-
公开(公告)号：CN102205940A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110103286.2
申请日：2011-04-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及的是一种在通电状态下工作的双金属电热致动器，具体的说是电热致动器由主体三层材料构成，上下两层热膨胀系数差异较大的材料和一种夹在热膨胀系数较大材料中间的电加热层材料，为了配合MEMS加工工艺，并且提高结构效率，本发明最终由八层材料构成，所用到的加工工艺包括淀积、光刻、蒸镀/溅射、掺杂、切割。本发明工作过程是通电使电加热层产生焦耳热使双金属电热致动器在上下两层材料的热膨胀系数之差的作用下产生片外的翘曲变形，以此达到致动目的。本发明是一种在恶劣环境下可反复利用的、低功耗的、快速响应的，变形较大的电热致动器。
Search Results
31
records
(took 0.015 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
