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公开(公告)号:CN116749074A
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN202310766850.1
申请日:2023-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院 , 珀丽诗(河南)文化科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种改善透光晶圆厚度均匀性的方法及装置,其方法包括以下步骤:步骤一,进行CMP预抛光实验,测得晶圆材料去除率与各区域LED点光源功率及各喷头流量的变化关系;步骤二,采用测厚仪对晶圆膜厚进行多点在线检测;步骤三,根据膜厚监测的结果,对修正区抛光液的分布及LED点光源的功率进行控制,进而改变晶圆局部区域的材料去除率;步骤四,重复步骤二和步骤三,采用PID控制系统进行控制,直至将晶圆厚度均匀性控制在技术要求范围内。根据膜厚的检测结果,可通过调控较厚区域附近的LED点光源的光照强度和温升来提升晶圆CMP抛光的材料去除率,进而改善晶圆膜厚的均匀性。
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公开(公告)号:CN116043162A
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202310218362.7
申请日:2023-03-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明公开了一种钛合金切削刀具表面纳米复合结构涂层及其制备方法,具体涉及切削用刀具防护涂层领域。所述涂层包括设置在刀具基底上的致密纳米晶结构金属连接层;在致密纳米晶结构金属连接层上设置的致密纳米晶结构陶瓷梯度过渡层;在致密纳米晶结构陶瓷梯度过渡层上设置的致密CrSiN纳米复合结构强化支撑层;在致密CrSiN纳米复合结构强化支撑层上设置多层周期功能层。本发明提供的纳米复合结构涂层兼具优良的膜‑基结合强度与较高的力学性能,显著减少切削加工过程中涂层的开裂与剥落;多层周期功能层的设置大幅降低了刀具表面的粘着和磨损,提升刀具的切削加工性能,使得涂层刀具的使用寿命比未镀涂层的刀具基底提升10倍以上。
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公开(公告)号:CN115011255B
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202210733540.5
申请日:2022-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂,本发明涉及单晶金刚石抛光剂的制备技术领域。本发明要解决现有方法针对单晶金刚石各向异性,并满足不同原子面抛光需求。抛光剂由包覆石墨烯的纳米金属颗粒、溶剂、分散剂、pH调节剂和表面活性剂合成。在抛光过程中,本发明制备的抛光剂可以催化单晶金刚石石墨化、促进化学效应、削弱机械作用带来的金刚石表面解理剥落、减少大颗粒金刚石磨屑的形成,防止对抛光面造成二次损伤。制备抛光剂颗粒分散性好,能提升单晶金刚石的抛光效率和抛光精度,通过调节抛光剂中纳米金属的种类、成分和含量,满足单晶金刚石不同原子面抛光工艺差异化要求。本发明抛光剂用于单晶金刚石的抛光。
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公开(公告)号:CN115011255A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210733540.5
申请日:2022-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂,本发明涉及单晶金刚石抛光剂的制备技术领域。本发明要解决现有方法针对单晶金刚石各向异性,并满足不同原子面抛光需求。抛光剂由包覆石墨烯的纳米金属颗粒、溶剂、分散剂、pH调节剂和表面活性剂合成。在抛光过程中,本发明制备的抛光剂可以催化单晶金刚石石墨化、促进化学效应、削弱机械作用带来的金刚石表面解理剥落、减少大颗粒金刚石磨屑的形成,防止对抛光面造成二次损伤。制备抛光剂颗粒分散性好,能提升单晶金刚石的抛光效率和抛光精度,通过调节抛光剂中纳米金属的种类、成分和含量,满足单晶金刚石不同原子面抛光工艺差异化要求。本发明抛光剂用于单晶金刚石的抛光。
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公开(公告)号:CN114086137B
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202111368103.X
申请日:2021-11-18
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明公开了一种应用于航天器机构上的转动关节销子及其制备方法,所述转动关节销子包括销子本体,所述销子本体表面附着有固体润滑薄膜,所述固体润滑薄膜由内到外包括过渡层和面层;所述固体润滑薄膜的部分区域还包括位于面层外侧的石墨烯层;所述过渡层为Ti金属层;所述面层为Ti、Pb和MoS2组成的复合物层;所述固体润滑薄膜被石墨烯层覆盖的面积大于90%。本发明转动关节销子,其能够通过转动关节销子本体表面的固体润滑薄膜,能够降低滑动摩擦力,提高运动精度;能够减缓MoS2的氧化,可适应温度交变的较宽温域;在石墨烯经摩擦磨损产生细小磨粒后,摩擦形式由滑动摩擦转变为转动摩擦,更加有益于润滑。
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公开(公告)号:CN119497332A
