-
公开(公告)号：CN100376683C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200510011180.4
申请日：2005-01-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种微型聚合酶链式反应(PCR)芯片系统及其制备方法，涉及生物微机电系统技术领域。该PCR芯片包括若干个用于DNA扩增的阱式反应池，反应池通过若干流道与进出液口连接。在芯片上集成微加热器和微传感器，通过温度循环控制系统进行DNA扩增。可以在该芯片上设置微泵，在反应池入口处设置微阀，用于DNA引物的导入及反应池间的隔离。也可以在上述系统中设置荧光激发光源、荧光探测装置及荧光信号检测分析系统进行PCR产物的荧光在位检测。采用MEMS技术加工技术或微模型制备该芯片系统，该生物芯片系统提供了高通量和快速的DNA扩增手段，并具有便于携带、成本低和性能可靠的优点。
-
公开(公告)号：CN100356071C
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200410009702.2
申请日：2004-10-25
Applicant: 北京大学
IPC: F04F5/00
Abstract: 本发明提供了一种微型射流泵及其制备方法，泵体包括驱动结构和抽吸结构，驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成，驱动腔上设有驱动流体人口孔，抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口，射流喷嘴位于扩散出口处，抽吸流道设在射流喷嘴的两侧，高压驱动气体或液体经过驱动流体人口孔进入驱动腔，在射流喷嘴出口处产生高速射流，同时在其边界处产生涡旋，涡旋卷吸抽吸流道内的流体进入射流，两种不同流速的混合流体共同流入扩散出口。微型射流泵的制备利用MEMS工艺设计，通过两张光刻版就可以实现，泵体材料的可选择范围大、易于和大多数微流体系统集成。
-
公开(公告)号：CN1844681A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200510011534.5
申请日：2005-04-07
Applicant: 北京大学
IPC: F04F9/00
Abstract: 本发明提供了一种微型扩散泵及其制备方法，微型扩散泵主要包括：泵腔室、单向阀、泵入口、泵出口及泵腔室内的驱动结构，单向阀分别位于泵腔室与泵入口之间和泵腔室与泵出口之间，单向阀为正反向流量不同的楔形扩散管，泵腔室内流体在一定驱动方式下膨胀和收缩产生压力差，依据流体在楔形扩散管内的正反流压力不同的性质，在泵体内产生单向连续输运流体的作用。本发明提供的微型扩散泵可采用抽吸气体而驱动液体和直接驱动液体两种工作方式。微型扩散泵的制备基于硅微机械加工技术及微模型技术，制备工艺简单、加工成本低、可靠性好、易于与大多数微流体系统集成，在微流控分析芯片领域具有广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN1683586A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN200410033637.7
申请日：2004-04-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种氧化锡纳米敏感薄膜制备方法，属于气敏传感器的敏感材料制备领域。本发明采用磁控反应溅射方法使金属锡氧化，在硅片上生成锡的纳米量级氧化物薄膜，再进一步氧化、退火，即可制造出纳米晶粒氧化锡薄膜，该氧化锡纳米敏感薄膜具有氧化锡颗粒度小，比表面积大，厚度均匀(误差在纳米量级)等特点，且表面平整度高，在100倍显微镜下观察没有裂痕，有利于提高气敏传感器的灵敏度和稳定性，通过溅射时间严格地控制膜厚，可重复性高，适合于批量生产。本发明与集成电路工艺相兼容，污染小，极大地降低气体传感器的生产成本，扩展了传感器的应用领域。
-
公开(公告)号：CN1601115A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN200410009702.2
申请日：2004-10-25
Applicant: 北京大学
IPC: F04F5/00
Abstract: 本发明提供了一种微型射流泵及其制备方法，泵体包括驱动结构和抽吸结构，驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成，驱动腔上设有驱动流体人口孔，抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口，射流喷嘴位于扩散出口处，抽吸流道设在射流喷嘴的两侧，高压驱动气体或液体经过驱动流体人口孔进入驱动腔，在射流喷嘴出口处产生高速射流，同时在其边界处产生涡旋，涡旋卷吸抽吸流道内的流体进入射流，两种不同流速的混合流体共同流入扩散出口。微型射流泵的制备利用MEMS工艺设计，通过两张光刻版就可以实现，泵体材料的可选择范围大、易于和大多数微流体系统集成。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117109796A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311008197.9
