公开(公告)号：CN104181768A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410227550.7

申请日：2014-05-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐藤浩司 ,  樋浦充

IPC: G03F7/00 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  G03F7/70775 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/708 ,  G03F9/7088

Abstract: 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括：在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；并且形成包括压印材料上标记的图案，其特征在于，使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记，直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止，从而获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。

公开(公告)号：CN102200687A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110071162.0

申请日：2011-03-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐藤浩司 ,  稻秀树

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及压印设备和制造物品的方法。一种在涂布在基板上的树脂与模子的图案表面彼此接触的同时使所述树脂固化的压印设备包括：供应部分，被配置为向所述模子的图案表面面向的空间供应气体，所述气体用于加速用所述树脂填充所述模子的图案表面的凹陷部分；以及控制器，被配置为控制所述供应部分以便在使所述树脂与所述模子的图案表面彼此接触之前向所述空间供应气体，其中所述供应部分被配置为经由在所述模子的至少一部分中形成的多孔部分来向所述空间供应气体。