公开(公告)日:2025-02-21
申请号:CN202311027311.2
申请日:2023-08-16
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开一种金刚石微通道散热器,它在金刚石内部设计出微通道散热结构,在金刚石的上表面上设有多个流体入口,每个流体入口对应有流体通道,金刚石的底部封闭,多个流体通道在下方相贯通。所述的流体通道在金刚石上沿横向纵向均匀排布,流体通道在下方按横向排列贯通,在金刚石内部下方形成多条混合通道。金刚石微通道散热器将微通道和射流冲击的技术结合起来,可以解决流动方向的散热不均、通道压降较大以及两相流动不稳定等问题,金刚石微通道散热器引入射流技术可以降低微通道内的空泡份额,又能够减小轴向温度梯度,使壁面温度分布更均匀,从而提升临界热流密度。
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公开(公告)号:CN118493963A
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202310114463.X
申请日:2023-02-15
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: B32B9/00 , B32B9/04 , B32B37/24 , B32B37/10 , B32B37/06 , B22F7/02 , B22F1/18 , C23C14/35 , C23C14/18
Abstract: 本发明涉及超硬材料及硬质材料技术领域,且公开了一种金属双镀层强韧梯度式聚晶金刚石复合片,包括碳化钨合金基底层,所述碳化钨合金基底层的顶部通过凸块和凹槽限位的方式固定有无镀层金刚石层,所述凸块和凹槽限位的方式有两种,所述无镀层金刚石层的顶部固定有镀覆金刚石与无镀层金刚石混合层,所述镀覆金刚石与无镀层金刚石混合层的顶部固定有镀覆金属金刚石层。该金属双镀层强韧梯度式聚晶金刚石复合片及其制备方法,通过碳化钨合金基底层4无镀层金刚石层3之间的两种限位连接方式,使金刚石层与合金基底层能承受更大径向载荷,有效防止金刚石层与合金基底层之间出现断层的现象。
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公开(公告)号:CN115096573B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202210755754.2
申请日:2022-06-30
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: G01M13/00
Abstract: 本发明公开了一种测试设备,测试设备包括:测试台;龙门架,所述龙门架跨设于所述测试台上;第一驱动装置,所述第一驱动装置适于夹持钻杆并带动所述钻杆转动,所述第一驱动装置可移动地设置于所述龙门架上;工况模拟装置,所述工况模拟装置设置于所述测试台上且位于所述第一驱动装置正下方;供水装置,所述供水装置适于向所述工况模拟装置供水;其中所述工况模拟装置包括:工况模拟箱,所述工况模拟箱内设置有适于容纳所述钻杆的容纳腔,所述供水装置适于向所述容纳腔内供水以模拟射流。根据本发明的测试设备可以表征在模拟在海洋钻井工下钻杆的疲劳强度、耐腐蚀和磨损寿命等,精度高可靠性好。
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公开(公告)号:CN116557077A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310502462.2
申请日:2023-05-06
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明提供了一种抗冲蚀的叶片榫头及其制备方法和应用。抗冲蚀的叶片榫头整体呈工字结构,工字结构顶部即为榫头尾部,呈倒三角形状;工字结构底部即为凸字形榫头,榫头两端呈弧形凸起;工字结构中柱部分包括:与榫头尾部连接的弧形缓冲区域,由线条L1、线条L2、线条L3组成的下箭头区域以及由线条L3与凸字形榫头组成的平滑过渡区域。所述弧形缓冲区域侧面开设有多个凹槽,以弧形缓冲区域外顶点为中心,沿水平方向上下对称分布。在榫头全部表面均喷涂PPS‑PTFE双层复合涂层,在榫头部分侧面额外喷涂一层PPS‑PTFE‑GO涂层。本发明制备得到的叶片榫头具有优异的抗冲蚀性能、耐磨损、疏水防冰效果和润滑能力,可作为飞机发动机风扇叶片榫头,应对各种服役环境。
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公开(公告)号:CN116043162B
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310218362.7
申请日:2023-03-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明公开了一种钛合金切削刀具表面纳米复合结构涂层及其制备方法,具体涉及切削用刀具防护涂层领域。所述涂层包括设置在刀具基底上的致密纳米晶结构金属连接层;在致密纳米晶结构金属连接层上设置的致密纳米晶结构陶瓷梯度过渡层;在致密纳米晶结构陶瓷梯度过渡层上设置的致密CrSiN纳米复合结构强化支撑层;在致密CrSiN纳米复合结构强化支撑层上设置多层周期功能层。本发明提供的纳米复合结构涂层兼具优良的膜‑基结合强度与较高的力学性能,显著减少切削加工过程中涂层的开裂与剥落;多层周期功能层的设置大幅降低了刀具表面的粘着和磨损,提升刀具的切削加工性能,使得涂层刀具的使用寿命比未镀涂层的刀具基底提升10倍以上。
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