一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器

    公开(公告)号:CN104991087B

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201510345261.1

    申请日:2015-06-19

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器,通过传感器封装表面的加热元件提供热温差信号代替风洞产生的温差信号,从而避免了传感器测量和标定必须在风洞环境下的问题。该传感器结构封装简单,测试成本极低,且可以在现场进行标定检测,维护方便。

    一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法

    公开(公告)号:CN104977429B

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201510346481.6

    申请日:2015-06-19

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法,在热式风速传感器感风面设有两个加热部件,需要校准时,通过分别使加热部件工作,可以获取相对两个方向的温差信号,通过将这两个相反的温差信号取算术平均就可得到当前环境下的零点。本发明结构简单,封装方便,大大降低了热式风速传感器的检测和标定时间。

    一种热式风速传感器及其封装方法

    公开(公告)号:CN105675917A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610035846.8

    申请日:2016-01-19

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01P5/10

    Abstract: 本发明提供了一种热式风速传感器及其封装方法,该传感器包括陶瓷基板(1)、薄层陶瓷(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温元件(42)、引线焊盘(5)、氧化硅(6)、金属焊料(7)和底层密封盖板(8);陶瓷基板(1)与薄层陶瓷(2)围成一个凹槽;薄层陶瓷(2)的下表面中心位置设有加热元件(3),第一测温元件(41)和第二测温元件(42)以加热元件(3)为中心对称分布;第一测温元件(41)和第二测温元件(42)分别与陶瓷基板(1)上的引线焊盘(5)连接。提高了传感器的灵敏度和降低了功耗。

    一种微机械位移传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105547125A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201610035620.8

    申请日:2016-01-19

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明提供了一种微机械位移传感器及其制造方法,该传感器包括衬底基板(1)、电阻线(2)、第一焊盘(21)和第二焊盘(22)、终端挡板(3)、第一固定壁(41)和第二固定壁(42)、接触电极(5)、滑块(6)、磁性材料(7)、磁体(8)、金属导线(9)和第三焊盘(91);衬底基板(1)包括正面和与正面相对设置的背面;衬底基板(1)正面分为左右两个区域,左边区域设有第一焊盘(21)、第二焊盘(22)和第三焊盘(91),还设有终端挡板(3)。本发明具有结构小巧、分辨率高,批量制造一致性好等特点。

    一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法

    公开(公告)号:CN105527454A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201610035748.4

    申请日:2016-01-19

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01P5/10 G01P1/006

    Abstract: 本发明提供了一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法,该传感器包括薄层陶瓷(1)、陶瓷基板(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温原件(42)、引线(5)、封装胶(6)、绑定线(7)和氧化硅纳米粉(8);薄层陶瓷(1)四周和陶瓷基板(2)相连,且薄层陶瓷(1)上表面和陶瓷基板(2)齐平;薄层陶瓷(1)的下表面中心位置设有加热元件(3),第一测温元件(41)和第二测温原件(42)以加热元件(3)为中心对称分布。本发明提高了传感器的灵敏度。

    一种磁悬浮式微机械开关
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104103454B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201410360017.8

    申请日:2014-07-28

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 陈洁 叶一舟

    Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮式微机械开关,包括玻璃衬底、螺旋线圈、悬浮结构体和硅层;硅层键合在玻璃衬底的顶面,硅层中设有空腔;螺旋线圈和悬浮结构体位于空腔中,螺旋线圈连接在玻璃衬底的顶面上,螺旋线圈的顶面设有一氧化硅层,悬浮结构体置于氧化硅层上方;硅层的顶面设有带孔的氧化层,氧化层的顶面设有相对的两根金属导线;金属导线、氧化层和硅层靠近内腔的一侧呈台阶状,且两根金属导线之间的距离小于氧化层上的孔的孔径;悬浮层可向上运动嵌至在氧化层上的孔中,且悬浮层顶面的两端与两个金属导线相接触。该磁悬浮式微机械开关避免了弹性开关使用时的疲劳磨损,具有闭灵活、性能稳定、安全可靠、使用寿命长的特点。

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