无线无源传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN109443999A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811087497.X

    申请日:2018-09-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种无线无源传感器及其制作方法。包括:衬底;绝缘介质层,其设置在所述衬底沿其厚度方向的一侧;固定件,其设置在所述绝缘介质层背离所述衬底的一侧;电感组件,其与所述固定件连接,所述电感组件悬置在所述衬底上方,并且,所述电感组件背离所述衬底的一面用于承载待测微粒,以在所述待测微粒的作用下产生机械谐振和电磁谐振,以实现检测所述待测微粒的质量和介电常数。本发明的无线无源传感器,可以利用电感组件的机械谐振以及电磁谐振的特性,可以实现同时检测微粒的质量和介电常数。此外,无需引线和电池供电,能在密闭环境或旋转环境等恶劣环境中应用。为片上集成结构,具有体积小、功耗低和可批量生产的优点。

    一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器

    公开(公告)号:CN109253757A

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201811123851.X

    申请日:2018-09-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器,该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器,从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层,上金属层包括湿度敏感电容,中间金属层包括压力敏感电容,叉指电容式湿度传感器包括湿度敏感薄膜、湿度敏感电容与柔性基板,叉指电容式压力传感器包括柔性基板、压力敏感电容、介质层、下金属层与封装层。上述集成传感器通过将湿度敏感电容、压力敏感电容、两个平板电容与电感连接形成双谐振电路,实现对湿度、压力两个参数的实时无线监测,且两个频率信号互不干扰,测量精度高,能够适应更多环境。

    电感双端固支梁无线无源加速度传感器

    公开(公告)号:CN107765036A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201710886424.6

    申请日:2017-09-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种电感双端固支梁无线无源加速度传感器,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感双端固支梁结构(5)的两端与所述锚区结构(4)形成固定连接;所述电感双端固支梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述质量块(6)设置在所述电感双端固支梁(5)上方。本发明为片上集成结构,利用电感双端固支梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率,传感器的结构简单、可靠性高且易于加工;无需引线和电池供电,能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行加速度测量。

    热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

    公开(公告)号:CN106829850A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710034158.4

    申请日:2017-01-18

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: B81B7/02 B81B2201/02 B81C1/00023 G01P5/12

    Abstract: 本发明公开一种热温差型风速传感器,其特征在于:包括玻璃衬底、发热元件、至少两组感温元件和两组测温元件;其中,发热元件包括加热电感线圈和发热金属块,通过对加热电感线圈施加交流电使发热金属块发热。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法,以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器,实现正面感风的风速检测,提高风速传感器的灵敏度并降低功耗,同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术,成本低,易于产业化生产。

    一种基于热双层执行梁的LC式无源无线温度传感器

    公开(公告)号:CN105953934A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610264628.1

    申请日:2016-04-26

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01K7/00

    Abstract: 本发明提供了一种基于热双层执行梁的LC式无源无线温度传感器,包括平面电感线圈(1)、电容(2)和热双层执行梁(3);平面电感线圈(1)、电容(2)、热双层执行梁(3)串联形成回路,热双层执行梁(3)一端固定,另一端在平面电感线圈(1)上滑动形成电气连接;其中,热双层执行梁(3)包括上层梁(31)和下层梁(32),下层梁(32)的热膨胀系数大于上层梁(31)的热膨胀系数;下层梁(32)采用导体材料;热双层执行梁(3)中有且只有一层梁采用导体材料。通过热双层执行梁来改变回路的电感值,结构简单,易于实现,相比现有的LC式电容温度传感器,不需要电容间的温度敏感介质,可靠性更高,制造成本低。

    一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统

    公开(公告)号:CN105702011A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201610033690.X

