公开(公告)号：CN111052873A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201780093717.7

申请日：2017-09-06

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 有田廉 ,  渡边谦资 ,  西村真一

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08

Abstract: 本发明的目的是提供一种抑制异常放电的发生的活性气体生成装置的构造。并且，在本发明的活性气体生成装置中，供电体(23)设在高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的上方，具有在俯视时将高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的整体覆盖的形状。供电部(33A及33B)分别设在接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的下方，具有在俯视时将接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的整体覆盖的形状。

公开(公告)号：CN109477220A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201680087274.6

申请日：2016-06-28

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 西村真一 ,  渡边谦资 ,  山田义人

IPC: C23C16/505 ,  C01B13/11 ,  H05H1/24

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够喷出均匀性高的活性气体的活性气体生成装置。而且，关于本发明的电介质电极(21)，在中央区域(R51)中沿着X方向设置相互沿着X方向形成为2列结构的气体喷出孔(31)～(37)和气体喷出孔(41)～(47)来作为3个以上的多个气体喷出孔。而且，通过在气体喷出孔31和气体喷出孔41的形成位置设置X方向的差分，2列结构的气体喷出孔(31)～(37)和气体喷出孔(41)～(47)沿着X方向而气体喷出孔(3i)与气体喷出孔(4i)交替地配置。

公开(公告)号：CN108292603A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680068427.2

申请日：2016-01-06

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 西村真一 ,  渡边谦资 ,  田畑要一郎

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/455 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够以超过马赫的超高速向处理对象衬底供给气体的气体供给装置。并且，本发明的气体供给装置的气体喷出器(1)具有喷嘴部(10)。构成喷嘴部(10)的第一段限制筒(13)的开口部截面形状呈直径r1的圆形。第二段限制筒(14)沿着Z方向与第一段限制筒(13)连续地形成，开口部截面形状呈直径r2的圆形，将从第一段限制筒(13)供给的原料气体(G1)向下方的低真空处理腔(18)进行供给。这时，直径r2被设定为满足“r2>r1”。

公开(公告)号：CN106797698A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201480082514.4

申请日：2014-10-29

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 渡边谦资 ,  田畑要一郎 ,  西村真一

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/50 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明的目的在于，在远程等离子体型成膜处理系统中，提供一种即便为例如大面积的被处理体、也能够均匀地实施使用原子团气体的处理的原子团气体产生系统。而且，在本发明的原子团气体产生系统(500)中，处理室装置(200)具有使被处理体(202)旋转的转台(201)。原子团气体生成装置(100)具有多个放电单元(70)。此外，放电单元(70)具有开口部(102)，该开口部(102)与处理室装置(200)内连接，且与被处理体(202)相面对，并且输出原子团气体(G2)。而且，在俯视观察下，越是远离所述旋转的中心位置而配设的放电单元(70)，越增大第一电极构件(1)与第二电极构件(31)对置的区域即对置面积。

公开(公告)号：CN104105659B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280069495.2

申请日：2012-08-30

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 田畑要一郎 ,  西村真一 ,  中村纪幸 ,  冲原雄二郎

IPC: C01B13/11 ,  B01J35/02

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J35/004 ,  B01J35/02 ,  C01B2201/10 ,  C01B2201/20 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整部(71)输出的氧气和从混合气体流量调整部(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。

公开(公告)号：CN103459308B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201180070004.1

申请日：2011-04-13

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 西村真一 ,  田畑要一郎

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/66 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元，该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且，在本发明中，气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来，形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。