多焦全息差动共焦超长焦距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101852676B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201010173346.3

    申请日:2010-05-10

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多焦全息差动共焦超长焦距测量方法与装置。该方法先利用差动共焦系统对多焦全息透镜的长焦距值进行校准,减小测量的系统误差;然后利用差动共焦响应曲线过零点时被测超长焦距透镜焦点与多焦全息透镜一阶焦点相重合的特性,实现对超长焦距透镜焦距的测量。装置包括点光源、第一分光镜、准直透镜、多焦全息透镜和差动共焦系统;其中第一分光镜、准直透镜和多焦全息透镜依次放在光线的出射方向,差动共焦系统放置在第一分光镜的反射方向,多焦全息透镜和第一分光镜将光束反射至差动共焦系统,并配合差动共焦系统实现对由被测超长焦距透镜出射的差动共焦光锥顶点的精确定位。具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强等优点,可用于超长焦距的高精度测量。

    共焦透镜中心厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101788271A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN201010128449.8

    申请日:2010-03-17

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦透镜中心厚度测量方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理分别确定透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响;该装置包括分光系统、物镜、共焦系统、测长系统和移动导轨;其中分光系统、物镜和被测透镜依次放在准直光源出射光线方向,共焦系统放置在分光系统反射方向,被测透镜表面与分光系统将光束反射至共焦系统,并配合共焦系统实现被测透镜前表面顶点和后表面顶点的精确定位,实现了透镜中心厚度的非接触高精度测量。

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