    申请日:2016-01-19

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G08C17/06

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统,包括读取部分和传感部分;所述读取部分包括第一电感、信号源和网络分析仪,所述第一电感串联所述信号源,所述网络分析仪并联所述第一电感;所述传感部分包括MEMS开关、第一电容式传感器、第二电容式传感器、第二电感;所述第二电感串联所述第一电容式传感器,所述MEMS开关与所述第二电容式传感器构成的串联支路并联在所述第二电容式传感器两端。通过控制MEMS开关的通断,利用MEMS开关延时特性,分别对第一电容式传感器与第二电容式传感器的数据进行读取,实现无源无线多参数传感,系统简单,易操作。

    一种无源无线多参数传感器系统及其多参数测量方法

    公开(公告)号:CN103575306A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310579205.5

    申请日:2013-11-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种无源无线多参数传感器系统及其多参数测量方法,利用时分复用技术实现多参数测量及信号传输。该系统包含主次两个系统,主系统发出的信号既作为调制载波,也为次系统提供能量。次系统接收主系统发出的信号并经整流稳压后为自身提供能量。次系统包含多个电容式传感器感应系统环境物理量的变化;通过C-F转换电路将传感器的电容信号转换成频率信号;再利用时分复用技术将多路频率信号经由一个传输通道控制负载开关通断,通过改变次系统的负载阻抗对电路完成负载调制。主系统通过电感耦合接收调制后的信号进行解调及放大处理。本系统可以方便扩展测量的参数个数,仅需增加分频器个数以及多路开关的选通能力。

    一种基于一维非厄米拓扑电路结构的隔离器

    公开(公告)号:CN120017040A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510488501.7

    申请日:2025-04-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于一维非厄米拓扑电路结构的隔离器,其由一连串增益/损耗模块交替排列形成Su‑Schrieffer‑Heeger(SSH)链式结构,损耗模块由电容‑电感‑电阻并联接地谐振模块构成,增益模块由电容‑电感‑负电阻并联接地谐振模块构成。增益模块与损耗模块通过电容耦合构成一个周期单元,不同周期单元之间通过电容耦合形成拓扑电路结构。其中电路起始位置的损耗模块构成隔离器的输入端口,电路末端位置的增益模块构成隔离器的输出端口。通过改变增益和损耗的比例以及周期单元内耦合电容和周期单元间耦合电容的比例实现电路的信号单向传输。该系统具有高隔离度和很强的鲁棒性。

    基于PT对称原理的高灵敏传感器系统及其检测方法

    公开(公告)号:CN117740039A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311835270.X

    申请日:2023-12-28

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种基于PT对称原理的高灵敏传感器系统及其检测方法,该电路系统由两大模块组成:由电感‑电容‑正电阻并联而成的损耗端/敏感端模块,以及由电感‑电容‑非线性负电阻并联而成的增益端/读出端模块,增益端和损耗端的元件参数满足PT对称电子系统的要求,两端通过电感耦合实现信号传输,通过控制电感线圈之间的距离来使系统工作在弱耦合区域,在初始状态,使得增益端与损耗端处于PT对称状态;当损耗端/敏感端的敏感电容受待测参数的微弱影响而变化时,增益端的电压呈现大幅上升状态,而系统谐振频率保持不变,该系统具有灵敏度高,可在弱耦合条件下实现无线无源检测的优点。

    一种基于宇称时间对称原理的环形器

    公开(公告)号:CN116259944B

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202310147244.1

    申请日:2023-02-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种基于宇称时间对称原理的环形器,其由两组宇称时间(PT)对称模块串联构成,每组PT对称模块包括:电感‑电容‑正电阻并联谐振的损耗谐振器,可调耦合模块,以及电感‑电容‑负电阻并联的增益谐振器;其中损耗谐振器与增益谐振器通过可调电容耦合连接构成PT对称模块。其中一组PT对称模块的增益谐振器与另一组的损耗谐振器相连,构成环形器的输入输出端口。其中一组PT对称模块剩余的损耗谐振器构成环形器的输入端口,另一组剩余的增益谐振器构成环形器的输出端口。通过改变可调耦合电容实现传输频率调谐。该系统具有高非互易比,低插入损耗等优点。

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