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公开(公告)号：CN110126110A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910384245.1
申请日：2019-05-09
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体材料解离的裂片机刀具夹紧装置，包括连接弹簧、挡板、力传感器、裂片刀夹具、前固定板、导轨、后固定板，所述后固定板上设有导轨，所述前固定板通过导轨与后固定板连接，所述连接弹簧两端分别与后固定板和挡板连接，所述前固定板上固定接挡板和调平预紧装置，所述调平预紧装置一端与裂片刀夹具连接；所述裂片刀夹具内部设有T状凹槽，用于固定裂片所需的陶瓷裂片刀，所述力传感器紧固在裂片刀夹具、预紧机构和挡板中，用于测量半导体材料解理过程中所需的垂直载荷。本发明结构简单，可以实时测量裂片过程中所需垂直载荷，还有利于获得半导体材料解理过程中所需临界载荷模型。
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公开(公告)号：CN107481959B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201710691293.6
申请日：2017-08-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种光学元件超声刻蚀装置，刻蚀液存贮箱通过输液导管与刻蚀液循环槽相连，刻蚀液循环槽和刻蚀反应槽由隔板隔开，刻蚀液循环槽与刻蚀反应槽之间通过两根循环导管相连，且循环导管上均设有微型循环泵；刻蚀反应槽底部安有超声波发生器；温度传感器置于刻蚀反应槽内并与溶液接触，温度传感器连接微控制器，微控制器输出端分别连接第一电机和第二电机，两个电机分别控制各自的微型循环泵的运行；多功能夹具置于刻蚀反应槽中上部，多功能夹具侧面通过夹具导向条与刻蚀反应槽内隔板的内隔板导向槽配合连接。该装置结构简单、操作方便，确保超声刻蚀过程中溶液温度的恒定和溶液的密封性，可有效提升光学元件超声刻蚀实验的稳定性和安全性。
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公开(公告)号：CN106863020B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201710051459.8
申请日：2017-01-20
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明涉及一种螺旋式磁流变抛光装置，抛光轮设有螺旋线形的流动通道，流动通道包括直线通道和圆弧通道，抛光轮通过主轴连接电动机，由电动机带动旋转，线圈紧固在线圈支架的顶端，线圈支架由定位销将上下两部分连接起来，并固定于底座上，由电源为线圈供电，形成所需的磁场；线圈连接电源提供磁场计算出直线通道上各点的磁场强度，再由所得磁场强度计算出磁流变液的剪切应力，与磁流变液静态屈服应力比较，使磁流变液在直线通道变为固体实现材料去除，在圆弧通道变为流体并进入下一个直线通道，从而实现在整个抛光轮的流动通道中循环流动。本发明结构简单，通过调节线圈位置，控制直线通道的磁流变液固体长度，从而实现抛光区域大小控制，提高了抛光效率。
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公开(公告)号：CN109773662A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910130244.4
申请日：2019-02-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种应用磨料水射流的工件内孔抛光装置，本装置包括机箱顶板、两根导轨、气缸、电机、卡盘座、三爪卡盘、喷嘴座、射流喷头、磨液容器和循环泵，导轨间隔垂直设于所述机箱顶板底面，卡盘座设于两根导轨之间并且沿导轨升降，三爪卡盘通过轴承设于卡盘座，电机设于卡盘座一侧并且旋转轴通过皮带连接三爪卡盘，电机驱动三爪卡盘旋转，气缸设于导轨外侧并且气缸阀杆顶端连接卡盘座，喷嘴座设于机箱顶板底面并且位于三爪卡盘上方，射流喷头设于喷嘴座并且喷头伸入三爪卡盘内腔，射流喷头通过油管连接循环泵输出端，循环泵输入端连接磨液容器。本装置实现工件的内孔抛光，其结构紧凑，抛光液可循环使用，降低成本，有效提高抛光精度及效率。
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公开(公告)号：CN109352431A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811082946.1
申请日：2018-09-17
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动磨削去除量在位检测装置，包括底座、Y轴移动机构、X轴移动机构、可倾斜测量机构，所述底座上表面设有三角形及矩形组合滑动导轨，三角形及矩形组合滑动导轨上配合连接Y轴移动机构，Y轴移动机构的Y轴移动平台与底座上表面之间通过三角形及矩形组合滑槽与三角形及矩形组合滑动导轨实现滑动接触，Y轴移动平台上面连接X轴移动机构，X轴移动机构的X轴滑杆前端连接可倾斜测量机构。本发明结构简单、操作简便，可实现测头螺杆的多自由度运动并获得高精度测量效果，能够有效实现对不同形状、尺寸和厚度工件加工去除量的在位检测；并能够有效提高磨削加工去除量测量的准确性和灵活性，提高测量精度和效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106881636B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201710228540.9
申请日：2017-04-10
