一种提高离子传输率的场轴减速方法

    公开(公告)号:CN119517726A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411641443.9

    申请日:2024-11-18

    Abstract: 本发明涉及一种提高离子传输率的场轴减速方法,属于质谱检测的离子源引出离子控制技术领域。通过增加离子离开离子源时的动能,使其迅速通过分析器边缘场,缩短停留时间,从而减少在边缘场中离子的散射损失。本发明的特点是提高了离子源离子的出射速度,使离子能够以高速通过分析器边缘场,使更多离子能够进入分析器,同时也减小了边缘场对不同质荷比离子影响的差异,改善了质量歧视效应。本发明可以用于各类质谱分析仪器的设计。通过为离子源增加了正偏置电压,提高了离子运动速度,能够迅速通过边缘场;通过为分析器增加一定的偏置电压,使离子进入分析器时动能降至所需动能,满足分析器离子分离要求。

    一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置

    公开(公告)号:CN118999890A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411266037.9

    申请日:2024-09-10

    Abstract: 本申请涉及真空计量技术领域,具体而言,涉及一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置,包括测量参考光路系统、测量检测光路系统、腔增强拉曼检测光路系统以及频率计,其中:测量参考光路系统由参考光路组件和第一锁频电路组成;测量检测光路系统包括检测光路组件和第二锁频电路;腔增强拉曼检测光路系统与测量检测光路系统共用一套检测光路组件,腔增强拉曼检测光路系统还包括拉曼光谱检测组件;频率计设置在测量参考光路系统和测量检测光路系统之间。本申请在光学干涉低真空测量装置中引入腔增强拉曼检测技术,可以对未知气体种类进行定性检测以及对极性气体的压力进行检测。

    一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法

    公开(公告)号:CN118347633A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410687877.6

    申请日:2024-05-30

    Abstract: 本申请涉及一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法,包括:校准气源、微调阀、取气室、标准真空计、第一截止阀、第二截止阀、第三截止阀、第四截止阀、第五截止阀、膨胀室、第一抽气系统、第二抽气系统、校准室、毛细管元件、第一被校真空计、第二被校真空计、第三被校真空计、限流元件。本申请所述的一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法,利用连续两次压力衰减系统将气体压力经过两级压力衰减后获得标准压力,并将标准压力与被校真空计的读数作比较,从而实现双压力衰减法校准真空计;方法简单易行且成本低,能够用于不同量级、多种校准气体的真空计的校准,并延伸了真空校准的下限,还可实现同步对多台被校真空计进行校准的目的。

    一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统

    公开(公告)号:CN117213704A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311055430.9

    申请日:2023-08-21

    Abstract: 本申请涉及真空测量技术领域,具体而言,涉及一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统,包括高温烘烤罩、热电偶丝、复合真空计以及抽真空装置,其中:热电偶丝设置在高温烘烤罩的内壁上;待封装真空计设置在高温烘烤罩的内部;抽真空装置包括第一抽真空装置和第二抽真空装置;复合真空计包括第一复合真空计和第二复合真空计,第一复合真空计与高温烘烤罩连通;第二复合真空计与第二抽气管路连通;高温烘烤罩的外壁上还设置有放气阀。本申请能够同时实现电容薄膜真空计传感器参考腔内部吸气剂的加热激活以及参考腔的最终封装,降低了电容薄膜真空计制造成本,减少了不必要的工艺环节,提高了整体的生产效率。

    一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法

    公开(公告)号:CN116858448A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310636131.8

    申请日:2023-05-31

    Abstract: 本申请涉及真空泄漏检测技术领域,具体而言,涉及一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法,所述装置包括低真空累积检漏组件、示漏气体取样组件、示漏气体质谱分析组件以及抽空机组,其中:低真空累积检漏组件通过电磁阀和电动阀与抽空机组连接;示漏气体取样组件用于低真空气体的引出,设置在低真空累积检漏组件与示漏气体质谱分析组件之间;示漏气体质谱分析组件通过电动阀与抽空机组连接;抽空机组用于示漏气体的抽除以及提供真空条件。本申请将低真空累积、限流小孔取样和选择性抽气、分压力测量结合起来,在高灵敏度检漏的同时,显著缩短了检漏时间,解决了传统检漏方法中存在的检漏灵敏度越高要求检漏时间越长的缺点。

    一种复合型电容薄膜真空计
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116659741A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310635946.4

    申请日:2023-05-31

    Abstract: 本申请涉及真空测量技术领域,具体而言,涉及一种复合型电容薄膜真空计,本申请提供了一种复合型电容薄膜真空计,包括真空计机架和真空计模块,其中:真空计机架的整体为立方体结构,内部为空腔结构;真空计机架的底面上设置有进气口,其他5个面上均设置有真空计模块;真空计模块为圆柱体结构,每个真空计模块的测量腔均与真空计机架内部的空腔连通。本申请总体积小,重量轻,在多个量程段均具有较高的测量精度,共用同一组电路系统,易于检测,成本低,实现了真空计的模块化设计,能够根据实际应用情况进行真空计模块个数与类型的选择。

    一种储存式离子源
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112599397B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202011478875.4

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本申请涉及真空电子学技术领域,具体而言,涉及一种储存式离子源,包括阴极、电子聚焦系统、电离室以及电子收集极,其中:电子聚焦系统设置在阴极的上方,阴极产生的电子通过电子聚焦系统形成电子束流;电离室设置在电子聚焦系统与电子收集极之间,电离室的两侧设置有栅网,电离室与栅网之间形成均匀电场;电子束流通过均匀电场电离后,被电子收集极接收。本申请利用电子的空间电荷效应囚禁储存离子,使得离子的初始状态具有良好一致性,在引出离子源时,离子束的稳定性和均匀性得到很大提升。

    冷原子超高真空混合气体分压力测量装置及方法

    公开(公告)号:CN115950785A

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202310066652.4

    申请日:2023-01-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于冷原子技术测量超高真空混合气体分压力的装置及方法。本发明依据势阱中陷俘的冷原子因背景气体粒子碰撞引起的规律性衰减能反演出气体粒子密度的理论,以及不同气体粒子与冷原子的速度热平均碰撞截面随势阱深度具有确定且独立变化趋势的特性,提出构建不同阱深条件下总碰撞损失率关于混合气体分密度的多变量线性回归方程组,来分析不同阱深条件下冷原子团总损失率的变化,从而分离出混合气体中各成分的种类和密度,确定出每种成分的分压力。本发明方法避免了传统质谱计在电离过程带来诸多效应而引起测量不确定度,且基于冷原子的基本物理特性,具有无需校准、对测量环境无扰动、准确度高、不同时间不同地点可复现等优势。

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