-
公开(公告)号：CN116991935A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202311175361.5
申请日：2023-09-13
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F16/26 , G06F16/2455 , G06F16/2458 , G06F16/22 , G06F16/34 , G06F18/22 , G06F18/25
Abstract: 本发明涉及一种多模态数据交互方法、设备、存储介质，包括如下步骤：输出包括节点选择界面以及数据流画布的可视化信号，获取用户选择多模态数据节点及分析节点，针对分析节点进行解析生成匹配的输出子节点，将所述数据节点、分析节点以及输出子节点添加至所述数据流画布中；获取数据流画布中节点间的连接关系并在所述数据流画布中显示，配置所述分析节点的输入参数，完成数据分析流的创建；获取用户选择的所述数据分析流中的输出子节点，输出与选择输出子节点的数据类型匹配的模态数据可视化信号。与现有技术相比，本发明能够充分挖掘多模态数据间的关联关系、交互简单、整体数据分析效率高的优点。
-
公开(公告)号：CN116564874A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310536828.8
申请日：2023-05-10
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/683
Abstract: 本申请涉及一种晶圆载台和设备。晶圆载台包括转接板、真空吸盘和气动阀块。转接板，包括吸附表面和安装表面。所述转接板还包括贯穿的真空孔以及设置于所述安装表面的凹入部。真空吸盘设置于所述吸附表面，与所述转接板可拆卸连接。气动阀块设置于所述凹入部。所述气动阀块由三维打印生成，内部包含可分配真空负压的气路。通过将气道内置在气动阀块中，可以避免在晶圆载台内的狭小空间中安装气管和气动接头，显著降低了安装难度，同时使得结构变得紧凑，明显减小了晶圆载台的体积。
-
公开(公告)号：CN116452668A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202211600169.1
申请日：2022-12-13
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种相机安装角度的校正方法。从相机安装角度倾斜引起的图像变换特征出发，根据相机类型对成像图像做仿射变换的逆变换，通过求取对应坐标点距离极小值对应的倾斜角度或旋转角度，从而获得相机安装倾斜的角度。本发明方法对校正图像安装角度无特殊要求，同时适用于线阵相机和面阵相机的安装角度校正，能够通过自动化程序实现在线高效相机安装角度计算和校正。
-
公开(公告)号：CN116399880A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310236806.X
申请日：2023-03-13
Abstract: 本发明涉及一种晶圆缺陷检测系统，具体涉及一种在线光谱缺陷检测系统及其检测方法，包括暗场光源、待测件、物镜、筒镜和成像机构；还包括半反半透镜、扩束镜、二维振镜、准直透镜、二向色镜、激光光源和光学检测机构；半反半透镜可动的设置于物镜与筒镜之间，且位于荧光的光路的同一水平面内。与现有技术相比，本发明解决现有技术中需要频繁更换滤光片以及每次更换滤光片后需要重新完整扫描的缺陷，实现了在线对重点关注缺陷进行快速荧光光谱分析，有效提高检测效率，并能够降低定位差错的情况。
-
公开(公告)号：CN116233610A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211604243.7
申请日：2022-12-13
Applicant: 之江实验室
IPC: H04N23/695 , H04N23/73
Abstract: 本发明公开了一种相机高速成像装置及方法。借鉴TDI相机的时间延迟积分实现原理，将面阵相机固定到运动机构上并使其运动速度匹配物方检测工件的运动速度，使得面阵相机的成像面与检测工件成像区域的像面图像相对静止，从而增加相机曝光积分的时间，提高相机的成像对比度。相比于常规的面阵相机固定安装成像方式，在避免运动模糊的前提下，其最多只能实现相机单像素对应物方视场尺寸所需运动耗时的曝光时间；本发明通过添加相机同步运动机构，能够在不降低检测效率的前提下，将相机的曝光时间提升二至三个数量级。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115389526A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202111586731.5
申请日：2021-12-22
IPC: G01N21/952 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种球形弯曲表面缺陷检测系统及检测方法，包括：夹持旋转模块，检测模块，所述检测模块包括光源，明场成像单元和暗场成像单元。S1：使用夹持旋转模块夹持被测镜片；S2：所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片并以所述夹持旋转模块的中心轴旋转，同时所述检测模块以所述被测镜片的上表面球面球心偏转；或所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片以所述夹持旋转模块的中心轴旋转，同时所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片以所述被测镜片的上表面球面球心偏转；S3：所述暗场探测元件和所述明场探测元件将光信号转化为电信号。本发明检测球面的光学镜片，不仅适用于平面或者大曲率半径的球面，还适用于小曲率半径的球面，适应性强，检测精度高。
-
公开(公告)号：CN115375590A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211326022.8
申请日：2022-10-27
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
-
公开(公告)号：CN114371148A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202210057225.5
申请日：2022-01-19
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。
-
公开(公告)号：CN112505064A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011506981.9
申请日：2020-12-18
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。
-
公开(公告)号：CN118631347A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411119253.0
申请日：2024-08-15
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于液晶偏振光栅的自由空间激光通信收发装置和方法，所述装置包括发射天线和接收天线，分别由快反镜、#imgabs0#波片、#imgabs1#波片和LCPG组构成且镜像放置。LCPG组对圆偏振光进行相位调控，形成相控阵波面实现光束偏转且偏转角度与液晶分子排列周期成反比，左右旋圆偏振光的偏转角度相等但偏转方向相反。单片可控半波片和单片液晶偏振光栅构成LCPG单元，可实现圆偏振光偏转一个单位角度且偏转方向可在#imgabs2#级之间切换。LCPG组和快反镜的扫描频率不小于100Hz，可实现快速扫描、捕获和跟踪。与转塔型收发天线相比，本发明具有重量轻、速度快、功率低、体积小等优点，可广泛应用于自由空间激光通信、激光雷达等系统。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
64
records
(took 0.024 seconds)