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提供一种载液板及其制造方法，还提供一种磁性复合流体抛光头装置。本发明提供的载液板具有多个正四面体凹槽单元，载液板由基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ层层叠加而组成，基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ上具有凹槽或通孔，凹槽和通孔相匹配共同构成正四面体凹槽单元。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置包括：磁铁旋转部以及载液板旋转部，磁铁旋转部包含：第一驱动电机、主轴、磁铁盘以及永久磁铁；载液板旋转部包含：第二驱动电机、V型带轮、V带、连接支架以及载液板，其中，载液板为上述的载液板。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置结构简单，材料去除效率高，适用的磁性簇尺寸范围广等特点。
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公开(公告)号：CN108326638A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810018675.7
申请日：2018-01-09
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B1/00 , B24B31/116 , B24B57/02
Abstract: 本发明涉及一种箱式磁性复合流体抛光装置，抛光箱一侧的磁性复合流体抛光液注入口与磁性复合流体抛光液回流出口之间通过抛光液通道连接，磁性复合流体抛光液注入口和磁性复合流体抛光液回流出口与外界抛光液注入装置连接，抛光液通道连接前端抛光液驻留腔和后端抛光液回流腔形成抛光液密闭循环系统；抛光盒置于抛光箱中，抛光盒的抛光液出口连通后端抛光液回流腔，抛光液喷射口与前端抛光液驻留腔之间设有球体，球体通过弹簧连接安装在抛光箱中的蜗杆，蜗杆啮合连接齿轮形成增压喷射装置，齿轮通过传动轴与外界电机相连，外界电机为增压喷射装置提供脉冲信号。本发明结构简单，不但能够对多个小口径通孔同时抛光，还提高了抛光效率和抛光后孔壁的光洁度。
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公开(公告)号：CN108274307A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810039538.1
申请日：2018-01-16
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明涉及一种高精度变尺寸针式磁性复合流体抛光装置，抛光针箱内设置有滑槽和推杆；推杆设置在抛光针箱的底部，抛光针设置在抛光针箱的内部，抛光针设置有滑块、封块、圆形磁铁和刻度线，抛光针口的两侧设置有转轴中心线和刻度线；转轴中心线设置在抛光针口的中间；二十个圆形磁铁按照圆形平面N极和S极间隔整齐排列在抛光针内，抛光针箱内设置有针仓、滑槽和松紧螺母；针仓贯穿抛光针箱；松紧螺母设置有螺杆、空心圆柱、连接杆、推杆、突出圆盘和螺母仓；一个抛光针箱能够满足不同深孔的直径和深度，提高了抛光效率；本发明结构简单，可以通过三爪卡盘直接连接在主轴上进行工作，实现对不同深度和直径的深孔及半通深孔底面实现抛光。
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公开(公告)号：CN107481959A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710691293.6
申请日：2017-08-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67086
Abstract: 本发明涉及一种光学元件超声刻蚀装置，刻蚀液存贮箱通过输液导管与刻蚀液循环槽相连，刻蚀液循环槽和刻蚀反应槽由隔板隔开，刻蚀液循环槽与刻蚀反应槽之间通过两根循环导管相连，且循环导管上均设有微型循环泵；刻蚀反应槽底部安有超声波发生器；温度传感器置于刻蚀反应槽内并与溶液接触，温度传感器连接微控制器，微控制器输出端分别连接第一电机和第二电机，两个电机分别控制各自的微型循环泵的运行；多功能夹具置于刻蚀反应槽中上部，多功能夹具侧面通过夹具导向条与刻蚀反应槽内隔板的内隔板导向槽配合连接。该装置结构简单、操作方便，确保超声刻蚀过程中溶液温度的恒定和溶液的密封性，可有效提升光学元件超声刻蚀实验的稳定性和安全性。
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公开(公告)号：CN106863020A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710051459.8
申请日：2017-01-20
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B1/00
CPC classification number: B24B1/005
Abstract: 本发明涉及一种螺旋式磁流变抛光装置，抛光轮设有螺旋线形的流动通道，流动通道包括直线通道和圆弧通道，抛光轮通过主轴连接电动机，由电动机带动旋转，线圈紧固在线圈支架的顶端，线圈支架由定位销将上下两部分连接起来，并固定于底座上，由电源为线圈供电，形成所需的磁场；线圈连接电源提供磁场计算出直线通道上各点的磁场强度，再由所得磁场强度计算出磁流变液的剪切应力，与磁流变液静态屈服应力比较，使磁流变液在直线通道变为固体实现材料去除，在圆弧通道变为流体并进入下一个直线通道，从而实现在整个抛光轮的流动通道中循环流动。本发明结构简单，通过调节线圈位置，控制直线通道的磁流变液固体长度，从而实现抛光区域大小控制，提高了抛光效率。
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