公开(公告)号：CN104901586B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201410073754.X

申请日：2014-03-03

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 段素丙 ,  陈庆生 ,  季汉川 ,  池峰 ,  刘小虎

IPC: H02N15/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种磁钢单元，包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢的四个方形第二磁钢，所述第一磁钢是N磁铁或S磁铁，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接，所述第三磁钢的磁化方向是指向N磁铁或者远离S磁铁。还公开了一种磁钢阵列、磁浮平面电机、三种线圈阵列、一种光刻装置。本发明所提供的磁钢单元、磁钢阵列提高了定子磁钢占积率，提高磁浮平面电机磁密，电机推力常数增大2%；本发明所提供的线圈阵列使磁浮平面电机动子结构更加紧凑、坚固，提高电机模态稳定性及高控制精度。

公开(公告)号：CN105449931B

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201410429585.9

申请日：2014-08-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 贾辉 ,  陈庆生 ,  曹若愚

IPC: H02K9/19

Abstract: 本发明公开一种平面电机，所述平面电机包括：大理石底座，印刷电路板(PCB)线圈板以及磁钢阵列动子平台，其特征在于：还包括一冷却装置，所述冷却板设置于所述印刷电路板(PCB)线圈板与所述磁钢阵列动子平台之间，所述冷却板是通过PCB板上的覆金属材料构筑冷却管道图案的方式制成，冷却液体在所述冷却管道中流通以对所述印刷电路板(PCB)线圈板进行散热。本发明提出的带有冷却装置的平面电机可以有效改善印刷电路板(PCB)线圈板的散热问题，降低印刷电路板(PCB)线圈板的表面温度。