公开(公告)号：CN108982021A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810772049.7

申请日：2018-07-13

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  刘志宏 ,  齐京 ,  杨传森 ,  田虎林 ,  董云宁 ,  闫睿 ,  延峰

IPC: G01M3/20

CPC classification number: G01M3/202 ,  G01M3/207

Abstract: 本发明是一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。