申请日：2023-08-10
Applicant: 北京大学
IPC: G01L5/1627
Abstract: 本发明公开一种单片式MEMS六轴力传感器及其制备方法，该六轴力传感器包括支撑框架、位于六轴力传感器中央的受力块、位于支撑框架和中央受力块间的弹性体、以及嵌于弹性体和支撑框架中的力敏电阻，所述弹性体包括上下两层，其中一层中的力敏电阻构成3组惠斯通电桥，用于测量三个正交力Fx、Fy、Fz；另外一层中的力敏电阻构成另外3组惠斯通电桥，用于测量三个正交力矩Mx、My、Mz，上下两层弹性体之间直接叠加或者采用空气层隔离，所测维度力或力矩的力敏电阻布置在弹性体在该力或力矩作用下的产生的最大应力处，而在其他五个维度力或力矩作用下，该维度的惠斯通电桥输出基本无变化。本发明具有更高检测精度和响应速度。
-
公开(公告)号：CN115118238A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110309835.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 北京大学
IPC: H03F3/45
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI工艺的斩波仪表放大器电路,属于集成电路领域。本发明包括斩波调制开关和运算放大器，所述斩波调制开关由SOI NMOS器件和SOI PMOS器件组成，本发明采用部分耗尽SOI器件进行MOS器件的制备，容易调整MOS器件的阈值电压，工艺可操作性高，同时部分耗尽SOI器件在抑制短沟效应和抑制沟道泄漏电流方面有更卓越的表现，在实现多阈值电压和制作体接触方面也体现了充分的便利性。且SOI CMOS的工艺步骤相比体硅CMOS的工艺步骤简单，提高电路的稳定增益和精度。
-
公开(公告)号：CN114696110A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210328361.3
申请日：2022-03-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种偏轴太赫兹超表面反射透镜，属于太赫兹技术领域。该偏轴太赫兹超表面反射透镜包括按一定规则排布的谐振单元阵列；调整谐振单元的结构和尺寸，使其反射相位在0～2π之间梯度改变；对偏轴太赫兹超表面反射透镜的相位进行多级离散化，得到离散后的相位值；利用不同相位的谐振单元和偏轴太赫兹超表面反射透镜的相位分布关系，根据偏轴太赫兹超表面反射透镜特性要求排布谐振单元阵列；当太赫兹波入射到谐振单元阵列反射后，在焦平面上即可形成偏轴聚焦光斑，从而减小反射太赫兹波聚焦时的球差和色差。本超表面反射透镜体积小、制备成本低，可为实现太赫兹系统的小型化应用提供有效手段。
-
公开(公告)号：CN111525273B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010391879.2
申请日：2020-05-11
Applicant: 北京大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹超表面贝塞尔透镜，属于太赫兹技术领域。该太赫兹贝塞尔透镜的超表面包括若干个谐振子阵列单元，每个谐振子的特征尺寸是亚工作波长，谐振子阵列单元的设计为：对太赫兹贝塞尔透镜的相位进行多级离散化，得到离散后的相位值；利用离散后的相位值和太赫兹贝塞尔透镜的相位分布关系仿真得到谐振子阵列单元的特征尺寸；若谐振子阵列在一个维度上的谐振子结构和尺寸相同，在另一个维度上的谐振子结构和尺寸则不同，或者，所述谐振子阵列在两个维度上的谐振子结构和尺寸均不同。本发明提供的太赫兹贝塞尔透镜易于调节参数、制备工艺简单，极薄、尺寸小，容易实现集成化和微型化。
-
公开(公告)号：CN102148613B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201010107920.5
申请日：2010-02-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种固体介质层谐振器及其制备方法，该固体介质层谐振器的驱动电极和传感电极的极板为梳齿状结构，内嵌在谐振体结构中，谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离。该谐振器的制备基于微机械加工工艺，与IC工艺兼容；梳齿状的极板结构增大了传感和驱动电极的面积，从而减小了其输入输出阻抗，增加了器件的匹配能力和信噪比；固体介质层的应用使电容极板间隙宽度容易控制，避免了空气介质造成的阻尼；本发明的固体介质层谐振器工作在体模态，在空气中即可高频、高Q值工作。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
57
records
(took 0.019 seconds)
