO2激光器、偏振转换组件、激光放大器以及极紫外光产生与收集装置，其中：所述CO2激光器用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件用于将主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由激光放大器功率放大后，输出至极紫外光产生与收集装置；所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。通过本发明，能够在相对较低的激光功率和脉宽水平下，也能以较高的转换效率来获得极紫外光，而无需构建复杂的主振放大系统，由此能够以低成本、便于操控的方式来获得光刻用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN103513519A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310419936.3
申请日：2013-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置的监控系统，包括二个探测光源、二个四象限光电探测器、信号处理器、信号控制器和二维电位移台；二维电位移台用于放置喷嘴，设液滴喷嘴喷射方向为Z轴，第一探测光源和第一四象限光电探测器配合用于检测X方向的偏移，第二探测光源和第二四象限光电探测器配合用于检测Y方向的偏移；第一四象限光电探测器和第二四象限光电探测器分别与信号处理器电连接，信号处理器将四象限光电探测器的输出信号进行处理后反馈给信号控制器用于对二维电位移台进行控制调节，以控制液滴喷嘴位置，保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射。该装置能够保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射，提高EUV产生效率。
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公开(公告)号：CN103235487A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310103346.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法及其装置，该方法采用功率大于1KW的激光束连续作用于匀速运动的线状靶材底部，使靶材熔化瞬间产生连续的液滴。装置包括电机、聚焦透镜、真空室和入射光窗；真空室侧壁上设入射光窗；工作时，电机用于控制靶材作匀速运动，聚焦透镜位于入射光窗与靶材之间，靶材底部与透镜的光轴位于同一直线上。靶材的直径≤50um；靶材优选锡丝；锡液滴的直径仅为30～50um。本发明结构简单，易于实现，避免了喷射式液滴发生器实现液滴喷射时要求的高压恒温系统和振动系统，和对喷嘴器材抗腐蚀性的高要求。本发明不仅可作用于熔点较低的金属材料，还可适用于高温难融的金属靶材，扩大了靶材的选择范围。
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公开(公告)号：CN103217869A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310105336.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种用于激光等离子体极紫外光源的雾状液体锡靶发生器，包括容器、振杆、喷嘴、加热系统、加压系统和冷却机构；喷嘴上有以喷嘴中心为对称点呈中心对称且均匀分布的微孔，微孔出口端的直径大于入口端的直径，各微孔从不同的角度指向到激光作用点。加热系统让在常温下呈固态的锡材熔化成为液态；振杆的振动使液体由连续液流碎裂成液滴；加压系统用来给容器加高压，让液体从喷嘴极小的微孔中喷出并形成浓雾状；激光束通过透镜的聚焦打在汇聚的液体喷雾上产生EUV辐射；真空系统通过机械泵将靶室内抽真空。本发明喷射靶靶材喷射距离远，对喷嘴和收集镜等光学元件的影响小，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，更适合工业上大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103163743A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310062528.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于激光技术领域，公开了一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法，该产生装置包括真空腔室以及位于真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；还包括驱动光源和辅助光源；辅助光源用于产生辅助激光，辅助激光辐射所述固体靶材并使得固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；电机用于带动固体靶材旋转，驱动光源用于产生驱动激光，驱动激光通过聚焦镜聚焦后辐射固体靶材的热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。本发明由于采用辅助光源来加热固体靶材，使得整个装置简化、实现方式简单且扩大了靶材材料的选择范围。
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公开(公告)号：CN102980739A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210423106.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；探测光接收系统包括四象限光电探测器，其光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。本发明结构简单，操作方便，采用四象限光电探测器简化了实验装置，通过其光斑中心的移动来判断激波的扰动大小和传播方向，提高了探测的灵敏度；同时采用双色镜将探测光束与脉冲气体激光器的激光相分离，激光振荡同时获得实时的测试结果，避免了无激光谐振腔测试放电区热沉积偏高的缺陷。
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公开(公告)号：CN101562321B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200910062019.8
申请日：2009-05-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H02G7/16
Abstract: 本发明公开了一种野外悬空线路的脉冲激光除冰方法。该方法是将脉冲CO2激光束经聚焦透镜聚焦后在覆冰表层形成约5mm～5cm的光斑，使覆冰表层吸热脆裂，所述脉冲CO2激光束的激光单脉冲能量为50～1000J，脉冲宽度为1μs～2μs，峰值功率大于等于106W。本发明采用高峰值功率的脉冲激光辐照覆冰，覆冰在激光辐照下瞬时升温，在表面和内部产生极大的温度梯度和应力，当应力超过覆冰的断裂强度时，覆冰产生裂纹，导致脆裂，在重力作用下，覆冰脱落，达到除冰的目的。
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公开(公告)号：CN101854019A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010201022.6
申请日：2010-06-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了一种激光器同轴非稳腔的输出窗口冷却装置，该冷却装置包括高速气流产生器(1)、连接管(2)、涡流管(3)、气流管(5)和窗口固定装置(6)，该窗口固定装置(6)具有环形槽(10)，多个节流孔(11)均布于该环形槽(10)内，所述高速气流产生器(1)产生的气流通过连接管(2)输入涡流管(3)，气流在涡流管(3)中一部分转化为冷却气流，该冷却气流经过气流管(5)和环形槽(10)内的节流孔(11)均匀喷射到所述激光器同轴非稳腔输出窗口上，实现对激光器同轴非稳腔输出窗口的冷却。本发明系统体积小、稳定性好、维护方便和可无限制连续工作，可以非常有效地控制镜面热畸变的大小。
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公开(公告)号：CN203849516U
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201320878314.2
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本实用新型与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
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